Ulvac CRYOPUMP CRYO-U Series Instruction Manual page 10

Table of Contents
5.7 Shutdown Procedures･･････････････････････････････････ 5-6
5.8 Handling of Hazardous Materials･･･････････････････････ 5-6
SECTION 6 Regeneration
6.1 The General･･･････････････････････････････････････････ 6-1
6.2 Regeneration Time････････････････････････････････････ 6-2
6.3 Warm-up Method･･････････････････････････････････････ 6-2
6.4 Regeneration Flow Chart･･･････････････････････････････ 6-4
SECTION 7 Disconnecting and Storage
7.1 Disconnecting Flexible Hose････････････････････････････7-1
7.2 Storage･･･････････････････････････････････････････････7-2
SECTION 8 Maintenance
8.1 Scheduled and Unscheduled Maintenance･･･････････････ 8-1
8.2 Consumables･･････････････････････････････････････････ 8-3
8.3 Cleaning the Cryopump････････････････････････････････ 8-4
8.4 Charging Helium Gas･･････････････････････････････････ 8-5
8.5 Helium Circuit Decontamination････････････････････････ 8-8
APPENDICES
A. Troubleshooting ····························································· A-1
B. Flexible Hose ································································ B-1
C. Conversion of Thermometer Readings ······························· C-1
D. Principle of Cryopump Operation ····································· D-1
E. Principle of Refrigerator Operation ··································· E-1
F. Dew Condensation ·························································· F-1
Service Network･･･････････････････････････････････････････････CS-1
Ⅱ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED