Table of Contents
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M odel
5528A
list of Figures
Figure
6·1,
H ardware Required for any Distance Measuremenl
Figure
Optional Hardware
6·2,
Figure
6-3.
Interferometer Assembly
Figur�
fi-4.
Po!t.itioning the Optics
Figure
i n terferometer Mounting
6-5.
Figure
6-6.
Retroreflector Mounting .. .
Figure
Interferometer and
6-7.
Figurf' fi-8. Visual lnclicCl tion of
Three- Axis I 'osltioning of O p tics
Figure
6-9.
Figure 6- 10. Right-angle Moun ting
F i g ure
6-11.
Sen sor Plare-mt>nt
Figure
6-12.
Air Sensor Orientation
Figure
6-13.
Cosine Error
Figure
6·'4.
Error Budget WorksheeT - Example
Hardware Required for any Dismnce Measurement
Figure
8-1.
Figure
8-2.
Positioning the Oplics
Figure
Angular
8·3.
Figure
8
4.
Table-top versus
-
Fi�ure
8·5,
Angular Reflector Mounting
Angu lar Reflector M ounting
Figure
8-6.
Figure
8-7.
A H aching Alignment Target to An gular Interferometer
A lfachillg AIi)!llment Target to Angular Reflector
Figure
8·8.
Figure
8-9.
Positioning of Optics
Figure
Posi tioning of O ptiCS - for Yaw Mea�urernenlS
8-10.
Figure
9-1.
H
a
dw
r
ar
I n stallin�
Figure
9·2.
Figure
9-- 3 .
I n st alling the A n gular Reftector ,
Figure
Grid M a p of Surface Plate
9-4.
Figure
9-5.
local ion
Figure
Positioning of Optics for F i rst M easurement Line
9-6.
Figure
Positioning Optics for Each Mea surement line
9-7.
Hardware Required
Figure
10- 1.
Figure
10-2.
Positioning
Figure
Straightness Interferometer Mounting
10-3,
Figure
Straightness R eflector Mounting
10-4.
Figure
10-5.
lnlerferometN Be.:.pl - Scribcline
'10-6.
Inilial Posilionin!:: of Reflector
Figurf'
Figure
10-7.
Two DaiS
Figure
Removing Siopc .... . .. ... . . . .... . . .
10-8.
Figure
10-9.
Three-axis positioning
Figure
10-10.
Three-a xis positioning of Optics
Flatness of Straightness Reflcctor Mitrors
Figure
10-11.
Figure
10-12.
M isalignment between Machine Tmvel and
Figllre 1'-1.
Htlrdware Required
S t r aightness R c flCdor Mounting
Figure
'1-2.
F igure
11-3.
In terferomet
Figure
Positioning the Oplic.
1 1 -4.
Figure
'1-5.
Turning Mirror
FiglJlf'
Alignment Ring on Straightness
" -6,
fisure 1 ' -7. Initial Positioni n g of Reflcctor
List of Figures (Continued)
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Retroreflector.
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Cosine
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Mounting
hllcrleromeler
Spindle Mounting
-
for Pitch Measurement
-
fOI
-
for Pitch Measurements
e Required for any FI3tness Measurement
Angular Interferometer
the
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of
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the
O ptics
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on
the Reflector
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of Optics
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and Turning Mirror Moun ting
I
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Orientation
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Relroreflector
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wilh Targets
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Yaw
Measurements
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11-12
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