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Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 H
- Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 300 H Turbopumpe Turbopump...
- Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
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Page 3: Table Of Contents
Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale... - Page 4 Inhaltsverzeichnis Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.4 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
- Page 5 Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 11: Wartungsintervalle Tab. 12: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 13: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 14: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 300 H Tab. 15: Zubehör Tab. 16: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 17: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
- Page 6 Abb. 24: Kennlinie für Kompressionsverhältnis gegen Vordruck bei Gasdurch- satz = 0 | HiPace 300 H Abb. 25: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-K Abb. 26: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-F Abb.
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Page 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. -
Page 8: Piktogramme
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 300 H der Vakuumpumpe. Mod. PM P05 XXX Typenschild der Antriebselektronik Type 12... -
Page 9: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara- meter Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß... -
Page 10: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Page 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
- Page 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
- Page 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
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Page 14: Sicherheitsmaßnahmen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten... -
Page 15: Einsatzgrenzen Des Produkts
Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►... -
Page 16: Vorhersehbarer Fehlgebrauch
● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Page 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum. -
Page 18: Produktbeschreibung
Pfeiffer Vacuum Netzteile. Die Eigenschaftsbezeichnung "H" kennzeichnet Turbopumpen, die herausragende Kompressionsver- hältnisse ausweisen, insbesondere bei leichten Gasen. Ein Sperrgasanschluss ist bei dieser Turbopumpe nicht vorhanden. Abb. 2: Aufbau HiPace 300 H 1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss Multifunktionsanschluss "X3" 2 Flutschraube LED-Betriebsanzeige 3 Erdungsanschluss Kühlwasserblockblende... -
Page 19: Produkt Identifizieren
Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320. -
Page 20: Transport Und Lagerung
► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen. -
Page 21: Installation
Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe. -
Page 22: Turbopumpe Am Unterteil Befestigen
Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►... -
Page 23: Erdbebensicherheit Berücksichtigen
● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 300 2000 Nm... -
Page 24: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden
Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart... -
Page 25: Einbaulagen
4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich. -
Page 26: Abb. 6: Flanschverbindung Iso-K Mit Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe. -
Page 27: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe. -
Page 28: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen
Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe. -
Page 29: Abb. 13: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung
Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein. -
Page 30: Vorvakuumseite Anschließen
Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B. -
Page 31: Zubehör Anschließen
Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte mit TC verbinden ● Die Verwendung von Pfeiffer Vacuum Zubehör über die Antriebselektronik ist über ent- sprechende Verbindungskabel bzw. Adapter am Multifunktionsanschluss "X3" möglich. ● Konfiguration des gewünschten Zubehörausgangs über RS-485 mittels Pfeiffer Vacu- um Steuergeräte oder PC. -
Page 32: Turbopumpe Erden
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.6.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. -
Page 33: Abb. 18: Antriebselektronik Mit Netzteil Verbinden
5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verlängerungskabel an das Steuergerät an. 33/122... -
Page 34: Betrieb
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich. -
Page 35: Betrieb Ohne Bedieneinheit
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center. -
Page 36: Turbopumpe Einschalten
► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status... -
Page 37: Temperaturüberwachung
Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum Ausfall sind die Folge. ► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein. ► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina. ► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 37/122... - Page 38 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
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Page 39: Wartung
Für die Durchführung von Wartungsarbeiten der Level 2 und 3 empfehlen wir den Pfeif- fer Vacuum Service (PV). Bei Überschreiten der genannten Intervalle oder bei unsachge- mäß ausgeführten Wartungsarbeiten, entfallen jegliche Gewährleistungs- und Haftungsan- sprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile ver- wenden. Empfehlungen für die Ausführung von Wartungsmaßnahmen ►... -
Page 40: Betriebsmittelspeicher Austauschen
Wartung ► Beachten Sie die Dauer der Gebrauchsfähigkeit des Betriebsmittels. ► Wenden Sie sich für Fragen zur Wartung an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. Tätigkeit Inspektion Wartung Wartung Wartung Benötigtes Level 1 Level 2 Level 3 Material Beschrieben in Dokument... -
Page 41: Betriebsmittelspeicher Demontieren
● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●... -
Page 42: Betriebsmittelspeicher Montieren
Wartung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus. 4. Nehmen Sie den Verschlussdeckel ab. 5. Achten Sie auf den O-Ring und benutzen Sie ggf. einen O-Ring Picker zum Herausnehmen. 6. -
Page 43: Antriebselektronik Austauschen
Wartung 7.4 Antriebselektronik austauschen HINWEIS Schäden an Vakuumpumpe und Antriebselektronik durch unsachgemäßes Trennen von Kom- ponenten Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Vakuumpumpe elektrische Ener- gie. Bei vorzeitiger Trennung von Vakuumpumpe und Antriebselektronik besteht die Gefahr eines Massenschlusses und dadurch die Zerstörung von elektronischen Bauteilen. ►... -
Page 44: Antriebselektronik Installieren
Wartung Abb. 21: Demontage der Antriebselektronik TC 110 1 Torxschraube Schutzdeckel Vorvakuumanschluss 2 Antriebselektronik Adapterplatte 3 Schutzdeckel Hochvakuumanschluss Vorgehen 1. Stellen Sie die Turbopumpe ggf. aufrecht. 2. Schrauben Sie alle 4 Torxschrauben aus der Antriebselektronik heraus. 3. Ziehen Sie die alte Antriebselektronik gerade von der Turbopumpe ab. 7.4.2 Antriebselektronik installieren Benötigte Werkzeuge ●... -
Page 45: Drehzahlvorgabe Bestätigen
4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 45/122... -
Page 46: Außerbetriebnahme
1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen. -
Page 47: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Page 48: Störungen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall... - Page 49 ● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Steuergerät.
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Page 50: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Page 51 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Page 52: Ersatzteile Hipace 300 H
12 Ersatzteile HiPace 300 H Abb. 23: Ersatzteile HiPace 300 H Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Tab. 14: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 300 H 52/122... -
Page 53: Zubehör
Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. - Page 54 Zubehör Benennung Bestellnummer TPS 180, Netzteil für Wand/Normschienenmontage PM 061 341 -T TPS 181, Netzteil 19" Teileinschub 3HE PM 061 345 -T Netzkabel 230 V AC, CEE 7/7 auf C13, 3 m P 4564 309 ZA Netzkabel 115 V AC, NEMA 5-15 auf C13, 3 m P 4564 309 ZE Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf C13, 3 m P 4564 309 ZF...
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Page 55: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●... - Page 56 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung erwei- HiPace® 300 H mit HiPace® 300 H mit HiPace® 300 H mit tert TC 110 TC 110 TC 110 Kompressionsverhältnis für 2,5 · 10 2,5 · 10 2,5 · 10 Kompressionsverhältnis für > 1 · 10 >...
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Page 57: Medienberührende Werkstoffe
-20 – 55 °C -20 – 55 °C -20 – 55 °C Gewicht 6,2 kg 8,2 kg 6,5 kg Tab. 18: Technische Daten für HiPace 300 H | 24 V 14.3 Medienberührende Werkstoffe Medienberührende Werkstoffe Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz... -
Page 58: Kennlinien
Technische Daten und Abmessungen 14.4 Kennlinien foreline pressure [hPa ; mbar] Abb. 24: Kennlinie für Kompressionsverhältnis gegen Vordruck bei Gasdurchsatz = 0 | HiPa- ce 300 H 58/122... -
Page 59: Abmessungen
Maße in mm DN 100 ISO-K 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Abb. 25: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Abb. 26: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F 18.3... -
Page 60: Eg Konformitätserklärung
ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... -
Page 61: Konformitätserklärung
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... - Page 62 62/122...
- Page 63 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
- Page 64 Operation Commissioning Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "X3" 6.2.3 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.4 Operation via connection "E74" 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
- Page 65 Maintenance intervals Tbl. 12: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Tbl. 13: Troubleshooting turbopumps Tbl. 14: Overview of the spare parts available for the HiPace 300 H Tbl. 15: Accessories Tbl. 16: Conversion table: Pressure units Tbl. 17: Conversion table: Units for gas throughput Tbl.
- Page 66 Compression ratio to supply pressure characteristic for gas throughput = 0 | HiPace 300 H Fig. 25: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-K Fig. 26: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-F Fig. 27:...
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Page 67: About This Manual
Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status. -
Page 68: Pictographs
This section describes all the stickers on the product along with their meanings. Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 300 H of the vacuum pump. Mod. PM P05 XXX Rating plate of the electronic drive unit... -
Page 69: Abbreviations
About this manual 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Nominal diameter as size description Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) Handheld Programming Unit. -
Page 70: Safety
Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►... - Page 71 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ► Make sure that the power supply pack meets the requirements for double isolation between mains input voltage and output voltage, in accordance with IEC 61010-1 IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
- Page 72 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
- Page 73 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.
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Page 74: Safety Precautions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate. -
Page 75: Limits Of Use Of Product
Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►... -
Page 76: Personnel Qualification
The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product. -
Page 77: Personnel Qualification For Maintenance And Repair
─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training. -
Page 78: Product Description
Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. The properties designation "H" identifies turbopumps that have outstanding compression ratios, in par- ticular with light gases. -
Page 79: Identifying The Product
ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description. -
Page 80: Transportation And Storage
► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits. -
Page 81: Installation
Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond. -
Page 82: Connecting The High Vacuum Side
● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump. -
Page 83: Considering Earthquake Protection
Safety connections, customer-side 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange. -
Page 84: Using The Vibration Compensator
4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.3.5 Mounting orientations Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series are suitable for use with dry compressing backing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range. -
Page 85: Attaching Iso-K Flange To Iso-F
Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure. -
Page 86: Attaching Iso-F Flange To Iso-F
Connection of the stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange. -
Page 87: Attaching Cf Flange To Cf-F
Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure. -
Page 88: Fig. 12: Flange Connection Cf-F, Hexagon Head Screw And Through Hole
Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange. -
Page 89: Connecting The Fore-Vacuum Side
Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange. -
Page 90: Connecting Accessories
Connecting accessory devices to TC ● Use of Pfeiffer Vacuum accessories via the electronic drive unit is enabled via a corre- sponding connection cable or adapter at the “X3” multi-function connection. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. -
Page 91: Connecting The Electrical Supply
► Observe the installation instructions in the operating instructions for the relevant accessory. ► Note the existing configuration of existing connections and control lines. ► Use a Pfeiffer Vacuum control unit for the configuration if needed. 5.6 Connecting the electrical supply... -
Page 92: Establishing Electric Connection
Installation Fig. 17: Example: Connecting the grounding cable Procedure 1. Use the turbopump ground terminal (M4 female thread). 2. Route the connection in accordance with locally applicable provisions. 5.6.2 Establishing electric connection DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ►... -
Page 93: Fig. 18: Connecting Electronic Drive Unit To Power Supply Pack
5. Insert the connecting cable into the connection "DCout" on the power supply pack and close the bayonet lock. 6. If you are using a Pfeiffer Vacuum control unit: Connect the “RS-485” connector to the control unit using a suitable extension cable. -
Page 94: Operation
Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol. -
Page 95: Operation Without Operating Unit
Notes on operation without control unit 1. Only use the approved Pfeiffer Vacuum connection cables with bridges on the "X3" connection on the electronic drive unit. 2. Only switch on the power supply of the turbopump immediately before operation. -
Page 96: Switching On The Turbopump
6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol... -
Page 97: Temperature Monitoring
This causes mechanical damage to the turbopump, including potential failure. ► Observe the prescribed maximum pressure rise speed of 15 hPa/s. ► Avoid manual and uncontrolled venting of very low volumes. ► Where necessary, use a venting valve from the Pfeiffer Vacuum range of accessories. 97/122... -
Page 98: Tbl. 10: Factory Settings For Delayed Venting In Turbopumps
General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate. -
Page 99: Maintenance
● Determine the specific service lives during the first operating interval. ● Consult with Pfeiffer Vacuum Service if you wish to reduce the maintenance frequency. Maintenance Level 2 and Level 3 We recommend Pfeiffer Vacuum Service (PV) carry out maintenance work at Level 2 and Level 3 (inspection). -
Page 100: Replace Operating Fluid Reservoir
Maintenance ► Pay attention to when the operating fluid must be changed. ► For any questions relating to maintenance, contact the appropriate Pfeiffer Vacuum Service loca- tion. Action Inspection Mainte- Mainte- Mainte- Required ma- nance lev- nance lev- nance lev-... -
Page 101: Removing The Operating Fluid Reservoir
● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●... -
Page 102: Installing The Operating Fluid Reservoir
Maintenance Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2. Place the turbopump on the closed high vacuum flange. 3. Unscrew all Allen head screws from the screw cap on the pump base. 4. Remove the screw cap. 5. -
Page 103: Replacing Electronic Drive Unit
Maintenance 7.4 Replacing electronic drive unit NOTICE Damage to the vacuum pump and electronic drive unit due to improper disconnection of com- ponents Even after the power supply has been switched off, the vacuum pump continues to deliver electrical energy during its run-down period. If the vacuum pump and electronic drive unit are disconnected prematurely, there is the risk of body contact and consequently the destruction of electronic compo- nents. -
Page 104: Installing Electronic Drive Unit
Maintenance Fig. 21: Removal of electronic drive unit TC 110 1 Torx screw Fore-vacuum connection protective cover 2 Electronic drive unit Adapter plate 3 High vacuum connection protective cover Procedure 1. Install the turbopump upright if required. 2. Unscrew all 4 Torx screws from the electronic drive unit. 3. -
Page 105: Confirming Speed Specification
5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units. -
Page 106: Decommissioning
2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing. -
Page 107: Recycling And Disposal
● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –... -
Page 108: Malfunctions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892. -
Page 109: Tbl. 13: Troubleshooting Turbopumps
● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700]. -
Page 110: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum
We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality. - Page 111 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
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Page 112: Hipace 300 H Spare Parts
Electronic drive unit TC refer to the rating plate depending on the connec- tion panel Operating fluid reservoir refer to the rating plate incl. capillary rods and O- ring Tbl. 14: Overview of the spare parts available for the HiPace 300 H 112/122... -
Page 113: Accessories
Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Display and operating units are used to check and adjust operating parameters. -
Page 114: Tbl. 15: Accessories
Accessories Description Order number TPS 181, power supply pack 19" plug-in unit 3HU PM 061 345 -T Mains cable 230 V AC, CEE 7/7 to C13, 3 m P 4564 309 ZA Mains cable 115 V AC, NEMA 5-15 to C13, 3 m P 4564 309 ZE Mains cable 208 V AC, NEMA 6-15 to C13, 3 m P 4564 309 ZF... -
Page 115: Technical Data And Dimensions
Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●... - Page 116 Technical data and dimensions Type designation extended HiPace® 300 H with HiPace® 300 H HiPace® 300 H with TC 110 with TC 110 TC 110 Pumping speed for Ar 255 l/s 255 l/s 255 l/s Pumping speed for H 220 l/s 220 l/s 220 l/s Pumping speed for He...
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Page 117: Substances In Contact With The Media
-20 – 55 °C ture Weight 6.2 kg 8.2 kg 6.5 kg Tbl. 18: Technical data for HiPace 300 H | 24 V 14.3 Substances in contact with the media Substances in contact with the media Aluminum alloy Stainless steel Rare-earth magnets Carbon-fiber-reinforced plastic... -
Page 118: Characteristics
Technical data and dimensions 14.4 Characteristics foreline pressure [hPa ; mbar] Fig. 24: Compression ratio to supply pressure characteristic for gas throughput = 0 | Hi- Pace 300 H 118/122... -
Page 119: Dimensions
Dimensions in mm DN 100 ISO-K 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 25: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 26: HiPace 300 H | TC 110 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F 18.3... -
Page 120: Ec Declaration Of Conformity
DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43... -
Page 121: Declaration Of Conformity
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43... - Page 122 Notizen / Notes:...
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