Table Of Contents - Edwards EPX HiVac Series Instruction Manual

~t:JWARDS
A419-00-880 Issue K
Contents
Section
Page
1 Introduction .. .. ........ .. ........ .. ........ .. ........ .. ........ .. ........... ....... .. ........ .. . .. 1
1.1 Scope and definitions .. .......... . .. ... ...... .... .. .. ... ... .. ........ .. ... .. ..... . ... ............ ......... . . .. ....... .. . 1
1.2 Description ...... ............ ... .................................. . ....... ............................................ . ... . 2
1.2.1 The EPX l .......... .. ....... .. .... .............. .. ...... . ... . ..... .. . ............ .. ... . ........ ......... ... . .... . ..... .. .. 3
1.2.2
The EPX LE ........ .. ........ .. .. . ....... ........................... ... .......... . ............ . ........ . ................ . .. 3
1.2.3 The EPX N ......... .. ............ ... ......... .. ............ . ......................... . ......................... . ........... 3
1.2.4 The EPX NE ......... ......... .. ... . .............. .. ...... . ... . ...... ... .......... ... ... ... ...... ........... ... ... . ...... . .. 3
1.3 Pump protection sensors ....... . . ... ... ... .... .. ..... .. ... . ........... .... ..... .. ... . ........ .. . ......... ... ........ .. . 4
1.4
LED status indicators ........ .. . ............ ... ........ .... . ...... ... ... ......... . .............. . .......... ...... .. ...... 4
1.5 Connections ................... . ................ .. .. ..... ........... ............... ...... .................... ........... .. 12
1.6 Control and monitoring .............. .... .......... ... ..... .. .. .. ...... .. .. ..... ..... .. .. .. .... ..... ........ ........... 12
1.7 EPX pump labels .. ... ... ... ...... . ... ......... . . .. ....... . .............. ... .. ..................... .... .................. 12
1.8
End user controller ..... ...... . ...... . ..... ....... ......... . ....... .......................... ........................ .. . 13
1.9 Green mode operation ... .. .......... .... ...... .. .. . .... ... ............ .. ....... ......... .. . ... .... .. . ...... ....... .. .. 13
2
Technical data .. .... .. .. .. ..... .. . .. ...... .... ..... ..... ..... .. . .. ..... .. . .. ..... ... ....... .. . . . 15
2.1 General .. .. ....... . . ......... ............... . . ......... . . .. ....... . . ... .. ...... .. .. .. ... .. .... ........... .... ....... ... . .. 15
2.2
Performance ...... .. .......... ... .. .......... ............. . ............ . ...................................... . .......... 15
2.3 Electrical data ....... .......................... ......... ...... ......... . .......... ...... .................... ........... .. 16
2.4
Cooling water supply ............ . . ... ... ... .. .. .. .. ... .. ... . .......... .. ... ..... .. ... . ... .. ...... .... ..... .. ... . ....... 17
2.5 Nitrogen purge system (EPX N series pumps) .......... .. ...................... . .. .. ........ . .......... .. ........... 17
2.6
Materials in contact with process gases .... .. ........ . .............. .. ...................... .. .. .. .. ............ .. .. 17
3 Installation ...... ........ . .. ......... ....... .... ......... .......... .......... ....... .. ......... ... 27
3.1
Safety .... ........... ......... .. .. .. .......... .. .. .. ...... ........... .. .. .. ......... ... ... ........ .. . .. ....... ........... .. 27
3.2 Unpack and inspect ... ... . ........ ... .... ..... .. ... . ....... ... ........ ...... ......... . . ......... .. .. . ...... .. .. .. .. ..... 27
3.3
Securing the EPX pump .... .......... .. ................................ ... .. .............................. ............. 28
3.4 Connect the inlet to t he process system .. ...... . ...................................... . .. .......................... 29
3.5 Connect the outlet to the exhaust extraction system ...... ...... . .... .. ...... .... .. .. .. .. .......... .. .. ... ...... 30
3.6 Nitrogen purge (EPX N series pumps) ... . ... ... .. ... . ... .. ..... ... . .. ... ...... ..... . ....... ... ........ ... ... . . ..... .. 31
3.7
Leak test the system ......................... ... .. ............. .. ........................ .. ........................ .. .. 31
3.8 Connect the cooling water supply ........ ..... ............ . ........ .. ............... . ........ .. ............... . ...... 32
3.9 Connect to the emergency stop circuit ..... .. ........... . ............ . .... .. ...... ... ...... .. .. . ............ ... .... 33
3.10 Connect the EPX pump to the electrical supply .... . .......... .. ............................ .. ........ .. .......... 34
3.11 Connect to the control equipment .. .. ...... .. ............ .. .. .. .. .... ........ .. .... .. ......... .. .................... 35
3.11.1 Inputs . ... . . ..... . .. . .. ....... ... .. .. .... .. .. ..... .. ....... . ..... ..... . ... . ......... ..... .. .. .. ..... ...... . ... .. ... .. .. .. . . 36
3.11.2
Outputs ... .......... ........... ......................... .. .......... ...... ....... ... ... . ...... . ............. .. ........... . 36
4 End User Controller (EUC) and Pump Display Terminal (PDT) menus .... .... ......... .. 39
4.1 Introduction .. ..... .. . .. .... . . .... ..... .. .... .. .................... .. .. ... ............. .. ...... ........... ... .......... .. 39
4.2 General operation .. .. ..... .... ... . .. ... ...... ... . ..... ....... ........ . ..... .. ... .. .. ... .. .. .. ... . .. ... .... .... .. ... .... 40
4.3
The CANCEL button .... .. ......... .. ........ .. ... ........ ............. . . .. ................. ... ... . .. .................... 40
4.4 Display text and variable text ..................... .. ..... .. .... .... ....... .. .. ........... .. ....... .. .... ..... ...... .. 40
4.5 Wrap-around ..... ... ........ ... . ......... .. .. ... .. .. .. ... .. .. .. ....... .. . ............ .. .. .. .. . .. .. ...... .. .. . .. .. .... .... 41
4.6
Timeout .. ........ ..... .......... .............. . ... ....... .......... ... .. ........... ............. .. ..................... .. 41
4.7
Menu structure .......... .. ........ .. .............. ... .. ...... ......... .. ......... ...... ........ .. . ....... ..... .. .. .... .. 41
4.8
Example ..... . ..... .. . ......... ..... ... . ...... ... ........ .. .... .. ....... ........... .... ... ........ .. ......... .. .... .. ..... 42
....
5
;:;
~
s
5.1
~
Operation . .. .. .. ....... ... .......... ....... ... ....... ... ....... ... ....... .. ........ . ............. 53
Introduction ... ... .. .. .. ...... .. ... ... . .... . .. . ... . ..... . ... ....... ..... . ... ...... . ... .. .. ..... .... ... .. .. . ..... . ...... .. 53
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