Table of Contents
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Thermo Scientific
Replacing Components of the Front Door . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 312
Front Door Hinges and Supports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 313
Front Door Latch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 315
Replacing the Boards in the TSQ 9610 Instrument. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 317
Front and Rear RF Boards and Front and Rear Rod Driver Boards . . . . . . . 318
RF Board/Rod Driver Board Kits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 324
4- Pin Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 327
Lens Driver Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 332
20-Pin Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 336
Bracket. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 344
Distribution Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 350
Source Interface Board and Heat Shield . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 364
Electrometer Board Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 366
Electrometer Board and Shield . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 368
Replacing the Power Supplies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 370
Power Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 371
Dynode and Multiplier Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 375
Replacing the Calibration Gas Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 380
Calibration Gas Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 381
Calibrant Reservoir Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 389
Transfer Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 391
Replacing the Collision Gas Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 395
Replacing Fans and Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 403
Front Wire Mesh Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 405
Left Rear Wire Mesh Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 406
Chassis Cooling Fan and Fan Plenum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 407
Air Deflector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 413
Turbo Cooling Fan and Turbo Cooling Fan Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 415
Replacing the Turbomolecular Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 423
Convectron Gauge and Foreline Adapter with Hose . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 429
Upgrade Equipment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .433
Advanced EI Ion Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 434
Dust Filter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 440
CI Reagent Gas Flow Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 441
CI Ion Volume . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 449
EI/CI Ion Volume. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 450
Ion Gauge and Tube Shield. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 451
Probe Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 454
Contents
TSQ 9610 Hardware Manual
vii
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Table of Contents
Troubleshooting
