Edwards nEXT730D Instruction Manual page 5

Turbomolecular pumps
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7. Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
7.1 Before starting the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
7.2 Vent options, vent valve connection and control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
7.3 Operation with parallel control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
7.4 Operation with serial control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
7.5 Mixed parallel and serial operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
7.6 Operation with a TIC or TAG. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
7.7 Decelerating and venting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
7.8 Operation at extreme conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.9 Bakeout. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
7.10 Shut down the pump manually. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
8. Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
8.1 Bearing maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
8.2 Rotor life. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.3 Cleaning the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.4 Decoding service status words. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
B8J200880_D
300812671_002_C3
6.1.9 Analogue signal options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
6.1.10 Electronic braking options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
6.1.11 Factory settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
6.1.12 Assigning a multi-drop address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
6.1.13 Configure the pump using a TIC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
7.1.1 Close the vent valve. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
7.1.2 Pre-start sequence. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
7.2.1 Manual vent valve. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
7.2.2 TAV5 or TAV6 solenoid vent valve. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
7.2.3 Vent valve control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
7.3.1 Start the pump with parallel control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
7.3.3 Stop the pump with parallel monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
7.3.4 Parallel monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
7.4.1 Delayed start with serial control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
7.4.2 Start the pump with serial control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
7.4.4 Stop the pump with serial control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
7.8.1 Operation with high inlet pressure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.8.2 Operation at high temperatures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.8.3 Protection against over-speed. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
7.8.4 Electrical supply failure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
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