Ulvac CRYOPUMP CRYO-U Series Instruction Manual page 40

クライオポンプの取付け
＊ この寸法は、クライオポンプを装置に取付けた状態で冷凍機ユニットの
メンテナンスをするのに必要な空間の最小寸法です。
図 4-3 必要な保守空間
4-4 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED