Keithley 4200-SCS Reference Manual page 1615

Model 4200-SCS Reference Manual
In this section:
Topic
Required probe station software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-2
Software versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-2
Probe station configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-2
Modifying the prober configuration file . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-2
Step 1. Set up communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-4
Step 2. Set up wafer geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-6
Step 3. Load, align, and contact the wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-8
Step 4. Set up programmed sites and subsites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-12
KITE project example for Probe Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-16
CM500 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-16
KCON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-16
KITE project example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-18
Probesites KITE project example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-24
KITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-24
Probesubsites KITE project example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-26
KITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-26
Commands and error symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . L-28
4200-901-01 Rev. S / May 2017
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Appendix L: Signatone CM500 Prober
Signatone CM500 Prober
Appendix L
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