Edwards nEXT730D Instruction Manual page 6

Turbomolecular pumps
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8.5 Controller run time. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
8.6 Pump run time. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
8.7 Pump cycles. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
8.8 Bearing run time. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
9. Storage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
10. Disposal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
11. Fault finding. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
11.1 Command set error codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
11.2 Flashing service codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
11.3 Flashing error codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
11.4 Flashing inactivity service codes (blue bearing LED). . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
11.5 Decoding system status words. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
11.6 Service information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104
12. Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
12.1 Return the equipment or components for service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
12.2 Bearing monitoring and conditioning system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
12.3 Bearing on-site maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
12.4 Bearing run in mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
13. Spares. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
13.1 Inlet screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
13.2 Inlet flange seals and integrated inlet screens. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
14. Accessories. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
14.1 Air cooler. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
14.2 Water cooler. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
14.3 Flange heater. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
14.4 TAV5 and TAV6 vent valves. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
14.5 VRX vent restrictor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
14.6 Vent port adaptor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
14.7 PRX purge restrictor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
14.8 Interface cable. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
14.9 nST2 PC program. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
14.10 Auxiliary connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
14.11 Auxiliary extension cable. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
14.12 Auxiliary 'Y' cable adaptor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
14.13 EPS 800 power supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
B8J200880_D
300812671_002_C3
12.4.1 Service counter reset. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
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