Edwards nEXT730D Instruction Manual page 4

4.7 Water cooling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.8 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4.9 Logic interface connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.10 Serial protocol. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
4.11 Command set. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
4.12 Multi-drop operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
4.13 Motor controller auxiliary connector socket. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
4.14 Indicator LEDs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
5. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
5.1 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
5.2 Connect to the vacuum system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
5.3 Purge gas connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.4 Electrical installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.5 Connect the parallel control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
5.6 Connection for serial control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
5.7 Connection for mixed parallel and serial operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
5.8 Cooling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
6. Configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
6.1 Configure the pump using serial commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
B8J200880_D
300812671_002_C3
5.2.1 Remove and replace the inlet screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
5.2.2 Mounting orientation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
5.2.3 Mount the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
5.2.4 Backing port connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.3.1 Recommended purge gas flow. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.3.2 Connect the purge gas. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.4.1 Earth (ground) connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
5.4.2 TIC or TAG logic interface connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
5.4.3 Connect the logic interface to control equipment. . . . . . . . . . . . . . . 57
5.4.4 Connect the electrical supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
5.6.1 Connect the serial interface to the customer control equipment. . 60
5.6.2 Serial enable. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
5.8.1 Cooling requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
5.8.2 Forced air cooling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
5.8.3 Water cooling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
6.1.1 Message structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
6.1.2 Command and reply table definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
6.1.3 Power limit setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
6.1.4 Powering a fan from the motor controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
6.1.5 Controlled venting options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
6.1.6 Standby speed setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
6.1.7 Normal speed setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
6.1.8 Timer setting and options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Page 4 08/2021 - ©Edwards Limited