Keithley 4200-SCS Reference Manual page 1541

Model 4200-SCS Reference Manual
In this section:
Topic
Required probe station software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-2
Software versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-2
Probe station configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-3
Modifying the prober configuration file . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-3
Step 1. Setting up communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-5
Step 2. Setting up wafer geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-8
Step 3. Creating a site definition and defining a probe list . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-10
Step 4. Loading, aligning, and contacting the wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-11
probesites KITE project example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-20
KCON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-24
KITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-26
probesubsites KITE project example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-27
KCON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-29
KITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-31
Commands and error symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I-32
4200-901-01 Rev. S / May 2017
Micromanipulator 8860 Prober
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Appendix I: Micromanipulator 8860 Prober
Appendix I
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