Table of Contents
8-2 CRYO-U
A-1 Cryopump Fault Diagnosis・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ A-2
A-2 Operating Log・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ A-7
F-1 Dew-Point Temperature・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-2
Ⅳ
20H Consumables・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-3
®
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED