HP 5528A User Manual page 16

Laser measurement system
Table of Contents

Advertisement

M odel 5528A
Table of
C
ont
ts
en
TRANS fER WITH
DATA
IntroductIon
. . .
Sct·Up
. . .
.
.
Operation
.
.
SECTION
V.O.L COMPENSATION FACTOR
19:
CO
T
E
N
TS
N
. • • . • • . . • . . . • . .
I NTRODUCTION
WHAT
15
V
THE
O
.
COMPENS�TION
HOW
DO YOU DETERMINE THE V.O.l.
ENTfR THE V.O.L. C
HOW DO YOU
SECTION
OPERATOR INFORMATION
20:
NT
R
D
C
O
N
I
O
U
TI
CLEANING THE
MEASUREMENT DISPLAY UNIT' AIR rlLTER
CALIBRATION
. ..
O
CLEANING IH�
2'1:
SECTION
STRAIGHTNESS AND SQUARENESS CONSiDERATIONS
CONTENTS
.
. .
,
INTRODUCTION
ALCULATION or
nd
E
PoInt Ht
Method
LEAST
SQUARES
CALCULATION
OF
Sign Convention!.
Squareness
lkt
lnin
Sign Convention!.
e
rm
g
APPENDIX A: PRINCIPLES OF OPERATION
CONTENTS
,
. . . . .
I
N
TRODUC'IION
HARDWARE DESCRIPTIONS
5S08A MCdSUrf.!Hlcnt
e
Head
5S18A L
a�
r
10751 Air
e
S
n
s
10757
Material
10766A
L
i
n
a
r Interferometer
c
i
n
10767A l
c
al
1077 0 A Anguldr
1077 1 A Angular R
10774A
and
10775A
PRINCIPLES OF MEASUREMENTS
General System
Dl !o 1olnCe
Vetochy
and
n
gu
l
a
r
M
e
d�
u
A
Flatness
M
e
a
sur
i
e
tr
g
ht
n
s
s
M
S
a
Sq
a
n
u
r
s
M
c
c!.
Parallelism
Mc:asulclnenl:.
xii
Table
01
Contents (Continued)
A
N Hp·1IJ CONTROLLER
.
.
.
.
.
.
.
.
. . . .
.
.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . • . • . • .
.
.
.
.
. . . . . . . . . . . .
. . . . . . .. • . . .. • . . . . . . • . • .
.
.
.
.
.
. . . .
.
.
.
. . . . . .
.
.
. . . .
. • . . . . . . .. . . . . . . . . . • . . . . . . . • . •
.
.
.
. . . . . . . . . . . .
. .
. .
.
. . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . .
COMPENSATION FACTOR? . . . . . . . . . . .. .. . . .. . . . . . . . ... . .......
.l
.
[AC[OR
"STA NDARD"
FOR
COMPENSATION FACT ORI
P
E
OM
. . . . . . . . . . .
. . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . • • . . , . • . . . . • • , .. . .. .
. .
• • .
. . .
.
.
.
• . .. . • .
• •
.
PT
. . . . . ... . . . .. . ...... ... . . .. . . ... .. ... . .. .. . .. .... .. . . . . . . . . 20·2
i
C
S
.
.
. .... . . . . . .
.
.
. . • . . . .
. . . . . .
.
.
.
. . . .
.
.
.
.
. .. .
. . .
.
. ,
. . . . . . .
StOPE
.
.
.
.
.
.
.
.
. •
.
.
. . . . . . . . . . . . • 0
• • • • • '
FIT METHOD
. .. . . . . . .. . . .....
Q
A
S
S
U
R
EN
E
S
.................
. . • . . . • • .
....
.
. . .
.
.
.
. . . .
, .
.
. . . .
.
.
.
, .
.
.
.
. .
"
. .
. . . • . ,
'
, . .
,
.
,
.
.
' .
,
..................................... . . .
Di�play
. .
,
. . . . • .
. • • . • • • • . , . ,
. . . . • . . . . . .. . . • . • • • • • . . . . •
o
r
. • . . .
"
. . . .
. • . . • • . • . . • • . .. • • • • • . . . • . . . • • .. • . • • , . . • • • • . . • . • . . . . . .
n
r
S
e
S
o
• • . • • .. . . . • • . , • • • • . . • • • • .• • . . . . . . • • • . •. • . • . • . .
. . .
. . . . . . • .
RctroreficClor
.
.
.
.
.
.
.
.
. .
1"I�rfer0l11eter
.
. .
. . .
.
efl
o
e
r
ct
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
Straightne!.s
I
nterferometer and
..
, . . .
,
. . , .. . . . . . . .. . , ... . . . . . . .. . , " '
P
n
r
i
l
i
c
p
e!.
. . .
.
.
. . . . . . .
MeasuremenTS
. .
nt
r
eln
e
s
. . . . . . .
,
.
. .. .
e
me
nt
!.
.
.
. . . . . .
. . . . . • .
e
e
asu
r
m
n
l
c
$
. . . . . . • • . . • • .. . . . • • . .. . • • . , . • . . . •. • • . . • • . . .. • • • • • . . . . .
n
e
alt
ur
crn
e
ls
. . .
.
.
.
. • . . • . • • . . • , . . .
. . . . . . . • . . . . • . .
. . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . .
. . . . . .
,
.
.
.
.
.
.
.
.
. . . . . . .
. . • . • . • • • .
,
.
.
.
.
.
............ . . . . . . . . . .
. • . . . . • • •• • • • • •. . • . • • . . • .
.
. . . . . . . . . . . .
CONDITIONS ........................
N
S
T
ON
. . ..... . .. . . . . .... . . . .. . . '19·7
A
I
VALUEl
,
. •
.
.
. . . .
.
.
.
.
. . . . . . . . . . .
. . . • . . • . • "
,
.
.
.
. . . .
. . . .
.
.
. . , . . . . . .
. . • . .
,
. .• . . . . . . . . .
.
.
.
.
. . . . . . .
.
.
.
.
.
.
. . . . . . .
.
.
.
.
.
.
• •
, . ,
. • • ,
.
, . , . ,
• • . . . • • • • • • .
• • • •
• • • • •
• • • • • • • • • • , • • •
.
.
.
. . . .
.
. . . . .. . . . . . . . .
' .......................... ......
0 0 . 0
• • . • . • • • •
• • •
• • • • • • • • • • • • • •
0
. . . . . .
• • • •
• •
• •
• • •
.........
, . . . .
. . . . . . . . . . .. . 0
.
. . . . .
,
'
, . . . . . . .
.
.
.
. . • ' . '
• , . . . ,
"
, . , . . . . . .
, . . . • . . . "
• . . . . . . . . • • • • • •
. • . • • . • . • . • • . . .•.• • • .. • . . • • .
o .
I "
.
.
. • . . . . . . . . . . . . . • .
• • .
. .
• .
.•
. . .
.
. .
.
• .•••••
.
.
.
...
, . • • .
. . . . . . . . . . . . . .....
.
.
.
.
, . . . . . . . . . . . . . . ,
. . . . . . • . . . . . • • • • . •
R
l
e
f
e
t
or
c
. . . . . , .
.
.
.
.
. ,
. • . .
.
.
.
.
.
.
. . . . . . . . .
.
,
• • .
, • .
,
• . . . . . . .
,
. . ••• • • . • . . . .• . • • . • . . . . . .
. • . . . • • • ,
. . • • . . • . . . . • • • • • .. • • , .•.•• • • • .. . . .
,
,
.
. .
.
. . . . . . . . . .
. . . . • • .
0
.
.
• • • . . . . . • . . . .
, . . . . . .
,
.
,
. • . • •••• • • • . .
1
8
5
·
• . • • . . . . . . . . .
16-5
.
. • . , ........
.. . . .
18·6
. . . . .
.
. . . . . . . . . . . .
.
18-9
. . . •
.
,
.
.
.
.
.
.
.
.
.
. .
19--1
.
.
. . . . . . . . .
. . .
.
·
9
1
1
19-1
.
.
.
. . . . . . .
19-1
19·2
. .. ....... . . . .. . ..
19·)
20-1
. . . . . . . . . . . . . . . .
. .
20-1
. ..... . .
20-1
. . . . . . • . • . . . . .
20-1
,
. . . . . • . • . . . . .
21
-
1
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
. • • . . . . .
21-1
.
.
. . ...•. . . . .
1
21
-
.
.
. . .
.
. . . ... • . . . . .
21·1
• • • • • • .
• • • • . • . •
21-1
• • • •• • • • • • • •
..
21·)
. . . . . . . . . . . .
21-6
21-8
, • • •• • • • •
21-8
• •
• •
• • •
••
' •
A-l
.
' . . . . . . . . . . . .
1
• . .
,
'
, . . . . . • . . . . . .
A · 1
.
,
"
'
,
. . . • . . . . . .
,
.............
A-l
A·l
• . • . , • •. . • • . . . . . .
A-2
• • • • • • • •
0
A·2
A-J
,
• • . • •••... . .
A-3
0 "
• • • • • • • • • •
• • • •
A-3
. . .
. ..•
•••••.
. .
.
. .
. . . .. .. . . .
,. A-3
"
A-J
.
.
.
.
.
..
,
..
A·l
, "
,
, . ' • . • .
. . . . .... . .. .
,
A·4
-
4
A
, .
.
.
.
• • •. •
. . . .
. . .
A·6
A ·6
A-7
• • • • • • • • • 0
• • • • • • • • •
A- 6
.. ... .
A·9
.
.
. • . . • • . • • • ,
A·9
, . . . • . • • • . • • . • . • .

Advertisement

Table of Contents
loading

Table of Contents