Table Of Contents - Edwards iXM Series Instruction Manual

Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1 Definition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.2 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. General description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.2 Applications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.3 Advanced control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.4 Green Mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.1 General technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.2 Operating and storage conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.3 Manufacturing materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.4 Loading data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.5 Nitrogen purge data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.6 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.7 Cooling water data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.8 Heater data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.9 Tracer gas analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
4. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
4.1 Installation safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
4.2 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.3 Position the system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.4 Install the system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
4.5 Lubrication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.6 Connect the system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.7 Install additional safety equipment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
M56635880_D
4.6.1 Connect to the vacuum and exhaust system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.6.2 Connect the pump inlet. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.6.3 Connect the pump exhaust. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4.6.4 Connect to the factory extraction system (optional). . . . . . . . . . . . . 34
4.6.5 Connect the nitrogen supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.6.6 Connect to the electrical supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
4.6.7 Connect an additional RF earth (ground) (optional). . . . . . . . . . . . . 44
4.6.8 Connect to the emergency stop circuit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
4.6.9 Connect the cooling water supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
4.6.10 Connect the accessories. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
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