Table of Contents
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B:
APPENDIX
MEASUREMENT CONSiDERATIONS
lASER
SYSTEM
MEASUREMENTS
REP EATABILITY, ACCURACY, RESOlUTION ,
FACTORS AfFECTING ACCURACY AND
Machine-Relatcd
Factors
Abbe' Offset Error
.
.
. . . . . . .
APPENDIX C, HARDWARE DIMENSIONS
,
GLOSSARY
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..
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F
ig
u
r
e 2-1.
M
ea
s
ur
e
men
t Display
Fi�ure
2-2 .
Measurement
laser Head
Figure
2-3.
-
Figure
2-4,
laloer
H e ad
- Rear
Figure
2-S .
Template for Initial
Figure
2- 6.
Warm-up Rouline
Figure
2-7. Assembly
of Interferometer
Figure 2-8.
Mounting of Interferometer .,., ........
Figure
2-9,
Mounting of Retroreflector
Figure 2-10.
Positioning of
Figure
2-11.
Interferometer
Figure
2-12. A
i
r
Sensor
-
Figure 2-13 . Air
Sensor
-
Fi8ure 2-14 .
Air Sensor
-
Figure 2-15. M
ater
i
a
l
Temperature Sensor
Figure
4-1. Hardware
Required for all
Figure
4-2.
Installing the Laser
Figure 4-3 . laser Head and Tripod
Figure
4-4 .
Translating and Rotating the
4-5.
Figure
Positioning Tripod ilnd laser
F i
g
u
re
5-1.
Connecting the laser Head to
Figure
5·2. ConncCling
Sensors to Ihe Ml:!asurement
Figure
5-3.
Connecting the Remote COl1trol Box
FlgUlc 5-4. HP-JB
Connections
Figure
5-5.
l
i
ne Voltage Selection
Figure
5-6.
W
ar
m
-
p
Routine
u
Table of Contents (Continued)
.
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PRECISION
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LIST OF FIGURES
Unit
FrOnt
Panel
-
Display
Unit
Rear Panel
-
Front
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Set-up .. . .... . . , .... .. ..... .. ...... . .. , .. .. .. . . ... . 2-11A
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OptiC'i
and laser
Head
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
and
RClrorcflcClor. wilh
Temperilture Reading
........ ,
Pressure Reading
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . , . .. .. .. .. .
Humidity Reading
..... ... .. , .... . . ... . .... . . .. .... . . . .. .
R
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n
t
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Head
on the Tripod
Positioning Controls
lascr Head
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the
Meilsurement D
10
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Targets
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y
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Display
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the Measurement Display Unit
, . . . .
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,
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Model 5528A
Table of Contents
&
Ust of
Figures
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8-1
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8-'
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8·2
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8·3
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B-3
B-4
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C-o
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G-'
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2-3
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2
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2 - 14
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2-1
5
. . . .
. . . . .
2-15
.
•
.
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.
.
.
.
2-17
, • . . . . • . .
, .. . . . .
2 - 2 1
2·21
2 -22
, . . ... . 2·22
4-2
•
,
. .
, . . • . . .
4-5
, ., . .
4-6
4-8
.
.
.
.
.
.
. . . . .
5-3
5-5
.
5-7
. . .
.
5-11
5-13
.
.
. .
.
.
xiii
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Table of Contents
