Table Of Contents - Edwards nEXT730D Instruction Manual

Turbomolecular pumps
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Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1 Definition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.2 Trained personnel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. Important safety information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 Mechanical hazards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.2 Electrical hazards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.3 Thermal hazards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.4 Danger through materials and substances. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3. Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.1 Ordering information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.2 Motor controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.3 Operational features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.4 Logic interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.1 Operating and storage conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.2 General technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.3 Pumping media. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
4.4 Vent gas specification and vent control data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
4.5 Materials exposed to gases pumped. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
4.6 Purge gas specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
B8J200880_D
300812671_002_C3
1.1.1 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.3.1 Power limit setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.3.2 Standby speed. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3.3 Timer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3.4 Analogue output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3.5 Automatic vent options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.6 Normal speed setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.7 Electronic braking. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.8 Bearing monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.4.1 USB interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.4.2 Parallel control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.4.3 Serial control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.4.4 Serial control with parallel monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
3.4.6 CAN interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.2.1 Pumping speed curves. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
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