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Main Unit; Spm Unit - JEOL JSPM-5200 Instructions Manual

Scanning probe microscope
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3 CONFIGURAT ON AND DESCRIPTIONS OF COMPONENTS
I
3.2

MAIN UNIT

3.2.1

SPM Unit

The SPM unit is composed of a vibration isolator, an SPM base unit and an SPM head
unit.
3-2
SPM head unit
AFM amp
SPM base
Vibration isolator
TMPM5200-2

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