Keithley 4200-SCS Reference Manual page 1581

Model 4200-SCS Reference Manual
In this section:
Topic
Required probe station software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-2
Software versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-2
Probe station configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-2
Modifying the prober configuration file . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-2
Step 1. Set up communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-3
Step 2. Set up wafer geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-10
Step 3. Create a site definition and define a probe list . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-15
Step 4. Load, align, and contact the wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-17
Probesites KITE Project example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-22
Nucleus UI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-23
KCON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-23
KITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-24
Probesubsites KITE Project example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-26
KCON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-30
KITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-31
Commands and error symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . K-33
4200-901-01 Rev. S / May 2017
Cascade Summit-12000 Prober
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Appendix K: Cascade Summit-12000 Prober
Appendix K
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K-1