Inficon Transpector XPR 3+ Operating Manual page 5

1.13.5 Humidity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.14 Computer System Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.15 Software Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.16 Hardware Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.16.1 Avoiding Process Metal Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.16.2 Installing the Isolation Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.16.3 Mounting the Pirani Interlock Weldment Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.16.4 Mounting the Pirani Gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.16.5 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.16.6 Electronics Module Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-22
1.16.7 Initial Start-up Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-23
1.16.8 Installing Ethernet Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-23
1.16.9 Connecting the 24 V(dc) Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-24
1.16.10 Connecting the Pirani Interlock Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-24
1.16.11 Attaching Heating Jackets . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-25
1.17 Input/Output (I/O) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-25
1.17.1 Two Digital Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-26
1.17.2 One Status Relay Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-26
1.17.3 One Analog Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-28
Chapter 2
Connecting Transpector XPR 3+
2.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 General Networking Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2.1 IP Addresses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2.2 Subnetworking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3 Transpector XPR 3+ IP Address . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3.1 Changing Transpector XPR 3+ IP Address . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.4 Connecting Transpector XPR 3+ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.4.1 Connecting a Single Transpector XPR 3+ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.4.2 Installing Multiple Transpector XPR 3+ Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
Chapter 3
How The Instrument Works
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 Patents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.4 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.4.1 The Ion Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.4.2 The Quadrupole Mass Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.4.3 The Ion Detector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Transpector XPR 3+ Operating Manual
TOC - 2