错误消息 - Agilent Technologies TwisTorr 305 FS User Manual

使用说明
错误消息
对于特定类型的故障，控制器将自行诊断错误，并显示下表中描述的消息。
表 5 错误消息
消息
RUN UP TIME
CHECK CONNECTION
TO PUMP
WAITING INTERLOCK
PUMP OVERTEMP.
CONTROLLER OVERTEMP.
TOO HIGH L0AD
SHORT CIRCUIT
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
描述
泵无法在期望值（运行时间，可配置）内达
到> 700 Hz 的速度值。
泵和控制器之间的连接错误。
或
泵的温度低于 0 °C
P1 连接器的互锁信号是通过中断 J1 连接器
的引脚 3 和 8 之间的链接来激活的，或者是
因为外部互锁信号已打开。
泵体的温度已超过允许的最大上限，具体取
决于所选气体的类型（Ar：50°C;N2：
55°C;He： 60°C）
控制器环境温度超过 70°C。
或
控制器的散热器温度高于 60°C。
泵抽取的电流高于编程电流。
启动阶段后，输出连接短路。
修复操作
检查运行时间设置：应根据客户流程相应设
置。检查泵内流动气体负载并相应地进行调
整。检查泵转子是否可以自由旋转。重新启
动泵。
检查控制器和泵之间的连接。
按下"开始"按钮两次以启动泵。
重置 P1 连接器引脚 3 和引脚 8 之间的短
路，或关闭外部互锁信号。
等待温度降至阈值以下。按下"开始"按钮两
次以启动泵。
等待温度降至阈值以下。按下"开始"按钮两
次以启动泵。
检查泵转子是否可自由旋转。按下"开始"按
钮两次以启动泵。
检查泵和控制器之间的连接和短路。 按下
"开始"按钮两次以启动泵。
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