Agilent Technologies TwisTorr 305 FS User Manual
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X3506-64130, X3506-64131
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Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
用户手册
ユーザーマニュアル
User Manual
87-901-059-01
01/2020

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Summary of Contents for Agilent Technologies TwisTorr 305 FS

  • Page 1 TwisTorr 305 FS Remote Controller Models X3506-64130, X3506-64131 Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d’emploi Manual de istrucciones 用户手册 ユーザーマニュアル User Manual 87-901-059-01 01/2020...
  • Page 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 3 TwisTorr 305 FS Remote Controller TwisTorr 305 FS Remote Controller TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 3/190...
  • Page 4 TwisTorr 305 FS Remote Controller Page intentionally left blank 4/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 5: Table Of Contents

    Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione Installazione Procedure di uso Manutenzione Smaltimento Messaggi di errore Gebrauchsanleitung Allgemeines Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Bedienung Wartung Entsorgung Fehlermeldungen TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 5/190...
  • Page 6 Preparation pour l‘installation Installation Utilisation Procedures d'utilisation Entretien Mise au rebut Messages d'erreur Manual de istrucciones Información general Almacenamiento Preparación para la instalación Instalación Procedimientos de uso Mantenimiento Eliminación Mensajes de error 6/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 7 Contents 使用说明 一般信息 存储 安装准备 安装 使用 使用流程 维护 处置方式 错误消息 使用方法 概要情報 保管 取り付けの準備 取り付け 使用 使用手順 メンテナンス 廃棄 エラーメッセージ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 7/190...
  • Page 8 TwisTorr 305 FS Remote Controller Description Controller Specifications Controller Outline Controller Connection R1 – R2 Output Diagrams Programmable Analog Output Diagrams J2 – Serial Connector Vacuum Link App Letter Protocol Description Examples 8/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 9 Contents How to Use by Front Panel Programming How to Use by Remote I/0 How to Use in Serial Mode Profibus Option Error Messages Orderable Parts TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 9/190...
  • Page 10 Contents Page intentionally left blank 10/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 11: Istruzioni Per L'uso

    TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione Installazione Comandi, Indicatori e Connettori Descrizione pannello frontale Procedure di uso Accensione del Controller Avvio della Pompa Arresto della Pompa Manutenzione Smaltimento Messaggi di errore...

  • Page 12: Informazioni Generali

    I controller della serie TwisTorr 305 FS Remote sono dei convertitori di frequenza, controllati da un microprocessore, realizzati con componenti a stato solido e con capacità di autodiagnostica e autoprotezione.

  • Page 13: Immagazzinamento

    Durante il trasporto e l’immagazzinamento dei controller devono essere soddisfatte le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da -20 °C a +70 °C ▪ umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante) ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 13/190...

  • Page 14: Preparazione Per L'installazione

    Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. Figura 1 Imballo dei controller 14/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 15: Installazione

    5 °C a +45 °C; ▪ umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante). ▪ Per gli altri collegamenti e I'installazione degli accessori opzionali, vedere la sezione "Technical Information". TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 15/190...

  • Page 16: Uso

    Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello NOTA se non viene effettuato alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e la pompa TwisTorr 305 FS possono essere accese contemporaneamente. 16/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 17 Display alfanumerico a cristalli liquidi: matrice di punti, 2 linee x 16 caratteri. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 17/190...
  • Page 18 Modulo di ingresso alimentazione controller che comprende i fusibili, la presa di alimentazione ed il filtro ENC. Switch a rotazione per impostare l’indirizzo del Profibus. Profibus (opzionale). Connettore seriale per controllo da remoto. Pompa. 18/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 19: Procedure Di Uso

    Per arrestare la pompa occorre premere il pulsante STOP del pannello frontale. Manutenzione I controller della serie TwisTorr 305 FS Remote non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del "Agilent advanced exchange service", che permette di ottenere un...

  • Page 20: Smaltimento

    Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 20/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 21: Messaggi Di Errore

    70 °C. temperatura ritorni al di sotto della soglia. Premere Oppure. due volte il pulsante START La temperatura del radiatore del per riavviare la pompa. controller è superiore a 60 °C. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 21/190...
  • Page 22 Agilent per la manutenzione. RUN UP TIME Tempo di Run Up scaduto. Verificare la corretta impostazione del tempo di Run Up in funzione dell’applicazione. Verificare il carico di gas applicato alla pompa. 22/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 23: Gebrauchsanleitung

    TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual Gebrauchsanleitung Allgemeines Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Steuerungen, Anzeigen und Verbinder des Controllers 28 Fronttafel der Controller Bedienung Einschalten des Controllers Pumpenstart Pumpenstopp Wartung Entsorgung Fehlermeldungen Übersetzung der Originalanleitungen 23/190...

  • Page 24: Allgemeines

    Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Die Controller der Serie TwisTorr 305 FS Remote sind mikroprozessorgesteuerte Frequenzwandler. Sie sind mit Festkörperbauteilen gefertigt und verfügen über ein Selbstdiagnose- und ein Selbstschutzsystem.

  • Page 25: Lagerung

    Beim Transport und bei der Lagerung der Controller müssen folgende klimatische Verhältnisse eingehalten werden: Temperatur: von -20 °C bis +70 °C ▪ Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend) ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 25/190...

  • Page 26: Vor Der Installation

    Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit der Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. Abbildung 1 Verpackung der Controller 26/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 27: Installation

    Gasen ausgesetzt sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Temperatur: von +5 °C bis +45 °C ▪ Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 27/190...

  • Page 28: Gebrauch

    Schließflansch abgedeckt ist. Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner Brücke angeschlossen HINWEIS bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die TwisTorr 305 FS Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. 28/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 29 TwisTorr 305 FS Remote TwisTorr 305 FS AG Abbildung 2 Fronttafel der Controller TwisTorr 305 FS Remote Taste für die Anzeige der Parameter "cycle number", "cycle time" und "pump life". Taste für die Einstellung des Modus LOW SPEED. Sie ist nur aktiv, wenn der Steuermodus auf Fronttafel eingestellt ist.
  • Page 30 Gebrauchsanleitung Gebrauch Abbildung 3 Rücktafel der Controller TwisTorr 305 FS Remote Eingangsverbinder der logischen Signale (der Kupplungsverbinder wird mit einer Wiederverschließbrücke geliefert). Stecker für logische Signale und Pumpenmonitor plus programmierbarer Analogausgang. Stromausgangsstecker (24 V= für Pumpenkühlventilator, Vent Valve und Messinstrument).

  • Page 31: Bedienung

    Zum Stoppen der Pumpe muß die STOP-Taste an der Fronttafel gedrückt werden. Wartung Die Controller der Serie TwisTorr 305 FS Remote sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. Bei einem Defekt kann der Agilent-Reparaturdienst bzw. der "Agilent advanced exchange service"...

  • Page 32: Entsorgung

    Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 32/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 33: Fehlermeldungen

    Warten bis die Temperatur OVERTEMP. 70 °C überschritten. unter den Schwellenwert Oder gesunken ist. Die Pumpe Die Temperatur des durch zweimalige Kontrollerkühlkörpers ist über 60 °C. Betätigung der START- Taste neustarten. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 33/190...
  • Page 34 Wartungs-dienst gerufen werden. RUN UP TIME Anlaufzeitüberschreitung. Prüfen Sie die Einrichtung der Anlaufzeit. Sie muss entsprechend dem Kundenprozess angepasst werden. Prüfen Sie die Menge der Gaslast, die in der Pumpe fließt. 34/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 35: Mode D'emploi

    TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual Mode d’emploi Indications generales Emmagasinage Preparation pour l‘installation Installation Utilisation Commandes, Indicateurs et Connecteurs Description du Tableau avant Procedures d'utilisation Allumage du Contrôleur Mise en marche de la Pompe Arrêt de la Pompe...

  • Page 36: Indications Generales

    Les contrôleurs de la série TwisTorr 305 FS Remote sont des convertisseurs de fréquence, contrôlés par un microprocesseur, réalisés avec des éléments à...

  • Page 37: Emmagasinage

    Pendant le transport et l'emmagasinage des contrôleurs, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: température: de - 20 °C à + 70 °C ▪ humidité relative: de 0% à 95 % (non condensante). ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 37/190...

  • Page 38: Preparation Pour L'installation

    Ne pas jeter l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme aux directives CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. Figure 1 Emballage du Contrôleur 38/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 39: Installation

    +5 °C à +45 °C ▪ humidité relative: de 0 % à 95 % (non condensante). ▪ Pour les autres connexions et pour l'installation des accessoires en option, voir la section "Technical Information". TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 39/190...

  • Page 40: Utilisation

    Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est NOTE procédé à aucune connexion extérieure. La pompe à pré-vide et la pompe TwisTorr 305 FS peuvent être mises en marche simultanément. 40/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 41 à zéro du contrôleur et une deuxième fois pour remettre la pompe en marche. Ecran alphanumérique à cristaux liquides: matrice de points, 2 lignes x 16 caractères. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 41/190...
  • Page 42 Module d’entrée alimentation contrôleur qui comprend les fusibles, la prise d’alimentation et le filtre ENC. Interrupteur à rotation pour établir l’adresse du Profibus. Profibus (facultatif). Connecteur sériel pour contrôle à distance Connecteur pompe. 42/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 43: Procedures D'utilisation

    Pour arrêter la pompe, presser l'interrupteur STOP du tableau frontal. Entretien Les contrôleurs de la série TwisTorr 305 FS Remote n'exigent aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. En cas de panne, il est possible de s'adresser au Service de réparation Agilent ou bien au "Agilent advance exchange service"...

  • Page 44: Mise Au Rebut

    œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour en savoir plus, consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 44/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 45: Messages D'erreur

    70 °C. retourne au-dessous du Ou bien seuil. Presser deux fois La température du radiateur du l'interrupteur START pour contrôleur est supérieure à 60 °C. remettre la pompe en marche. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 45/190...
  • Page 46 Vérifiez la configuration du temps de démarrage. Elle doit être ajustée en fonction du processus du client. Vérifiez la quantité de charge de gaz qui s’écoule à l’intérieur de la pompe. 46/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 47: Manual De Istrucciones

    TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual Manual de istrucciones Información general Almacenamiento Preparación para la instalación Instalación Mandos, Indicadores y Conectores Descripción del panel frontal Procedimientos de uso Encendido del controler Puesta en marcha de la Bomba Parada de la Bomba Mantenimiento Eliminación...

  • Page 48: Información General

    Los controlers de la serie TwisTorr 305 FS Remote son convertidores de frecuencia, controlados por un microprocesador, realizados con componentes en estado sólido y con capacidad de autodiagnosis...

  • Page 49: Almacenamiento

    Durante el transporte y el almacenamiento de los controlers se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: temperatura: de -20 °C a +70 °C ▪ humedad relativa: 0 – 95 % (no condensadora) ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 49/190...

  • Page 50: Preparación Para La Instalación

    No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. Figura 1 Embalaje de los Controlers 50/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 51: Instalación

    +5 °C a +45 °C ▪ humedad relativa: 0 – 95 % (no condensadora). ▪ Para otras conexiones y la instalación de los accesorios opcionales, véase la sección “Technical Information”. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 51/190...

  • Page 52: Uso

    El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente NOTA si no se efectúa ninguna conexión exterior. La bomba pre-vacío y la bomba TwisTorr 305 FS pueden encenderse simultáneamente. 52/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 53 Display alfanumérico de cristales líquidos: matriz de puntos, 2 líneas x 16 caracteres. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 53/190...
  • Page 54 Módulo de entrada alimentación controler con fusibles, toma de alimentación y filtro ENC. Conmutador de rotación para configurar la dirección del Profibus. Profibus (opcional). Conector serial para control remoto. Conector bomba. 54/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 55: Procedimientos De Uso

    Para detener la bomba hay que apretar el pulsador STOP del panel frontal. Mantenimiento Los controlers de la serie TwisTorr 305 FS Remote no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser efectuada por personal autorizado. En caso de avería es posible utilizar el servicio de reparación Agilent o del “Agilent advance exchange service”, que permite obtener un controler...

  • Page 56: Eliminación

    Para obtener más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 56/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 57: Mensajes De Error

    O bien debajo del umbral. Apretar La temperatura del radiador del dos veces el pulsador controler es superior a 60 °C. START para volver a poner en marcha la bomba. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 57/190...
  • Page 58 RUN UP TIME Tiempo de arranque agotado. del tiempo de arranque. Debe ajustarse según el proceso del cliente. Comprobar la cantidad de carga de gas que fluye dentro de la bomba. 58/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 59 TwisTorr 305 FS 用户手册 使用说明 一般信息 存储 安装准备 安装 使用 控件、指示器和连接器 前面板说明 使用流程 控制器启动 启动泵 停止泵 维护 处置方式 错误消息 原始说明的翻译 59/190...
  • Page 60 使用说明 一般信息 一般信息 本设备供专业人员使用。在操作设备之前，用户应阅读本说明书和安捷 伦提供的任何其他信息。安捷伦对因不遵守这些指示、未经培训的人员 不当使用、未经授权干扰设备或任何违反特定国家标准规定的行为而发生 的任何事件概不负责。 TwisTorr 305 FS 遥控器是微处理器控制的固态变频器，具有自诊断和 自我保护功能。 控制器功能： 前部/远程/串行操作 24Vdc 泵风扇冷却驱动器 通风阀驱动 停止后泵速度读数（停止速度读数） 压力读数 输入电压自动设置。 profibus接口（可选） 以下各段包含使用设备时确保操作员安全的所有必要信息。 附录“技术 信息”中提供了详细信息。 60/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 61 使用说明 存储 本手册使用以下标准协议： 警告！ 警告消息让操作员特别注意特定的程序或操作，如果执行不当，可能导 致严重的人身伤害。 小心！ 小心消息会在操作过程之前显示，如果未注意到，可能会损坏设备。 注意 注意包含从文本中摘录的重要信息。 存储 运输和存储控制器时，应满足以下环境要求： 温度： -20 °C 至 + 70 °C ▪ 相对湿度： 0 -95 % （无冷凝） ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 61/190...
  • Page 62 使用说明 安装准备 安装准备 控制器具有特殊的保护性包装。 如果这个包装在运输过程中出现损坏 的迹象，请联系当地的销售办事处。 打开控制器包装时，请确保不要 摔落控制器或使其受到任何形式的撞击。 请勿以未经授权的方式处置 包装材料。 该材料是100％可回收的，并且符合EEC指令85/399。 62/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 63 该控制器仅供室内使用，必须使用 3 线电源线供电（参见可订购部件 表）和插头（得到国际认可），以确保用户的安全。将此电源线和插头 与正确接地的电源插座一起使用，以避免电击并满足 CE 要求。 控制器 中产生的高压会导致严重的人身伤害甚至死亡。 维修本机之前，请断 开输入电源线的连接。 TwisTorr 305 FS 遥控器可以用作台式装置或机架模块，但必须放置在 注意 适当的位置，以使自由的空气可以流过孔。请勿在暴露于大气物质 （雨、雪、冰）、灰尘、腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾风险的环境 中安装或使用控制器。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件： 温度：从+5°C至+45°C; ▪ 相对湿度： 0 - 95 % （无冷凝）。 ▪ 有关上述和其他连接的详细信息以及安装选项的详细信息，请参阅附录 "技术信息"。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 63/190...
  • Page 64 使用 使用 本段描述了基本的操作程序。 附录“技术信息”的“使用”段落中提 供了涉及可选连接或选件的详细信息和操作过程。 在操作TwisTor 305 FS 遥控器之前，请进行所有真空歧管和电气连接 ，并参考TwisTorr 305 FS 泵说明书。 警告！ 为避免人员受伤和设备损坏，如果泵放在桌子上，请确保其保持稳定。 如果泵入口未连接至系统或堵死，则切勿操作 TwisTorr 305 FS 泵。 如果未进行外部连接，则输入信号 J1 连接器应保持在包括运输链接在内 注意 的位置。 前级泵和 TwisTorr 305 FS 泵可以同时打开。 64/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 65 则 必 须 按 下 此 按 钮 一 次 以 重 置 控 制 器 ， 而 后 再 次 按 下 按 钮 以 重 新 启 动 泵 。 LCD 背光字母数字显示：点阵 2 行 x16 个字符。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 65/190...
  • Page 66 使用说明 使用 逻辑输入信号连接器（连接链路提供的配对连接器）。 逻辑输出信号连接器和泵频率监视器加上可编程模拟输出。 功率输出连接器（24 Vdc 用于泵冷却风扇、排气阀和仪表）。 控制器电源输入模块由电源保险丝、电源插座和 EMC 滤波器组成。 用于 Profibus 地址设置的旋转开关。 Profibus（可选）。 远程控制串行连接器。 泵电缆（5 米长）。 66/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 67 使用说明 使用流程 使用流程 控制器启动 如要启动控制器，请将电源线与合适的电源连接。 启动泵 如要启动泵，请确认互锁输入，然后按控制器前面板上的"开始"按钮。 停止泵 如要关闭泵，请按控制器前面板上的 “停止” 按钮。 维护 TwisTorr 305 FS 远程系列控制器不需要任何维护。在控制器上执行的 任何工作必须由授权人员执行。 发生故障时，可以使用安捷伦维修服务。通过安捷伦提前更换控制器。 警告！ 在对控制器执行任何工作之前，请断开控制器与电源的连接。 如果要报废泵，则必须按照特定的国家标准进行处理。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 67/190...
  • Page 68 使用说明 处置方式 处置方式 标签中"WEEE"徽标的含义 以下符号根据 EC WEEE（废弃电气和电子设备）指令进行应用。 该符 号（仅在欧洲共同体国家有效）表示其适用的产品不得与普通家庭或工 业废物一起处理，而必须送往差别化废物收集系统。 因此，请最终用 户在检查合同销售条款和条件后，联系设备的供应商（无论是母公司还 是零售商）以启动收集和处置流程。 有关详细信息，请参阅： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 68/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 69 J1 连接器的引脚 3 和 8 之间的链 8 之间的短路，或关闭外部互 锁信号。 接来激活的，或者是因为外部互 锁信号已打开。 泵温度过 泵体的温度已超过允许的最大上 等待温度降至阈值以下。按下" 高 限，具体取决于所选气体的类型 开始"按钮两次以启动泵。 （Ar：50°C;N ： 55°C;He： 60°C） 控制器温 控制器环境温度超过 70°C。 等待温度降至阈值以下。按下" 度过高 或 开始"按钮两次以启动泵。 控制器的散热器温度高于 60°C。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 69/190...
  • Page 70 负载 按下"开始"按钮两次以启动 泵。 短路 检查泵和控制器之间的连接和 启动阶段后，输出连接短路。 短路。 按下“开始”按钮两次 以启动泵。 系统 通过远程触点提供的紧急停止信 拆下控制器电源线并检查紧急 覆盖 号来停止泵。 情况。然后重新连接电源线， 然后按“开始”按钮两次以启 动泵。 电压 控制器电源电路有故障，或控制 按下"开始"按钮两次以启动 器收到尖峰信号。 泵。如果消息仍然存在，请致 电安捷伦服务。 检查运行时间的设置。 必须根 据客户流程对其进行调整。 检 运行时间 超时 查泵内流动的气体负荷量 70/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 71 TwisTorr 305 FS ユーザーマニュアル 使用方法 概要情報 保管 取り付けの準備 取り付け 使用 コントロール、指示器、コネクター フロントパネル説明 使用手順 コントローラーの起動 ポンプの開始 ポンプの停止Pump Shutdown メンテナンス 廃棄 エラーメッセージ 説明書原文の翻訳 71/190...
  • Page 72 TwisTorr 305 FS リモートコントローラーは、マイクロ・プロセッサーに より制御され、ソリッドステートの自己診断機能と自己防護機能がつい た周波数変換器 です。 コントローラーの特徴： フロント / リモート / 直列操作 ▪ 24Vdc ポンプ用ファン冷却ドライブ ▪ 通気弁ドライブ ▪ 停止コマンド後のポンプ速度の計測 （停止速度の計測） ▪ 圧力計測 ▪ 入力電力の自動設定 ▪ Profibus インターフェース（オプション） ▪ 次の章は、装置を使用中に操作者の安全を保証するために必要な全ての 情報を含みます。詳細情報は、「技術的情報」の追記に記載されていま す。 72/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 73 保管 この説明書は下記の規格プロトコルを使用しています： 「警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人 警告! 身障害につながる可能性がある特定の操作や実行に対する操作者の注 意の必要性を示しています。 「注意」のメッセージは、もし遵守されていない場合に装置に損害が 注意 生じる可能性を示しています。 「注」は、テキストからの重要な情報を含みます。 注 保管 コントローラーを輸送、保存する時は、下記の環境仕様を超過し ▪ てはいけません： 温度範囲： -20 °C から + 70 °C まで ▪ 相対湿度範囲： 0 から 95 %まで（結露なし） ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 73/190...
  • Page 74 使用方法 取り付けの準備 取り付けの準備 コントローラーは、特殊な保護梱包で提供されます。もしこの梱包に 移送の間に生じた可能性のある破損が見受けられる場合、現地販売事 務所に問い合わせてください。コントローラーの梱包を開ける際に は、落とさない、またはいかなる形での衝撃を与えないようにしてく ださい。不適切な方法で梱包材料を破棄しないでください。梱包材料 は100%リサイクルが可能で、EEC指令85/399に従っています。 図１ コントローラーの梱包 74/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 75 グを適切に設置された電源ソケットと合わせて使用してください。 コントローラー内で発達した高電圧は、重大な損傷や死亡を引き起こ す可能性があります。ユニットを点検する前に、入力電源ケープルの 接続を断ってください。 TwisTorr 305 FS リモートコントローラーは、ベンチユニットまたはラッ 注 クモジュールとして使用できますが、穴を通して自由に通気が取れるよ うに所定の位置に設置されなければいけません。大気物質（雨、氷、 雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどが露出する環境、または爆発の 可能性がある環境、または燃えやすい環境下では、取り付けまたは使 用しないでください。 操作中、下記の環境状況は遵守されなければいけません： 温度： +5 °C から+45 °Cまで; ▪ 相対湿度： 0 – 95 % （結露なし） ▪ 上記についてと他の接続に関して、またオプションの取り付けについて の詳細な情報は、「技術的情報」の追記をご覧ください。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 75/190...
  • Page 76 使用 使用 この章は、基本操作手順を説明しています。オプション的な接続、ま たはオプションについての詳細な情報と操作手順は、「技術的情報」 の追記の「使用」の章に記載されています。 TwisTorr 305 FSリモートコントローラーを操作する前に、全ての真空マ ニホールドと電気接続を作成し、TwisTorr 305 FS ポンプの説明書をお読 みください。 人体への損傷や装置への損害を避けるために、もしポンプがテーブル 警告! の上に置かれている場合には安定していることを確かめてください。 もしポンプ吸入口がシステムに接続されていない、または抜け落ちて いる場合には、TwisTorr 305 FS ポンプを決して操作しないでください。 入力信号 J1 コネクターは、もし外部接続が作成された場合には移送リ 注 ンクを含む位置に置かれるようにしてください。プレポンプと TwisTorr 305 FS ポンプは同時にオンに切り替えられなければなりません。 76/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 77 図解しています。詳細情報は、「技術的情報」の追記に記載されてい ます。 フロントパネル説明 TwisTorr 305 FS Remote サイクル数、サイクル時間、ポンプの寿命をディスプレイ上に表示させるキーボードプッシュボタ ン。 低速モードの選択用キーボードプッシュボタン。フロントパネル操作が選択された時のみアクティ ブになります。１回押すとポンプは「待機」速度で作動します。モードの選択を解除するには、プ ッシュボタンを再度押してください。 ポンプの電流、ポンプの温度、ポンプの電源と回転速度をディスプレイ上に表示させるキーボード プッシュボタン。選択された操作モードに関わらず、これは常にアクティブです。プッシュボタン 3 と 1 は、最低でも２秒間一緒に押された場合に、コントローラーはいくつかの操作パラメーター をプログラム可能なルーチン下におかれます。 「開始、停止/リセット」モードの選択用キーボードプッシュボタン。フロントパネル操作が選択 された場合のみアクティブになります。１回押すと起動フェーズが開始します；もし再度押すとポ ンプを停止します。もしポンプが障害・故障により自動的に停止された場合、コントローラーをリ セットするには１回、ポンプをリスタートするには２回このプッシュボタンを押してください。 LCD バックライトの英数字ディスプレイ：ドットマトリックス 2 列 x 16 文字。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 77/190...
  • Page 78 使用方法 使用 ロジック入力信号コネクター（リンクと共に供給される組み合わせコネクター）。 ロジック出力信号コネクターとポンプ周波数モニター、また プログラム可能なアナ ログ出力。 電力出力コネクター（ポンプ冷却ファン、通気弁と計器用の 24 Vdc） 主要ヒューズ、主要ソケットと EMC フィルターから構成されるコントローラー電力 エントリーモジュール。 Profibus のアドレス設定用回転スイッチ。 Profibus （オプション）。 リモートコントロールシリアルコネクター。 ポンプケーブル（長さ 5m）。 78/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 79 使用方法 使用手順 使用手順 コントローラーの起動 コントローラーを起動するには、電源ケーブルを適切な電源プラグに 接続してください。 ポンプの開始 ポンプを開始するには、インターロック入力を確認して、コントロー ラーフロントパネル上の「開始」のプッシュボタンを押してくださ い。 ポンプの停止 Pump Shutdown ポンプを停止するには、コントローラーフロントパネル上の「停止」 のプッシュボタンを押してください。 メンテナンス TwisTorr 305 FS リモートシリーズコントローラーは、いかなるメンテナ ンスも必要としません。コントローラーになされるいかなる作業も、認 可された者により遂行されなければなりません。 障害・故障が起こった際には、Agilentの修理サービスを利用すること もできます。コントローラーの代替品は、Agilentを通したアドバンス エクスチェンジのサービスを基に利用可能です。 コントローラー上にいかなる作業を遂行する前に、供給源から接続を 警告! 断ってください。 もしポンプを廃棄する場合には、特定の国の規定に基づき廃棄されな ければなりません。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 79/190...
  • Page 80 使用方法 廃棄 廃棄 ラベル上に表示された「WEEE」ロゴの意味 下記の記号はEC WEEE指令（電気電子廃棄物 指令）に従い適用された ものです。この記号（欧州諸共同体でのみ有効）は、製品は通常の家 庭ゴミまたは産業廃棄物と一緒に廃棄されてはいけないこと、また分 化された廃棄物収集システムへ送られなければいけないことを示しま す。従って、エンドユーザーは、販売の契約条件を確認した後に、収 集と廃棄工程を始めるために、親会社かもしくは小売業者であろう と、機器の供給者へ問い合わせることが推奨されます。 さらなる情報は下記をご確認ください： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 80/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 81 過剰温度 ますが、ポンプ本体の温度が許 さい。 容される最大温度を超えていま ポンプを開始するには、「開始」のプ す。 ッシュボタンを２回押してください。 (Ar: 50°C; N2: 55°C; He: 60°C) コントロ コントローラーの環境温度が 温度が閾値以下になるまでお待ちくだ 70 °C を超えています。 ーラーの さい。 過剰温度 ポンプを開始するには、「開始」のプ または ッシュボタンを２回押してください。 コントローラーのラジエーター 温度が 60 °C 以上です。 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 81/190...
  • Page 82 ポンプは、リモートコンタクト経 コントローラーの電源ケーブ オーバー 由で提供された緊急停止信号によ ルを抜き、緊急状態を確認し ライド り停止されました。 てください。それから電源ケ ーブルを再接続し、ポンプを 開始するには、「開始」のプ ッシュボタンを２回押してく ださい。 過電圧 コントローラーの電源供給回路が ポンプを開始するには、「開 故障しているか、またはコントロ 始」のプッシュボタンを２回 ーラーがスパイクを受けました。 押してください。 もしメッセージが消えない場 合、Agilent に問い合せてくだ さい。 起動時間 起動時間切れ 起動時間の設定の確認。カス タマー手順に従って調整して ください。ポンプ内に流入さ れるガス量を確認してくださ い。 82/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 83: Instructions For Use

    TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual Instructions for Use General Information Storage Preparation for Installation Installation Controls, Indicators and Connectors Front Panel Description Use Procedure Controller Startup Starting the Pump Pump Shutdown Maintenance Disposal Error Messages Original Instructions 83/190...

  • Page 84: General Information

    The TwisTorr 305 FS Remote Controllers are micro-processor-controlled, solid-state, frequency converter with self-diagnostic and self-protection features. Controller features: Front / Remote / Serial Operation ▪...

  • Page 85: Storage

    When transporting and storing the controllers, the following environmental requirements should be satisfied: temperature: from -20 °C to + 70 °C ▪ relative humidity: 0 – 95 % (without condensation) ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 85/190...

  • Page 86: Preparation For Installation

    Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100 % recyclable and complies with EEC Directive 85/399. Figure 1 Controller packing 86/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 87: Installation

    CE requirements. High voltage developed in the controller can cause severe injury or death. Before servicing the unit, disconnect the input power cable. TwisTorr 305 FS Remote Controller can be used as a bench unit or a rack module, NOTE but it must be positioned so that free air can flow through the holes.

  • Page 88: Use

    To avoid injury to personnel and damage to the equipment, if the pump is laying on a table make sure it is steady. Never operate the TwisTorr 305 FS pump if the pump inlet is not connected to the system or blanked off.
  • Page 89 If the pump has been stopped automatically by a fault, this push-button must be pressed once to reset the controller and a second time to restart the pump. LCD back-lighted alphanumeric display: dot matrix 2 lines x 16 characters. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 89/190...
  • Page 90 Power output connector (24 Vdc for pump cooling fan, Vent Valve and Gauge). Controller power entry module consisting of mains fuses, mains socket and EMC filter. Rotary switches for Profibus address setting. Profibus (Optional). Remote control serial connector. Pump cable (5m long). 90/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 91: Use Procedure

    To shutdown the pump press the STOP push-button on the controller front panel. Maintenance The TwisTorr 305 FS Remote series controller does not require any maintenance. Any work performed on the controller must be carried out by authorized personnel. When a fault has occurred it is possible to use the Agilent repair service.

  • Page 92: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 92/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 93: Error Messages

    Wait until the temperature OVERTEMP. temperature exceeds 70 °C. decrease below threshold value. Press the START push- The controller’s radiator button twice to start the temperature is above 60 °C. pump. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 93/190...
  • Page 94 Check for the Run Up Time set-up. It has to be adjusted accordingly to the customer process. Check the amount of the gas load which is flowing inside the pump. 94/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 95: Technical Information

    TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual Technical Information TwisTorr 305 FS Remote Controller Description Controller Specifications Controller Outline Controller Connection J6 – Fan J7 – Vent P1 – Input J1 – Output R1 – R2 Output Diagrams Programmable Analog Output Diagrams Pump Connector J5 –...
  • Page 96 How to Use in Serial Mode Profibus Option General Installation Configuration Software Operation and State Machine Message Mapping Parameter Buffer Output Buffer Input Buffer Diagnostic Management Diagnostic Buffer Error Messages Orderable Parts 96/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 97: Twistorr 305 Fs Remote Controller Description

    (ref. TwisTorr 305 FS Remote Controller). Serial protocol is in most of the cases compatible with the previous version (ref. TwisTorr 305 FS Remote Controller) but, due to the additional features that have been implemented on this unit, some serial windows have been revised in the data format/content.
  • Page 98 TO POWER MAINS FUSE TYPE T 4A SUPPLY VENT GAUGE MAINS CABLE GAUGE CABLE (1 m) GAUGE EXTENTION CABLE (5 m) GAUGE Figure 4 TwisTorr 305 FS Remote Controller – Connections 98/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 99: Controller Specifications

    The Controller must be positioned in a way that the mains cable can be easily NOTE disconnected from the controller mains power inlet (the controller is not equipped with a mains switch). TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 99/190...

  • Page 100: Controller Outline

    The outline dimensions for the TwisTorr 305 FS Remote Controllers are shown in the following figure. TwisTorr 305 FS Remote Controller can be used as a bench unit or as a rack NOTE module, but it must be positioned so that free air can flow through the holes.

  • Page 101: Controller Connection

    This is a dedicated output for the optional TwisTor 305 pump cooling fan (see orderable parts table). If you already have fan installed, use the available adapter cable to connect to the pump. Figure 6 Fan Connector TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 101/190...
  • Page 102 Vent Valve CLOSED OPEN Vent Valve Relay Vent Valve Open RAMP STOP NORMAL Win. 126 Time Win. 147 START COMMAND STOP COMMAND Figure 8 Vent Valve diagram in “Auto” mode 102/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 103 If the contact is open, it allows the Imin (on) = 2mA pump running; if the contact is closed, it stops the pump and all the others connected devices (Fan, Vent). TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 103/190...
  • Page 104 The following figure shows a typical contact logic input connection and the related simplified circuit of the controller. Figure 10 Typical logic input connection J1 – Output Figure 11 Logic output connector 104/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 105 LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. +24 V Minimum 1 kΩ Figure 12 Digital Output Connection Example Minimum 100 kΩ Figure 13 Analog Output Connection Example TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 105/190...
  • Page 106 Pressure. See following Imax = 60mA measuring voltage figures for more details. All Pin-7 negative the setting can be done by: Pin-14 positive front panel or serial line (win.171 to 176). 106/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 107 When the analog output is set to provide pressure signal, the voltage level is proportional to pressure level and it is generated by control unit elaborating the independent input by the active gauge. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 107/190...

  • Page 108: R1 - R2 Output Diagrams

    R1 – R2 Output Diagrams R1 – R2 Output Diagrams Figure 14 Diagram 1 – R1 or R2 related to frequency Figure 15 Diagram 2 – R1 or R2 related to power 108/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 109 Diagram 3 – R1 or R2 related to time Figure 17 Diagram 4 – R1 or R2 related to Normal status Figure 18 Diagram 5 – R1 or R2 related to pressure reading (if gauge connected) TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 109/190...

  • Page 110: Programmable Analog Output Diagrams

    Figure 20 Diagram 2 – Programmable analog output related to power V (Volt) Output Voltage Pump Temp (°C) Figure 21 Diagram 3 – Programmable analog output related to pump temperature 110/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 111 B-C-D = 75 Vac 3-phase output to pump motor stator ▪ E = EARTH PROTECTION ▪ Figure 22 Controller-to-Pump Connector J5 – Gauge Connector This connector is available to connect the Agilent active gauges. Figure 23 Gauge Connector TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 111/190...
  • Page 112 0 to 10V. The conversion formula is the following: 112/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 113 2.66E+1 to 1.33E3 0.2 ÷ 10 CDG-500 T0100 2.66E+0 to 1.33E2 0.2 ÷ 10 CDG-500 T0010 2.66E-1 to 1.33E1 0.2 ÷ 10 CDG-500 T0001 2.66E-2 to 1.33 0.2 ÷ 10 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 113/190...
  • Page 114 (win 101) is selected as “pressure” the gauge is always on. The windows from 136 to 140 manage an additional set point (set point 3) dedicated to turn ON or OFF the gauge (win 267=4) 114/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 115 This function can be activated by Front Panel or serial line (Win 107, 167). Active Stop brakes the pump using the motor. The Stop Speed reading reads the pump speed after a stop command. Figure 25 Diagram 5 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 115/190...

  • Page 116: J2 - Serial Connector

    Apple Store. The app is available for both Android and iOS. Once installed, you can establish the connection. Using this app you will be able to read and write all controller parameters. 116/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 117 Technical Information Vacuum Link App Connector Examples Figure 27 RS – 232 Connection Figure 28 RS – 485 Connection TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 117/190...
  • Page 118 (old system) “letter” ▪ “Window” protocol (new system) ▪ These two protocols can be used as well with 232 or 485 media. Please use “Window” protocol for new development. NOTE 118/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 119: Letter Protocol Description

    "C" = Low Speed ON ▪ "D" = Low Speed OFF ▪ "E" = Request for operational parameters ▪ "F" = Pump times zeroing ▪ "G" = Parameters reading ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 119/190...
  • Page 120 START command "A" in ASCII code = 41 inverted it will be: FF + 1 - 41 = BF. Tab. 6 CHARACTER ASCII CONVERTED ASCII FOR CRC CALCULATION "A" "B" "C" "D" "E" "F" "G" "H" "I " "J" "K" 120/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 121 Answer = after a request from the host, the Controller will answer in one of the following ways: ▪ NACK ▪ Message ▪ When the Request is "A, "B”, "C", "D", "F" the Controller will Answer the ACK or NACK. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 121/190...
  • Page 122 *The values for current and voltage are given as numbers, scaled from 0 to 255, where 0 corresponds to 0 V and 255 to the full scale voltage (130 V) or current (2,5 A). 122/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 123 Soft Start mode (0 = NO 1=YES) When the configuration parameters have to be changed, send a Request string with "H" characters of the following type: "H" + ..data ..+ CRC TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 123/190...
  • Page 124 = NORMAL OPERATION 5 = HIGH LOAD = FAILURE 7 = APPROACHING LOW SPEED R2 status 0 = OFF 1 = ON R1 status 0 = OFF 1 = ON 124/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 125 11 characters with the following parameters: Tab. 12 BYTES MEANING Cycle time Pump life 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Agilent. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 125/190...
  • Page 126 The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> Where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. 126/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 127 Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> The controller can answers with the following response types: TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 127/190...
  • Page 128 Win Disabled 1 byte (0x35) the specified window is Read Only or temporarily disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 128/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 129: Examples

    Technical Information Examples Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 129/190...
  • Page 130 Technical Information Examples Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 130/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 131 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 131/190...
  • Page 132 4 = 9600 bit/s Pump life/Cycle time/Cycle number reset To reset write ‘1’ Interlock type. Impulse = 0 The interlock can be checked at start Continuous = 1 (impulse) or continuously 132/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 133 Vent valve opening time (1unit = 0.2s; 0¸65535 (from 0 to 0 = infinite) 13107s) (Ref. to “vent connector” paragraph) Actual maximum power limit (W) (It reads the maximun power deliverable to the pump) TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 133/190...
  • Page 134 Threshold value is meaningful if win101 = 4 Start Output Config. 0 = Starting (Output ON only with pump Status = Starting) 1 = Running (Output ON when the pump is running) 134/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 135 Controller cooling air temperature (°C) Pressure reading Format = X.X E XX Rotation Frequency (rpm) Gauge Status 4 = RidUnknown 3 = GaugeOverRange 2 = GaugeUnderRange 1 = GaugeConnected 0 = NoGaugeConnected TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 135/190...
  • Page 136 Run Up time control On = 1 Off = 0 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. OVERRIDE RUN UP TIME Figure 29 Window N. 206 Bit Description 136/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 137: How To Use By Front Panel

    “FRONT”; otherwise an error message is returned. If it is set to “REMOTE” mode, the COMMAND LOCKED IN REMOTE error message is displayed while if it is in “SERIAL” mode the “COMMAND LOCKED IN SERIAL MODE” error message is returned. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 137/190...
  • Page 138 Pressing a third time, the following message Is displayed: Model Number of the controller Serial Number On pressing the key again, the main screen page is redisplayed. Measures ▪ Pressing once, the following is obtained: ° 138/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 139 XXXHz: see description “Pressing once” Measures key I=X.XXA: indicates the current absorbed by the pump V= XXX V: indicates the pump driving voltage Pressing 3 times, the following is obtained: TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 139/190...
  • Page 140 Other possible indications: Where: GAUGE_ERROR: gauge not connected or broken Where: PRESS UNDER: indicates that the pressure read is below the minimum measurement threshold set (5 E-9 mBar) 140/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 141 RS485 [XX]: the controller accepts commands from the serial port in RS485 mode with address XX (XX from 0 to 31) PROFIBUS [YYY]: the controller accepts commands from the PROFIBUS port with address YYYY TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 141/190...
  • Page 142 LS → the controller is at LOW SPEED AG → the Gauge is connected to the controller R1 → relay (set point) R1 is active R2 → relay (set point) R2 is active Figure 31 142/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 143: Use

    To avoid injury to personnel and damage to the equipment, if the pump is laying on a table make sure it is steady. Never operate the TwisTorr 305 FS pump if the pump inlet is not connected to the system or blanked off.
  • Page 144 Pressing the START button, the pump is started and the ▪ display shows the following screen page. VACUUM TECHNOLOGIES COUNTERS MEASURES increase next menu previous decrease LOW SPEED START/STOP TwisTorr 305 FS Remote Turbo-V 301-AG Figure 32 144/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 145 If the LOW SPEED key is pressed, the above screen page changes to: VACUUM TECHNOLOGIES COUNTERS MEASURES increase next menu previous decrease LOW SPEED START/STOP TwisTorr 305 FS Remote Figure 33 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 145/190...
  • Page 146 Press the MEASURES push button: the display shows: ▪ ▪ ° VACUUM TECHNOLOGIES COUNTERS MEASURES increase next menu previous decrease LOW SPEED START/STOP TwisTorr 305 FS Remote Figure 34 146/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 147 °C = is the temperature of the outer ring of the upper bearing (range 00 to 99 °C) Pressing MEASURES key twice, the following screen page is ▪ displayed: TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 147/190...
  • Page 148 COUNTERS MEASURES increase next menu previous decrease LOW SPEED START/STOP TwisTorr 305 FS Remote Figure 35 Where: mBar shows the pressure value measured XXXX shows the kind of gauge connected 148/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 149 TwisTorr 305 FS Remote Figure 36 Where: CYCLE XXXX Number of start/stop cycles TIME XXXXXm Time of last cycle (minutes) Pressing again: Where: PUMP LIFE XXXXXX total operating time (hours)of the pump TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 149/190...

  • Page 150: Programming

    The “MEASURES and START/STOP” buttons become “NEXT and ▪ PREVIOUS” and make it possible to select the next parameter (or next digit of a numeric parameter) or previous parameter. 150/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 151 The figure below shows the first level of the configuration menu and the links to the respective second level menus (indicated below). TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 151/190...
  • Page 152 SERIAL: accepts commands from the serial interface (or Profibus ▪ interface if present) PROFIBUS: this operating mode is present only if the Profibus ▪ interface is installed on the controller 152/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 153 Technical Information Programming Pump Setting Menu Figure 39 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 153/190...
  • Page 154 Please always set up the LOAD GAS TYPE in accordance to the gas type used in the process. An improper selection of this setting could result in the damage of the pump. 154/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 155 ACTIVE STOP: enables (YES) or disables (NO) active braking. ▪ STOP SPEED READING: enables (YES) or disables (NO) the pump ▪ rotational frequency reading function also during the slowing phase that follows a stop command TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 155/190...
  • Page 156 START/STOP input is de- activated. The interlock input must be constantly active (INTERLOCK TYPE parameter = continuous) or may be active only at the time of starting (INTERLOCK TYPE parameter = impulsive). 156/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 157 ▪ POWER: the power supplied to the pump is shown ▪ TEMPERATURE: the temperature of the pump is shown ▪ PRESSURE: the pressure read by the gauge is shown. ▪ TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 157/190...
  • Page 158 This setting acts only on the measurement shown on the display. Possible options: KRPM ▪ ▪ LCD CONTRAST ▪ 158/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 159 F. 1 POWER TIME NORMAL PRESSURE R1/R2 SET VALUE 0000 9999 R1/R2 HYSTERESYS R1/R2 MASK TIME 00:00:00 00:00:00 SEC 99:99:99 R1/R2 OUTPUT _|-- LOGIC: _|-- --|_ Flow 4/6 Figure 41 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 159/190...
  • Page 160 R1 (R2) OUTPUT LOGIC: Selects the control logic of the SETPOINT ▪ output. positive logic (the relay is energized when the measurement ▪ exceeds the reference) negative logic (the relay is energized when the measurement is ▪ below the reference) 160/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 161 ▪ GAUGE MODEL ID: it shows the gauge model identified by the controller. If there are more model with the same identification the user can select the right gauge connected TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 161/190...
  • Page 162 The pressure indicated by the instrument is equal to: P indicated = P measured x Gas correction / 10 162/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 163 RS485 (multidrop) SERIAL ADDRESS: sets the address of the node in the case of the ▪ RS485 interface. This parameter is not visible if the RS232 is selected. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 163/190...

  • Page 164: How To Use By Remote I/0

    Select by front panel if you want to work in 232 or 485, and if necessary, the serial address. Select SERIAL from the INPUT/OUTPUT menu Open the T+ software (see orderable parts table) Ready to operate by SERIAL connections. 164/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 165 OFF = Pump under speed threshold ON = Pump over speed threshold 7, 4 R2, R1 Pump Power Monitor (10V=150W) Power value Monitor (Com) Speed value Pump Frequency Monitor (10V=81 KRPM) Figure 44 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 165/190...

  • Page 166: Profibus Option

    This option is factory installed. The ProfiBus connector pin-out is reported in the following figure. Please in order to obtain best performance use ProfiBus certified cables. Figure 45 ProfiBus connector 166/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 167 From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for the internal link) linked together. Each device has its own state machine to manage the device operation. Figure 46 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 167/190...
  • Page 168 Figure 47 Tab. 17 Internal link state machine Status Meaning POWER_ON Interface set-up SRC_ADDR Search for the controller serial address IDENTIFY Identify controller model and protocol DATA_EX Regular data exchange 168/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 169 As a consequence of this, the scale and the meaning of some parameters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 169/190...
  • Page 170 Set the mantissa of the exponential value of the R1 setpoint (format X.XE-XX) when it is used for pressure monitoring (Parameter Buffer, Offset 21, = 4). The value set here is divided by 10, that means 11 = 1.1 170/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 171 = Vent & Purge Auto/Man 0 = Auto (the controller drives purge and vent valves automatically) 1 = Manual (the user can command the valves by serial line or profibus) TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 171/190...
  • Page 172 0 = frequency 1 = current 2 = time 3= normal operation 4= pressure = Analog Output 1 Type 0 = frequency 1 = power 2 = temperature 3= pressure 172/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 173 2 = Front panel 3 = Profibus 1100 - High Speed Value 1350 Set the high rotational speed value 1100 - Low Speed Value 1350 Set the low rotational speed value TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 173/190...
  • Page 174 – Short Circuit (a short circuit happened between the two of the three motor phases) – Over Voltage (too high bus voltage during braking) – Verify Line Select Not used – Power Fail (internal circuitry failure) 174/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 175 0-200 Power Motor power adsorption 0-200 Power Limit Applied Maximum allowable power 0-1500 Driving Frequency Read the rotational speed of the pump 0-1500 Target Frequency Read the target rotational speed TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 175/190...
  • Page 176 Bit 2 = 1: first loop of requests not ended (values in the input data are ▪ not fully coherent yet) So, if the first byte is equal to 0, the interface is working properly, otherwise there is a problem. 176/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 177 ProfiBus external diagnostic service is required and some bits in the diagnosis frame signals which parameter is wrong (i.e. over range or under range). TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 177/190...
  • Page 178 (slave is parameterised by another master) Reserved Master Add (master address after parameterisation. FF= without parameter) Ident number high Ident number low External diagnosis “Header” length indication including header 178/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 179 Not used – Start/Stop diag status – Low Speed diag status – Soft Start diag status – Vent Valve – Purge Valve – Mode – High speed – Low Speed TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 179/190...

  • Page 180: Error Messages

    If within each step of the soft start mode the rotational speed of the pump do NOTE not reach the planned value within 15 minutes the display will be as shown in the following figure. 180/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 181 The message will stay on until the temperature decreases below threshold value. Press the STOP RESET pushbutton twice to start the pump. TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 181/190...
  • Page 182 Press the START push-button twice to start the pump. Should the message still be present, call the Agilent service. Check connections and shortages between pump and controller, then press the STOP RESET pushbutton twice to start the pump. 182/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...

  • Page 183: Orderable Parts

    Vent Valve N.O. 0,5 mm orifice (0,5 m cable) 9699844 Vent Valve extention cable (5 m) 9699941 Mains cable NEMA plug (3 m) 9699958 Mains cable european plug (3 m) 9699957 RS232 Serial to B/T Adapter X3514-68003 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01 183/190...
  • Page 184 Technical Information Orderable Parts Page intentionally left blank 184/190 TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01...
  • Page 185 Vacuum Products Division Dear Customer, Thank you for purchasing an Agilent vacuum product. At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and/or service you have purchased. As part of our Continuous Improvement effort, we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products.
  • Page 186 CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE / PREVENTIVE / IMPROVEMENT ACTION AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO – QUALITY ASSURANCE FAX N°: XXXX‐011‐9979350 ADDRESS: AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.p.A. – Vacuum Products Division – Via F.lli Varian, 54 – 10040 Leinì (TO) – Italy E‐MAIL: vpd‐qualityassurance_pdl‐ext@agilent.com NAME...
  • Page 187 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
  • Page 188 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product.
  • Page 189 Vacuum Products Division Request for Return Form Customer information Company : Contact Name: Address: Tel: Fax: Email: Equipment Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process (for which the equipment was used) Type of return Non Billable Billable New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________...
  • Page 190 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

This manual is also suitable for:

X3506-64130X3506-64131

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