CRYO-U
Cryopump Instruction Manual
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Figure
4-2 Examples of Cryopump Installation・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4-3
4-3 Maintenance Space・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4-4
4-4 Pressure Loss of Regeneration Gas Purge PR Unit・・・・・・・・・・・ 4-6
8-1 Charging Helium Gas・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-7
8-3 Connecting Charging Adapter・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-9
8-4 Cryopump Decontamination Procedures(1)・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-10
8-5 Cryopump Decontamination Procedures(2)・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-12
E-2 Principle of G-M Cycle Operation・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ E-4
Table
2-1 Shipping List for Cryopump System・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2-1
2-2 Shipping List for Cryopump assembly・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2-1
5-1 Cryopump Temperature Indication
5-2 Maximum Quantity of Sucked Gas Processable by Cryopump
8-1 Maintenance Parts and Intervals・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-2
8-2 CRYO-U
FIGURES
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TABLES
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(When used at room temp.of 20℃)・・・・・・・・・・・・・ 5-3
(Guideline Quantity to the Air)・・・・・・・・・・・・・・・・ 5-5
6H Consumables・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8-3
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ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
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Ⅲ