Pfeiffer Vacuum HIPACE 350 Operating Instructions Manual
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Pfeiffer Vacuum HIPACE 350 Operating Instructions Manual

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  • Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 350 Turbopumpe Turbopump...
  • Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Page 3: Table Of Contents

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Lieferumfang Produkt identifizieren 3.3.1 Produkttypen 3.3.2 Produktmerkmale...
  • Page 4 Inhaltsverzeichnis Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
  • Page 5 Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 19: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 20: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 24 V Tab. 21: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 48 V Tab. 22: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt...
  • Page 6 Abb. 22: Ersatzteile HiPace 350 Abb. 23: Kennlinie Gasdurchsatz in Abhängigkeit der Drehzahl Abb. 24: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K Abb. 25: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F Abb. 26: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F...

  • Page 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.

  • Page 8: Piktogramme

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. HiPace 350 Mod. PM P07X XXXXX Type 12 - - - - - - - - IPx4 PM XXX XXX -T TÜV Rheinland...

  • Page 9: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis Betriebsanleitung Hinweis Funktionserdeanschluss 2 Verschlusssiegel Typenschild der Turbopumpe 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß...

  • Page 10: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Page 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Page 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
  • Page 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...

  • Page 14: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...

  • Page 15: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...

  • Page 16: Vorhersehbarer Fehlgebrauch

    ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.

  • Page 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.

  • Page 18: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Abb. 2: Aufbau HiPace 350 1 Antriebselektronik TC 400 Montagefläche für Luftkühlung (alternativ: Erdungsanschluss) 2 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss Flutschraube 3 Pumpengehäuse, Aluminium Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss, DN...

  • Page 19: Lieferumfang

    ● Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss ● Betriebsanleitung 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...

  • Page 20: Transport Und Lagerung

    ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.

  • Page 21: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.

  • Page 22: Turbopumpe Am Unterteil Befestigen

    Gewin- Einschraub- Anziehdrehmo- degröße zahl tiefe ment Mindeststärke | Zug- festigkeit HiPace 350 3 mm | > 270 MPa ≥ 1,3 × d 25 Nm ± 10 % HiPace 400 HiPace 450 HiPace 700 HiPace 800 Tab. 5: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil 5.3 Hochvakuumseite anschließen...

  • Page 23: Erdbebensicherheit Berücksichtigen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 350 3500 Nm...

  • Page 24: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen 1 Sicherheitsverbindung, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.

  • Page 25: Einbaulagen

    4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.

  • Page 26: Iso-K Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Page 27: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Page 28: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.

  • Page 29: Abb. 13: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung

    Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.

  • Page 30: Vorvakuumseite Anschließen

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.

  • Page 31: Zubehör Anschließen

    6. Ziehen Sie die Zylinderschrauben am Klammerverschluss gleichmäßig an. – Anziehdrehmoment: 2 Nm. 5.5 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.

  • Page 32: Elektrische Versorgung Anschließen

    ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.6.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 16: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1.

  • Page 33: Abb. 17: Antriebselektronik Mit Netzteil Verbinden

    1. Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. 2. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter des Netzteils vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 3. Verwenden Sie ein passendes Verbindungskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCin" an der Antriebselektronik und schlie- ßen Sie die Bajonettverriegelung.

  • Page 34: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.

  • Page 35: Betrieb Ohne Bedieneinheit

    Nach Bereitstellen der Versorgungsspannung läuft die Turbopumpe sofort hoch. Hinweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit 1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Gegenstecker mit Brücken auf dem An- schluss der Antriebselektronik. 2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.

  • Page 36: Turbopumpe Einschalten

    ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status...

  • Page 37: Temperaturüberwachung

    2. Öffnen Sie die schwarze Flutschraube an der Turbopumpe höchstens für 1 Umdrehung. 3. Warten Sie den Druckausgleich auf Atmosphärendruck im Vakuumsystem ab. 4. Schließen Sie die Flutschraube wieder. Pfeiffer Vacuum Flutventil verwenden Das Pfeiffer Vacuum Flutventil ist ein optionales Zubehör für die Installation an der Turbopumpe. 37/126...
  • Page 38 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.

  • Page 39: Wartung

    Für die Durchführung von Wartungsarbeiten der Level 2 und 3 empfehlen wir den Pfeif- fer Vacuum Service (PV). Bei Überschreiten der genannten Intervalle oder bei unsachge- mäß ausgeführten Wartungsarbeiten, entfallen jegliche Gewährleistungs- und Haftungsan- sprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile ver- wenden. Empfehlungen für die Ausführung von Wartungsmaßnahmen ►...

  • Page 40: Betriebsmittelspeicher Austauschen

    Wartung ► Beachten Sie die Dauer der Gebrauchsfähigkeit des Betriebsmittels. ► Wenden Sie sich für Fragen zur Wartung an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. Tätigkeit Inspektion Wartung Wartung Wartung Benötigtes Level 1 Level 2 Level 3 Material Beschrieben in Dokument...

  • Page 41: Betriebsmittelspeicher Demontieren

    ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Scannen Sie den QR-Code oder klicken Sie hier und sehen Sie den Service Level 1, Betriebsmittelspeicherwechsel. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ● elektrische Versorgung unterbrochen ●...

  • Page 42: Betriebsmittelspeicher Montieren

    Wartung Abb. 18: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Innensechskantschraube Kapillarstäbe (9×) 2 Verschlussdeckel Spritzspitze 3 O-Ring Schutzdeckel 4 Betriebsmittelspeicher Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus.

  • Page 43: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 19: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 2 Kapillarstäbe (9×) O-Ring 3 Spritzspitze Schutzdeckel 4 Innensechskantschraube Betriebsmittelspeicher montieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 3. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher mit der Filzseite in Richtung der Spritzspitze in die Lager- fassung.

  • Page 44: Antriebselektronik Demontieren

    Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2.

  • Page 45: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    820 Hz Tab. 13: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Steuergerät ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Steuergeräts. 2. Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik.
  • Page 46 Wartung Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 46/126...

  • Page 47: Außerbetriebnahme

    1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.

  • Page 48: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Page 49: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Page 50 ● Schalten Sie das Netzteil ein. ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- Steuergerät: Pin 1-3...
  • Page 51 Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.

  • Page 52: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Page 53 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Page 54: Ersatzteile Hipace

    Ersatzteile HiPace 350 12 Ersatzteile HiPace 350 Abb. 22: Ersatzteile HiPace 350 Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 400 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Tab. 15: Verfügbare Ersatzteile 54/126...

  • Page 55: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Page 56 Wasserkühlung für HiPace 60 P / 80 / 350 / 450 und für SplitFlow 50 / 80 mit PM 016 623 -T Steckverschraubung, 8 mm Wasserkühlung für HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace PM 026 068 -T 800 mit Steckverschraubung 8 mm Flutventil, geschirmt, 24 V DC, G 1/8"...

  • Page 57: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Page 58 Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiPace® 350 mit TC 400, HiPace® 350 mit TC DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Saugvermögen für Ar 270 l/s 270 l/s Saugvermögen für H 300 l/s 300 l/s Saugvermögen für He 350 l/s 350 l/s Saugvermögen für N 300 l/s...
  • Page 59 20 mT 20 mT Gewicht 7,8 kg 10,6 kg Tab. 20: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 24 V Auswahlfeld HiPace® 350 mit TC 400, HiPace® 350 mit TC DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Anschlussflansch (Eingang)

  • Page 60: Kennlinien

    Zulässiges axiales Magnetfeld max. 20 mT 20 mT Gewicht 7,8 kg 10,6 kg Tab. 21: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 48 V 14.3 Kennlinien Backing pump: HiScroll 18 1.000 1.100 1.200 Rotation speed [Hz] H [hPa l/s]...

  • Page 61: Medienberührende Werkstoffe

    Medienberührende Werkstoffe Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz Nickel Filz Betriebsmittel (Esteröl) Oxidkeramik, ggf. Tab. 22: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 14.5 Abmessungen DN 100 ISO-K M8 (6x) DN 16 ISO-KF Abb. 24: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K 61/126...

  • Page 62: Abb. 25: Abmessungen Hipace 350 | Tc 400 | Dn 100 Iso-F

    DN 100 ISO-F ( 6 x ) DN 16 ISO-KF 1 2 8 Abb. 25: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F M8 (6x) DN 16 ISO-KF Abb. 26: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F Maße in mm...

  • Page 63: Eg Konformitätserklärung

    ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

  • Page 64: Konformitätserklärung

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Page 65 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Scope of delivery Identifying the product 3.3.1 Product types...
  • Page 66 Operating modes 6.2.1 Operating without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "remote" 6.2.3 Operation via connection "E74" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
  • Page 67 Conversion table: Pressure units Tbl. 19: Conversion table: Units for gas throughput Tbl. 20: Technical data for HiPace 350 with TC 400 | 24 V Tbl. 21: Technical data for HiPace 350 with TC 400 | 48 V Tbl. 22:...
  • Page 68 Spare parts HiPace 350 Fig. 23: Gas throughput characteristic depending on the rotation speed Fig. 24: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K Fig. 25: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F Fig. 26:...

  • Page 69: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.

  • Page 70: Pictographs

    Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 of the vacuum pump. HiPace 350 Mod. PM P07X XXXXX Type 12 - - - - - - - - IPx4 PM XXX XXX -T TÜV Rheinland...

  • Page 71: Abbreviations

    About this manual Fig. 1: Position of the stickers on the product 1 Operating instructions note Functional earth ground connection note 2 Warranty seal Rating plate of the turbopump 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Nominal diameter as size description...

  • Page 72: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Page 73 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ► Make sure that the power supply pack meets the requirements for double isolation between mains input voltage and output voltage, in accordance with IEC 61010-1 IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
  • Page 74 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
  • Page 75 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.

  • Page 76: Safety Precautions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.

  • Page 77: Limits Of Use Of Product

    Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...

  • Page 78: Personnel Qualification

    The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.

  • Page 79: Personnel Qualification For Maintenance And Repair

    ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.

  • Page 80: Product Description

    Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. Fig. 2: HiPace 350 design 1 Electronic drive unit TC 400 Mounting surface for air cooling (alternative:...

  • Page 81: Drive

    ID no. 000021320. 3.3.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.

  • Page 82: Transportation And Storage

    ► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.

  • Page 83: Installation

    Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.

  • Page 84: Connecting The High Vacuum Side

    ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.

  • Page 85: Considering Earthquake Protection

    1 Safety connection, customer-side 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.

  • Page 86: Using The Vibration Compensator

    4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.3.5 Mounting orientations Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series are suitable for use with dry compressing backing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range.

  • Page 87: Attaching Iso-K Flange To Iso-F

    Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.

  • Page 88: Attaching Iso-F Flange To Iso-F

    Connection of the stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange.

  • Page 89: Attaching Cf Flange To Cf-F

    Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.

  • Page 90: Fig. 12: Flange Connection Cf-F, Hexagon Head Screw And Through Hole

    Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.

  • Page 91: Connect The Fore-Vacuum Side

    Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.

  • Page 92: Connecting Accessories

    6. Tighten the cylinder screws on the clamp lock evenly. – Tightening torque: 2 Nm. 5.5 Connecting accessories Installation and operation of accessories Pfeiffer Vacuum offers a series of special, compatible accessories for its products. ● Information and ordering options for approved accessories for hybrid bearing turbo- pumps can be found online.

  • Page 93: Connecting The Electrical Supply

    ● The use of other accessories for turbopumps is possible and requires settings in the configuration of the electronic drive unit. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. ● For detailed information see the “Electronic drive unit TC 400” or “Electronic drive unit TC 700”...

  • Page 94: Establishing Electric Connection

    Installation Fig. 16: Example: Connecting the grounding cable Procedure 1. Use the turbopump ground terminal (M4 female thread). 2. Route the connection in accordance with locally applicable provisions. 5.6.2 Establishing electric connection DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ►...

  • Page 95: Fig. 17: Connecting Electronic Drive Unit To Power Supply Pack

    2. Make sure that the power supply pack main switch is off prior to connection. 3. Use a suitable connection cable from the Pfeiffer Vacuum accessories range. 4. Insert the connecting cable into the connection "DCin" on the electronic drive unit and close the bayonet lock.

  • Page 96: Operation

    Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.

  • Page 97: Operating Modes

    Instructions for operation without control panel 1. Use only the approved Pfeiffer Vacuum mating plug with bridges on the connection of the elec- tronic drive unit. 2. Switch on the mains supply of the turbopump only immediately before operation.

  • Page 98: Switching On The Turbopump

    6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol...

  • Page 99: Temperature Monitoring

    ► Observe the prescribed maximum pressure rise speed of 15 hPa/s. ► Avoid manual and uncontrolled venting of very low volumes. ► Where necessary, use a venting valve from the Pfeiffer Vacuum range of accessories. Manual venting Manual venting describes the standard process for venting the turbo pumping station.

  • Page 100: Tbl. 11: Factory Settings For Delayed Venting In Turbopumps

    General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.

  • Page 101: Maintenance

    ● Determine the specific service lives during the first operating interval. ● Consult with Pfeiffer Vacuum Service if you wish to reduce the maintenance frequency. Maintenance Level 2 and Level 3 We recommend Pfeiffer Vacuum Service (PV) carry out maintenance work at Level 2 and Level 3 (inspection).

  • Page 102: Replacing Operating Fluid Reservoir

    Maintenance ► Pay attention to when the operating fluid must be changed. ► For any questions relating to maintenance, contact the appropriate Pfeiffer Vacuum Service loca- tion. Action Inspection Mainte- Mainte- Mainte- Required ma- nance lev- nance lev- nance lev-...

  • Page 103: Removing The Operating Fluid Reservoir

    Scan this qr code or click here and see the service level 1, replacing operating fluid reservoir. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ● Vacuum system vented to atmospheric pressure ●...

  • Page 104: Installing The Operating Fluid Reservoir

    Maintenance Fig. 18: Removing the operating fluid reservoir 1 Allen head screw Capillary rods (9×) 2 Screw cap Injection tip 3 O-ring Protective cover 4 Operating fluid reservoir Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2.

  • Page 105: Replacing Electronic Drive Unit

    Maintenance Fig. 19: Installing the operating fluid reservoir 1 Operating fluid reservoir Screw cap 2 Capillary rods (9×) O-ring 3 Injection tip Protective cover 4 Allen head screw Installing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2.

  • Page 106: Dismantle The Electronic Drive Unit

    Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1.

  • Page 107: Confirming Speed Specification

    Tbl. 13: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Required aids ● Connected Pfeiffer Vacuum control unit ● Knowledge of the configuration and setting of electronic drive unit operating parameters Adjusting nominal rotation speed confirmation 1. Observe the operating instructions of the control unit.
  • Page 108 Maintenance Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units. 108/126...

  • Page 109: Decommissioning

    2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.

  • Page 110: Recycling And Disposal

    ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...

  • Page 111: Malfunctions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.

  • Page 112: Tbl. 14: Troubleshooting Turbopumps

    ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700].

  • Page 113: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Page 114 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Page 115: Spare Parts Hipace

    Spare parts HiPace 350 12 Spare parts HiPace 350 Fig. 22: Spare parts HiPace 350 Position Designation Part number Remark Pieces Electronic drive unit TC 400 refer to the rating plate depending on the connection panel Operating fluid reservoir refer to the rating plate incl.

  • Page 116: Accessories

    Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and display units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Display and operating units are used to check and adjust operating parameters.

  • Page 117: Tbl. 16: Accessories

    Water cooling for HiPace 60 P / 80 / 350 / 450 and for SplitFlow 50 / 80 with push- PM 016 623 -T in fitting, 8 mm Water cooling for HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace PM 026 068 -T 800 with push-in fitting 8 mm Venting valve, shielded, 24 V DC, G 1/8", for connection to TC 400/1200 and TM...

  • Page 118: Technical Data And Dimensions

    Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Page 119 1 · 10 mbar l/s Permissible radial magnetic field max. 4.5 mT 4.5 mT Permissible axial magnetic field max. 20 mT 20 mT Weight 7.8 kg 10.6 kg Tbl. 20: Technical data for HiPace 350 with TC 400 | 24 V 119/126...
  • Page 120 Technical data and dimensions Selection field HiPace® 350 with TC HiPace® 350 with TC 400, DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Connection flange (in) DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Connection flange (out) DN 16 ISO-KF / G 3/8" DN 16 ISO-KF / G 3/8"...

  • Page 121: Characteristics

    Permissible axial magnetic field max. 20 mT 20 mT Weight 7.8 kg 10.6 kg Tbl. 21: Technical data for HiPace 350 with TC 400 | 48 V 14.3 Characteristics Backing pump: HiScroll 18 1.000 1.100 1.200 Rotation speed [Hz] H [hPa l/s]...

  • Page 122: Dimensions

    Materials that make contact with the process media 14.5 Dimensions DN 100 ISO-K M8 (6x) DN 16 ISO-KF Fig. 24: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F ( 6 x ) DN 16 ISO-KF 1 2 8 Fig. 25:...

  • Page 123: Fig. 26: Dimensions Hipace 350 | Tc 400 | Dn 100 Cf-F

    Technical data and dimensions DN 100 CF-F M8 (6x) DN 16 ISO-KF Fig. 26: Dimensions HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F Dimensions in mm 123/126...

  • Page 124: Ec Declaration Of Conformity

    DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

  • Page 125: Declaration Of Conformity

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 126 Notizen / Notes:...

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