EBARA ESA200W Instruction Manual page 9

3. Hazardous materials warning
In case of hazardous materials are handled. Run the pump only with
N2 gas purge before servicing. Take adequate measures against
dangerous reaction and contact with human body.
Hazardous Materials
Exposure to air may cause spontaneous fire or explosion.
Inhalation or skin absorption will cause severe injury or
death by poisoning.
Purge thoroughly with nitrogen for at least 30 minutes
before servicing. Use personal protective equipment
appropriate to the materials to prevent exposure.
危険物質あり。
危険反応・人体への接触により重傷または死亡の危険があります。Ｎ２パージのみで３０分以上
空運転を行なってから、危険物質のＭＳＤＳに従ってメンテナンスをして下さい。
4. Hazardous voltage after EMO warning
Contact will cause injury or death by electrical shock.
Connector CN-C remains energized after EMO.
PM10U
WARNING
警 告
WARNING
Hazardous Voltage
Contact will cause injury or death by
electrical shock. Disconnect
line power before servicing.
危険電圧部あり。接触すると重傷または死亡の
危険があります。電源供給を止めてブレーカを切った状態で
メンテナンスをして下さい。
WARNING
Hazardous Voltage
Contact will cause injury or death by
electrical shock. Connector CN-C
remains energized after EMO.
危険電圧部あり。接触すると重傷または死亡の
危険があります。コネクタCN-CはEMO作業後も
通電しています。 C-7110-410-0001
C-7110-314-0001
警 告
警 告
EBARA
vii
（ ）
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