Produktbeschreibung; Funktion; Kühlung; Rotorlager - Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 Operating Instructions Manual

3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung
dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile.
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Abb. 2:
1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
2 Flutschraube
3 Erdungsanschluss
4 Pumpengehäuse, Edelstahl
5 Turborotor
6 Hochvakuumanschluss, DN 100 CF-F
7 Vorvakuumanschluss, DN 16 ISO-KF
8 Multifunktionsanschluss "X3"
3.1.1 Kühlung
● Konvektionskühlung
● Luftkühlung (optional)
● Wasserkühlung (optional)
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
● Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
● Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Die dauerhafte Schmierung der Rotorlagerung auf der Vorvakuumseite gewährleistet ein Betriebsmittel-
speicher.
3.1.3 Antrieb
● Antriebselektronik TC 110
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Aufbau HiPace 300
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9
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9 LED-Betriebsanzeige
10 Sperrgasanschluss
11 Kühlwasserblockblende
12 Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss
13 Pumpenunterteil
14 Antriebselektronik TC 110
15 Pumpengehäuse, Aluminium

Produktbeschreibung

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