Advanced Energy FC-77 Series User Manual page 8

Mass flow controllers
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Advanced Energy
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
20-Pin Card Edge Connector and 20-Pin Honda Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Card Edge Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Honda Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
20-Pin Connector Signal Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
9-Pin Subminiature-D Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Pin and Signal Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Special Function Signal Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Alarm Output (Error Detection) Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Control Valve Purge Function Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Card Edge Purge Function Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
Honda 20-pin Purge Function Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
Subminiature-D Purge Function Signal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Alarm Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Troubleshooting the Gas Flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
No Gas Is Being Supplied . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Set Point and Flow Output Do Not Match . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
Unstable Flow or Insufficient Output Exists . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
AE World Wide Web Site . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
AE Global Services . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
USA Support Locations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
European Sales and Service Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Middle East Sales and Service Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
Asian Sales and Service Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Returning MFCs for Repair . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Packing an MFC for Shipping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Authorized Returns . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Warranty Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
Model Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
Specifications for Model FC-770 MFCs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Specifications for Model FC-771 MFCs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
viii
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5700512-C

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