Keysight Technologies B1500A User Manual page 15

Semiconductor device analyzer
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高電圧感電注意
Keysight B1500A の Force、Guard、Sense 端子には、危険電圧が出力されることがあ
ります(HPSMU の場合は最大 ±200 Vdc、MPSMU/HRSMU の場合は最大 ±100
Vdc) 。感電事故防止のため、必ず以下の事柄を守ってください。
3 極電源ケーブルを使用して本器を接地してください。
ドアを開くことによって開放されるインターロック回路を装備し、被測定デバ
イスとのインタフェースを覆うことのできるシールド・ボックスを用意してく
ださい。
測定を開始する前にはインターロック回路を本器の Interlock 端子に接続してく
ださい。
インターロック機能が正常であることを定期的に確認してください。
Force、Guard、Sense 端子に繋がる接続部に触れる前には、本器の電源を切断し
てください。また、測定系のキャパシタを放電してください。電源を切らない
場合は、以下の事項を全て実施してください。
Stop キーを押して Measurement インジケータが消灯したことを確認してくだ
さい。
高電圧警告(High Voltage)インジケータが消灯していることを確認してく
ださい。
シールド・ボックスのドアを開けてください(Interlock 端子を開放してくだ
さい) 。
キャパシタが SMU に接続されているならば、キャパシタを放電してくださ
い。
周囲のほかの作業者に対しても、高電圧危険に対する注意を徹底してください。

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