Temperaturüberwachung; Ausschalten Und Fluten; Ausschalten; Fluten - Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 Operating Instructions Manual

Turbopump
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Rot
Tab. 8:
6.4.2 Temperaturüberwachung
Bei Überschreiten von Schwellenwerten überführen Ausgabesignale von Temperatursensoren die Tur-
bopumpe in einen sicheren Zustand. Abhängig vom Typ sind Temperaturschwellenwerte für Warnun-
gen und Fehlermeldungen unveränderlich in der Antriebselektronik gespeichert. Zu Informationszwe-
cken sind im Parametersatz verschiedene Statusabfragen eingerichtet.
● Um das Abschalten der Turbopumpe zu vermeiden, reduziert die Antriebselektronik die Leistungs-
● Weitere Reduktion der Antriebsleistung und somit sinkende Drehzahl führt möglicherweise zum
● Bei Überschreiten der Fehlerschwelle für Übertemperatur schaltet die Turbopumpe sofort ab.
6.5 Ausschalten und Fluten
6.5.1 Ausschalten
Hinweise für das Ausschalten der Turbopumpe
1. Schalten Sie die Turbopumpe über das Bediengerät oder die Fernbedienung aus.
2. Schließen Sie die Vorvakuumleitung.
3. Schalten Sie ggf. die Vorpumpe ab.
4. Fluten Sie die Turbopumpe (Möglichkeiten siehe unten).
5. Schließen Sie die Versorgungsleitungen (z.B. für Kühlwasser oder Sperrgas).
6.5.2 Fluten
Gefahr von Verletzungen durch Kontakt mit Vakuum beim Belüften
Während des Belüftens der Vakuumpumpe besteht die Gefahr geringer Verletzungen durch unmittel-
baren Kontakt von Körperteilen mit dem Vakuum, z.B. Hämatome.
► Drehen Sie die Flutschraube beim Belüften nicht vollständig aus dem Gehäuse.
► Halten Sie Abstand zu automatischen Fluteinrichtungen, wie Flutventilen.
Beschädigung der Turbopumpe durch unzulässig schnellen Druckanstieg beim Fluten
Unzulässig hohe Druckanstiegsraten belasten den Rotor und das Magnetlager der Turbopumpe
schwer. Beim Fluten sehr kleiner Volumina in der Vakuumkammer oder der Turbopumpe besteht die
Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum
Ausfall sind die Folge.
► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein.
► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina.
► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm.
Symbol
LED Status
Aus
Ein, konstant
Aus
Ein, konstant
Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik
aufnahme bereits bei Überschreiten der Warnschwelle für Übertemperatur.
─ Beispiele sind unzulässige Motortemperatur oder unzulässig hohe Gehäusetemperatur.
Unterschreiten des eingestellten Drehzahlschaltpunktes. Die Turbopumpe schaltet ab.
Empfehlung
Belüften Sie die Turbopumpe nach dem Ausschalten. Dadurch verhindern Sie, dass Parti-
kel aus dem Vorvakuumbereich in das Vakuumsystem zurückströmen.
VORSICHT
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Bedeutung
keine Warnung
Warnung
kein Fehler, keine Warnung
Fehler
HINWEIS
Betrieb
35/116

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