EBARA EV-SA20 Instruction Manual page 69

Appendix 4 Overhaul/Repair Request form(JPN)
エバラドライ真空ポンプ オーバーホール依頼書
宛先：
行
TEL No.
FAX No.
＊当社営業担当宛にFAX後ポンプに添付の上
御返却下さい。
お願い
弊社における、作業（分解、洗浄など）の人的安全および環境安全の確保のため、弊
社の製品を御返却の際は、お手数ですが、必ずこの用紙で弊社に御連絡頂き、製品に
添付して下さい。
貴社注文書番号、整理番号など：
1. ポンプ機名
2. ポンプシリアル番号
3. 付属品の有無
4. 装置名
5. ﾌﾟﾛｾｽ名
6. 使用ｶﾞｽ名
7. 電圧・周波数
8. ﾎﾟﾝﾌﾟ停止時の状況
9. 運転期間
10. ｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ後の状態
11. 御返却日／
引取り希望日
12. ｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ
御希望納期
13. 備考
Doc.No.7250-S32211Rev.2
PM10U
□無 □有（具体的に
（装置メーカー名） （装置モデル名）
□ LP-CVD □ PE-CVD □ EPI □ MO-CVD □ ALD
□ METAL-CVD □ OXIDE-ETCH □ POLY-ETCH
□ ASHING □ PVD □ ION-IMPLANTOR □ SEM/METROGY
□ L/Lなど □ その他（
＊ エ ッチング、Ｌ／Ｌ等でも、As（ヒ素）を排出する可能性のある場合は、As排出と明記して
ください。
＊Copper（銅）汚染が有る場合は営業に相談してください。
＊As（ヒ素）等、有毒性のガスを使用されている場合は必ず明記し、ポンプの吸排気口には閉止フラ
ンジを取り付けて下さい。明記なき場合、閉止なき場合はお引取を致しかねます。
年 月 日〜 年 月 日
□現状仕様 □改造（手直し）希望（
年 月 日 午前 午後
年 月 日
＊ 予備機の有無 （ 有 、 無 ）
：
貴社名
部署名：
御氏名：
御住所：
TEL ：
FAX ：
E-mail：
午前 午後
）
）
）
EBARA
CORPORATION