Unknown
- Twistorr 305 FS Manuale DI Istruzioni
  - Table of Contents
- Twistorr 305 FS 用户手册
- 1 Istruzioni Per L'uso
  - Informazioni Su Questo Manuale
  - Validità
  - Definizioni E Terminologia
  - Definizione DI Attenzione, Avvertenza E Nota
  - Simboli DI Avvertenza
  - Sicurezza
  - Uso Corretto
  - Uso Improprio
  - Attrezzatura DI Protezione
  - Linee Guida DI Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
  - Transporto & Immagazzinamento
  - Descrizione del Prodotto
  - Installazione
  - Preparazione Per L'installazione
  - Apertura
  - Riparazione DI Twistorr 305 FS
  - Riparazione DI Twistorr
  - Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto
  - Installazione Della Flangia ISO-K
  - Installazione Della Flangia Conflat
  - Collegamento Della Pompa del Vuoto Anteriore
  - Avvio E Funzionamento DI Twistorr 305 FS
  - Arresto DI Twistorr 305 FS
  - Arresto DI Emergenza
  - Manutenzione
  - Vita del Rotore
  - Soft Start
  - Pulizia
  - Smaltimento
  - Servizio Post Vendita
Deutsch
- 2 Gebrauchsanleitung
  - Twistorr 305 FS Bedienungshandbuch
  - Über dieses Handbuch
  - Gültigkeit
  - Begriffsbestimmungen und Terminologie
  - Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis
  - Warnsymbole
  - Sicherheit
  - Sachgemäße Verwendung
  - Unsachgemäße Verwendung
  - Schutzausrüstung
  - Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen
  - Transport und Lagerung
  - Produktbeschreibung
  - Installation
  - Vorbereitung zum Einbau
  - Einrichten
  - Montage von Twistorr 305 FS
  - Montage von Twistorr
  - Anschluss des Hochvakuumflansches
  - Installation des ISO-K-Flansches
  - Installation des Conflat-Flansches
  - Anschluss der Vorvakuumpumpe
  - Inbetriebnahme und Betrieb des Twistorr 305 FS
  - Stoppen des Twistorr 305 FS
  - Notausschaltung
  - Wartung
  - Rotordauer
  - Sanftanlauf
  - Reinigung
  - Entsorgung
  - Service
Français
- 3 Mode D'emploi
  - À Propos de Ce Manuel
  - Validité
  - Définitions Et Terminologie
  - Définition des Termes " Attention ", " Avertissement " Et " Note
  - Symboles D'avertissement
  - Sécurité
  - Utilisation Appropriée
  - Utilisation Inappropriée
  - Équipement de Protection
  - Directive de Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires
  - Transport Et Entreposage
  - Description du Produit
  - Installation
  - Préparation Pour L'installation
  - Configuration
  - Montage du Twistorr 305 FS
  - Raccordement de la Bride À Vide Élevé
  - Installation de la Bride ISO-K
  - Installation de la Bride Conflat
  - Raccordement de la Bride À Vide Préliminaire
  - Démarrage Et Utilisation du Twistorr 305 FS
  - Arrêt du Twistorr 305 FS
  - Arrêt D'urgence
  - Entretien
  - Durée de Vie du Rotor
  - Démarrage Progressif
  - Nettoyage
  - Mise Au Rebut
  - Service
Español
- 4 Instrucciones de Uso
  - Twistorr 305 FS Manual de Istrucciones
  - Acerca del Manual
  - Validez
  - Definiciones y Terminología
  - Definición de Precaución, Advertencia y Nota
  - Símbolos de Advertencia
  - Seguridad
  - Uso Correcto
  - Uso Incorrecto
  - Equipo de Protección
  - Pautas de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
  - Transporte y Almacenamiento
  - Descripción del Producto
  - Instalación
  - Preparación para Instalación
  - Puesta en Marcha
  - Montaje de la Twistorr 305 FS
  - Conexión de la Brida de Alto Vaciado
  - Instalación de la Brida ISO-K
  - Instalación de la Brida Conflat
  - Conexión de la Bomba Pre-Vaciado
  - Puesta en Marcha y Funcionamiento de Twistorr 305 FS
  - Parada de la Twistorr 305 FS
  - Parada de Emergencia
  - Mantenimiento
  - Vida del Rotor
  - Arranque Suave
  - Limpieza
  - Eliminación
  - Servicio
汉语
- 5 使用说明
  - 关于这本手册
  - 有效性
  - 定义和术语
  - 警告、警告和注释的定义
  - 警告符号
  - 正确使用
  - 使用不当
  - 防护设备
  - 涡轮分子泵安全指南
  - 运输及存储
  - 产品描述
  - 安装准备
  - Twistor 305 FS 的安装
  - 高真空法兰的连接
  - Iso-K 法兰的安装
  - Conflat 法兰的安装
  - Conflat法兰的安装
  - 前真空泵的连接
  - Twistorr 305 FS 的启动和运行
  - 停止 Twistorr 305 FS
  - 停止Twistorr 305 FS
  - 紧急停止
  - 转子寿命
  - 慢启动
  - 处置方式
日本語
- 6 使用方法
  - Twistorr 305 FS ユーザーマニュアル
  - このマニュアルについて
  - 有効性
  - 定義と用語
  - 警告・注意・注の定義
  - 警告の記号
  - 安全性
  - 適切な使用
  - 不適切な使用
  - 保護用装備
  - ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
  - 移送＆保管
  - 製品説明
  - 取り付け
  - 取り付けの準備
  - セットアップ
  - Twistorr 305 FS 実装
  - 高真空フランジの接続
  - Iso-K フランジの取り付け
  - Conflat フランジの取り付け
  - Conflatフランジの取り付け
  - フォア真空ポンプの接続
  - Twistorr 305 FS を停止する
  - Twistorr 305 FSを停止する
  - 緊急停止
  - メンテナンス
  - ローターの寿命
  - ソフトスタート
  - クリーニング
  - サービス
English
- 7 Instructions for Use
- 8 Technical Information

Quick Links

TwisTorr 305 FS

Pump models:

X3513-64008, X3513-64009,

X3513-64010, X3513-64011,

X3513-64012, X3513-64013,

X3513-64014, X3513-64015

Manuale di istruzioni

Bedienungshandbuch

Notice de mode d'emploi

Manual de istrucciones

用户手册

ユーザーマニュアル

User Manual

87-901-057-01

12/2019

Table of Contents

Chapters

Table of Contents

Summary of Contents for Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Series

Page 1: Twistorr 305 Fs Manuale Di Istruzioni
TwisTorr 305 FS Pump models: X3513-64008, X3513-64009, X3513-64010, X3513-64011, X3513-64012, X3513-64013, X3513-64014, X3513-64015 Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d’emploi Manual de istrucciones 用户手册ユーザーマニュアル User Manual 87-901-057-01 12/2019...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2019 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 3/258...
Page 4 TwisTorr 305 FS Page intentionally left blank 4/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 5: Table Of Contents
Contents Contents Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Simboli di Avvertenza Sicurezza Uso corretto Uso improprio Attrezzatura di protezione Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Transporto & Immagazzinamento Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione...
Page 6 Contents Manutenzione Vita del rotore Soft Start Pulizia Smaltimento Servizio post vendita Gebrauchsanleitung Über dieses Handbuch Gültigkeit Begriffsbestimmungen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten...
Page 7 Contents Stoppen des TwisTorr 305 FS Notausschaltung Wartung Rotordauer Sanftanlauf Reinigung Entsorgung Service Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » Symboles d’avertissement Sécurité Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Équipement de protection...
Page 8 Contents Installation de la bride ConFlat Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS Arrêt du TwisTorr 305 FS Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor Démarrage progressif Nettoyage Mise au rebut Service Instrucciones de Uso Acerca del manual Validez...
Page 9 Contents Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Parada de la TwisTorr 305 FS Parada de emergencia Mantenimiento Vida del rotor Arranque suave...
Page 10 Contents 产品描述安装安装准备设置 TwisTor 305 FS 的安装高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装前真空泵的连接 TwisTorr 305 FS 的启动和运行停止 TwisTorr 305 FS 紧急停止维护转子寿命慢启动清洗处置方式服务使用方法このマニュアルについて定義と用語警告の記号安全性適切な使用 10/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 11 Contents 不適切な使用保護用装備ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン移送＆保管製品説明取り付け取り付けの準備セットアップ TwisTorr 305 FS 実装高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付けフォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FS を停止する緊急停止メンテナンスローターの寿命ソフトスタートクリーニング廃棄サービス Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Warning Symbols TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 11/258...
Page 12 Contents Safety Proper Use Improper Use Protective equipment Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Transport & Storage Product description Installation Preparation for Installation Set-up TwisTorr 305 FS Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Stopping the TwisTorr 305 FS...
Page 13 Contents Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Technical Specification TwisTorr 305 FS Outline Interconnections Earth (Ground) Connection Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Vent Accessories Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Purge Valve Installation...
Page 14 Contents 14/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 15: Istruzioni Per L'uso
TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Simboli di Avvertenza Sicurezza Uso corretto Uso improprio Attrezzatura di protezione Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Transporto &...
Page 16 TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni 16/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 17: Informazioni Su Questo Manuale
Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305 FS, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...
Page 18: Definizioni E Terminologia
Istruzioni per l’uso Definizioni e terminologia Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in colori contrastanti. AVVERTENZA!! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Page 19: Simboli Di Avvertenza
Istruzioni per l’uso Simboli di Avvertenza Simboli di Avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi TwisTorr 305 FS. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso sono i seguenti: Dichiarazione Europea...
Page 20 Istruzioni per l’uso Simboli di Avvertenza Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale etichetta di avvertenza.
Page 21: Sicurezza
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Page 22: Uso Improprio
Istruzioni per l’uso Uso improprio Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio di TwisTorr 305 FS. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato ▪...
Page 23: Attrezzatura Di Protezione
Istruzioni per l’uso Attrezzatura di protezione Attrezzatura di protezione L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la manutenzione del sistema di pompaggio deve essere sempre adeguata al tipo di operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
Page 24 Istruzioni per l’uso Attrezzatura di protezione Rischio di lesioni a causa di spigoli vivi ATTENZIONE! I rischi del rotore e dello statore delle turbopompe hanno bordi molto affilati. ➔ Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa del sistema, attendere per l’arresto completo della pompa.
Page 25: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Le pompe turbomolecolari descritte nel seguente manuale contengono una grande quantità di energia cinetica dovuta all'elevata velocità di rotazione in combinazione con la massa specifica dei loro rotori. In caso di malfunzionamento di una parte meccanica della pompa, l'energia di rotazione può...
Page 26: Transporto & Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Transporto & Immagazzinamento Transporto & Immagazzinamento Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe turbomolecolari Agilent, è necessario seguire le seguenti line guida per evitare la condensa: durante la spedizione, lo spostamento e lo stoccaggio delle pompe, non ▪...
Page 27: Descrizione Del Prodotto
Istruzioni per l’uso Descrizione del prodotto Descrizione del prodotto Questa attrezzaura è destinata all'uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti. TwisTorr 305 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.
Page 28: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Preparazione per l’installazione TwisTorr 305 FS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul 305 FS che potrebbero essere causati dalla sua caduta.
Page 29 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 1 Imballo del TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 29/258...
Page 30: Apertura
Istruzioni per l’uso Apertura Apertura Non rimuovere l'adesivo e il cappuccio protettivo fino a quando non si è pronti ATTENZIONE! per installare la turbopompa sul sistema. Figura 2 30/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 31 Istruzioni per l’uso Apertura Installare questo dispositivo solo in ambienti chiusi e non utilizzare la pompa in un ambiente esposto ad agenti atmosferici (pioggia, ghiaccio, neve), polvere, gas aggressivi o in ambienti esplosivi o ad alto rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario rispettare le seguenti condizioni ambientali per evitare la condensa: Pressione ambiente massima: 2 bar sopra la pressione atmosferica ▪...
Page 32: Riparazione Di Twistorr 305 Fs
Istruzioni per l’uso Riparazione di TwisTorr 305 FS Riparazione di TwisTorr 305 FS AVVERTENZA! La mancata osservanza di queste istruzioni di installazione potrebbe comportare il distacco della pompa dal sistema in caso di guasto del rotore, con conseguenti danni materiali o lesioni gravi o mortali. TwisTorr 305 FS può...
Page 33: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto
Istruzioni per l’uso Collegamento della flangia per alto vuoto Collegamento della flangia per alto vuoto Se il rotore si arresta improvvisamente, la coppia risultante deve essere assorbita dall'hardware che fissa la flangia dell’alto vuoto. I bulloni o l'hardware devono soddisfare le specifiche seguenti. AVVERTENZA! È...
Page 34: Installazione Della Flangia Iso-K
Istruzioni per l’uso Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ISO-K Per i collegamenti della flangia ISO-K, fissare le due flange con i morsetti modello IC63250DCMZ o equivalenti, come mostrato nella figura seguente (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo). Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100...
Page 35: Installazione Della Flangia Conflat
Istruzioni per l’uso Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Per i collegamenti delle flange ConFlat, fissare le due flange con le viti come mostrato nella figura seguente (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo). Figura 4 Utilizzare il numero richiesto di viti: 16 per CFF 6”...
Page 36: Collegamento Della Pompa Del Vuoto Anteriore
Istruzioni per l’uso Collegamento della pompa del vuoto anteriore Collegamento della pompa del vuoto anteriore La connessione forzata deve essere effettuata utilizzando la flangia KF 16 NW fornita su TwisTorr 305 FS. Il collegamento alla pompa principale può essere effettuato mediante una pompa o un tubo classificati come vuoto. Se viene utilizzato un tubo rigido, qualsiasi vibrazione generata dalla pompa meccanica deve essere attenuata attraverso l'uso del soffietto.
Page 37: Avvio E Funzionamento Di Twistorr 305 Fs
Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Per accendere TwisTorr 305 FS tramite i controller di bordo o remoto, collegare la pompa al controller, fornire al controller la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali “START”...
Page 38: Arresto Di Twistorr 305 Fs
Istruzioni per l’uso Arresto di TwisTorr 305 FS Arresto di TwisTorr 305 FS Per arrestare la pompa mentre è in funzione, è necessario agire sull’unità di controllo che sta guidando la pompa e che può essere collegata ad essa. È possibile arrestare la pompa tramite comunicazione seriale comandi e tramite segnali I/O remoti.
Page 39: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione TwisTorr 305 FS non richiede manutenzione. Qualsiasi lavoro deve essere eseguito da personale autorizzato. Prima di eseguire qualsiasi intervento sul sistema, scollegarlo AVVERTENZA! dall'alimentazione, sfiatare la pompa con la valvola di sfiato, attendere che il rotore sia completamente fermo e attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°...
Page 40: Soft Start
Istruzioni per l’uso Soft Start Soft Start AVVERTENZA! Per garantire una corretta lubrificazione dei cuscinetti della pompa, al primo avvio, la pompa deve essere avviata in modalità "Soft Start". Questa modalità di avviamento (Soft Start) garantisce una velocità regolare della pompa e consente una corretta lubrificazione dei cuscinetti. L'unità...
Page 41: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente nelle etichette Il seguente simbolo viene applicato in conformità con la Direttiva CE WEEE (Rifiuti di apparecchiature elettriche ed elettroniche). Questo simbolo (valido solo nei paesi della Comunità europea) indica che il prodotto a cui si applica NON deve essere smaltito insieme ai normali rifiuti domestici o industriali ma deve essere inviato a un sistema di raccolta differenziata.
Page 42: Servizio Post Vendita
Istruzioni per l’uso Servizio post vendita Servizio post vendita Nel caso in cui un cliente necessiti di un servizio di sostituzione o riparazione avanzato, si prega di contattare il distributore locale o spedire direttamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com È necessario completare il modulo di richiesta di restituzione per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale).
Page 43: Gebrauchsanleitung
TwisTorr 305 FS Bedienungshandbuch Gebrauchsanleitung Über dieses Handbuch Gültigkeit Begriffsbestimmungen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe...
Page 44: Twistorr 305 Fs Bedienungshandbuch
TwisTorr 305 FS Bedienungshandbuch 44/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 45: Über Dieses Handbuch
Über dieses Handbuch Gültigkeit In diesem Handbuch werden die Anweisungen für die Benutzer des TwisTorr 305 FS aufgeführt, insbesondere in Bezug auf die Begriffe zu Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, der auf die vom Benutzer zu verantwortenden Wartungsarbeiten beschränkt sind.
Page 46: Begriffsbestimmungen Und Terminologie
Gebrauchsanleitung Begriffsbestimmungen und Terminologie Begriffsbestimmungen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis In dieser Gebrauchsanleitung werden wichtige Sicherheitshinweise folgendermaßen farblich hervorgehoben. WARNUNG!! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine bestimmte Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
Page 47: Warnsymbole
Gebrauchsanleitung Warnsymbole Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305 FS angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können, ist wie folgt: Europäische...
Page 48 Gebrauchsanleitung Warnsymbole Das folgende Symbol kann auf am Gerät angebrachten Warnschildern verwendet werden. Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Schutzerdungsklemme Nicht berühren Verbindungsstück...
Page 49: Sicherheit
Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.
Page 50: Unsachgemäße Verwendung
Gebrauchsanleitung Unsachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305 FS ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ▪...
Page 51: Schutzausrüstung
Gebrauchsanleitung Schutzausrüstung Schutzausrüstung Die Schutzausrüstung der Bediener, die das Pumpensystem bedienen oder warten, muss immer für die Art des auszuführenden Vorgangs geeignet sein. Darüber hinaus muss es den Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem 305 FS und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen.
Page 52 Gebrauchsanleitung Schutzausrüstung Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten VORSICHT! Rotor- und Statorscheiben von Turbopumpen haben sehr scharfe Kanten. ➔ Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. ➔...
Page 53: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Turbomolekularpumpen, wie sie in der folgenden Betriebsanleitung beschrieben sind, enthalten aufgrund der hohen Drehzahl in Kombination mit der spezifischen Masse ihrer Rotoren eine große Menge kinetischer Energie. Bei einer Funktionsstörung eines mechanischen Teils der Pumpe kann die Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe befestigt ist.
Page 54: Transport Und Lagerung
Gebrauchsanleitung Transport und Lagerung Transport und Lagerung Um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit von Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, müssen die folgenden Richtlinien beachtet werden, um Kondensation zu vermeiden: Beim Versand, Transport und der Lagerung von Pumpen sollten die ▪ folgenden Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Temperaturbereich: Von -40 °C bis 70 °C ▪...
Page 55: Produktbeschreibung
Gebrauchsanleitung Produktbeschreibung Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. TwisTorr 305 FS ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 60600 U/min) erzielt, die von einem Hochleistungselektromotor angetrieben wird.
Page 56: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Vorbereitung zum Einbau TwisTorr 305 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den 305 FS, die durch Herunterfallen verursacht werden können.
Page 57 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 1 TwisTorr 305 FS-Verpackung TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 57/258...
Page 58: Einrichten
Gebrauchsanleitung Einrichten Einrichten Entfernen Sie den Klebstoff und die Schutzkappe erst, wenn Sie bereit sind, die VORSICHT! Turbopumpe am System zu installieren. Abbildung 2 58/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 59 Gebrauchsanleitung Einrichten Stellen Sie das Gerät nur in Innenräumen auf und verwenden Sie die Pumpe nicht in Umgebungen, die Witterungseinflüssen (Regen, Eis, Schnee), Staub, aggressiven Gasen oder explosionsgefährdeten Umgebungen ausgesetzt sind. Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden: Maximaler Umgebungsdruck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ▪...
Page 60: Montage Von Twistorr 305 Fs
Gebrauchsanleitung Montage von TwisTorr 305 FS Montage von TwisTorr 305 FS WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Installationsanweisungen kann dazu führen, dass sich die Pumpe bei einem Rotorausfall vom System löst, was zu Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TwisTorr 305 FS kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305 FS in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann.
Page 61: Anschluss Des Hochvakuumflansches
Gebrauchsanleitung Anschluss des Hochvakuumflansches Anschluss des Hochvakuumflansches Wenn der Rotor plötzlich stoppt, muss das resultierende Drehmoment von der Befestigung des Hochvakuumflansches aufgenommen werden. Schrauben oder Kleinteile müssen den unten angegebenen Spezifikationen entsprechen. WARNUNG! Die Pumpe muss so angeschlossen werden, dass sie dem im Abschnitt „GEBRAUCHSANLEITUNG“...
Page 62: Installation Des Iso-K-Flansches
Gebrauchsanleitung Installation des ISO-K-Flansches Installation des ISO-K-Flansches Befestigen Sie bei ISO-K-Flanschverbindungen die beiden Flansche mit den Klemmen Modell IC63250DCMZ oder einem gleichwertigen Element, wie in der folgenden Abbildung dargestellt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden). Abbildung 3 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch ▪...
Page 63: Installation Des Conflat-Flansches
Gebrauchsanleitung Installation des ConFlat-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Befestigen Sie bei ConFlat-Flanschverbindungen die beiden Flansche mit den Schrauben wie in der folgenden Abbildung gezeigt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden). Abbildung 4 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Schrauben: 16 für CFF 6” ▪...
Page 64: Anschluss Der Vorvakuumpumpe
Gebrauchsanleitung Anschluss der Vorvakuumpumpe Anschluss der Vorvakuumpumpe Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305 FS bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.
Page 65: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Twistorr 305 Fs
Gebrauchsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS Um den TwisTorr 305 FS über die integrierten Steuerungen oder die Fernsteuerungen einzuschalten, schließen Sie die Pumpe an die Steuerung an, versorgen Sie die Steuerung mit der richtigen Versorgungsspannung und wirken Sie auf die Signale „START“...
Page 66: Stoppen Des Twistorr 305 Fs
Gebrauchsanleitung Stoppen des TwisTorr 305 FS Stoppen des TwisTorr 305 FS Um die Pumpe während des Betriebs anzuhalten, muss auf die Steuereinheit eingewirkt werden, die die Pumpe antreibt und an die sie angeschlossen ist. Über die seriellen Befehle sowie über Fern- I/O-Signale kann die Pumpe gestoppt werden.
Page 67: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Der TwisTorr 305 FS ist wartungsfrei. Alle Arbeiten müssen von autorisiertem Personal durchgeführt werden. Bevor Sie Arbeiten an der Anlage ausführen, trennen Sie diese von der WARNUNG! Stromversorgung, entlüften Sie die Pumpe mit dem Entlüftungsventil, warten Sie, bis der Rotor vollständig stillsteht und bis die Oberflächentemperatur der Pumpe unter 50°...
Page 68: Sanftanlauf
Gebrauchsanleitung Sanftanlauf Sanftanlauf WARNUNG! Um eine ordnungsgemäße Schmierung der Lager der Pumpe zu gewährleisten, muss die Pumpe beim ersten Hochfahren im Modus „Sanftanlauf“ gestartet werden. Diese Anlaufart (Soft Start) sorgt für ein gleichmäßiges Anlaufen der Pumpe und ermöglicht eine ordnungsgemäße Schmierung der Lager. Die an die Pumpe angeschlossene Steuereinheit ist bereits standardmäßig für den Betrieb der Pumpe eingerichtet (nur bei der ersten Inbetriebnahme der Steuereinheit).
Page 69: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" -Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol wird in Übereinstimmung mit der EG-Richtlinie über Elektro- und Elektronik-Altgeräte (WEEE) verwendet. Dieses Symbol (gültig nur in Ländern der Europäischen Gemeinschaft) weist darauf hin, dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit normalem Haushalts- oder Industriemüll entsorgt werden darf, sondern einem getrennten Abfallsammelsystem zugeführt werden muss.
Page 70: Service
Gebrauchsanleitung Service Service Sollte ein Kunde einen erweiterten Austausch- oder Reparaturservice benötigen, wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des Rücksendeformulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). 70/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 71: Mode D'emploi
TwisTorr 305 FS Notice de mode d’emploi Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » Symboles d’avertissement Sécurité Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Équipement de protection Directive de sécurité...
Page 72 TwisTorr 305 FS Notice de mode d’emploi Mise au rebut Service 72/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 73: À Propos De Ce Manuel
Mode d’emploi À propos de ce manuel À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions pour les utilisateurs du TwisTorr 305 FS, en particulier les notions de sécurité, d’exploitation et d’entretien de premier niveau, limitées aux opérations de maintenance dont l’utilisateur est responsable.
Page 74: Définitions Et Terminologie
Mode d’emploi Définitions et terminologie Définitions et terminologie Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » Certaines références importantes du présent manuel sont mises en évidence et encadrées en couleurs contrastées. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l’attention de l’opérateur sur une procédure ou une pratique particulière qui, si elle n’est pas exécutée correctement, pourrait entraîner des blessures graves.
Page 75: Symboles D'avertissement
Mode d’emploi Symboles d’avertissement Symboles d’avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TwisTorr 305 FS. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes : Déclaration européenne Courant continu...
Page 76 Mode d’emploi Symboles d’avertissement Le symbole suivant peut être utilisé sur les étiquettes d’avertissement apposées sur l’appareil. Lorsque vous voyez ce symbole, reportez-vous au manuel d’utilisation ou d’entretien correspondant pour connaître la procédure correcte visée par cette étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Borne de mise à...
Page 77: Sécurité
à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non-respect des règles de sécurité...
Page 78: Utilisation Inappropriée
Mode d’emploi Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du TwisTorr 305 FS. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...
Page 79: Équipement De Protection
Mode d’emploi Utilisation appropriée Équipement de protection L’équipement de protection des exploitants qui opèrent ou effectuent l’entretien du système de pompage doit toujours être adéquat pour le type d’utilisation en cours. En outre, il doit être conforme aux exigences de sécurité de la législation en vigueur dans le pays où...
Page 80 Mode d’emploi Utilisation appropriée Risque de blessure par objets tranchants ATTENTION ! Les disques de rotor et de stator des turbopompes ont des bords très tranchants. ➔ Avant de procéder à l’entretien de la pompe ou avant tout montage/démontage de la pompe du système, attendre l’arrêt complet de la pompe.
Page 81: Directive De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires
Mode d’emploi Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires décrites dans le manuel d’utilisation suivant contiennent une grande quantité d’énergie cinétique en raison de la vitesse de rotation élevée en combinaison avec la masse spécifique de leurs rotors. En cas de dysfonctionnement d’une partie mécanique de la pompe, l’énergie de rotation peut être libérée sur la pompe à...
Page 82: Transport Et Entreposage
Mode d’emploi Transport et entreposage Transport et entreposage Afin de garantir le niveau maximal de performance et de fiabilité des pompes turbomoléculaires Agilent, les directives suivantes doivent être respectées pour éviter la condensation : lors de la livraison, du déplacement et de l’entreposage des pompes, les ▪...
Page 83: Description Du Produit
Mode d’emploi Description du produit Description du produit Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. Le TwisTorr 305 FS est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.
Page 84: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Préparation pour l’installation Le TwisTorr 305 FS est fourni dans un emballage de protection spécial. Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur le 305 FS qui seraient causés par la chute. Veiller à...
Page 85 Mode d’emploi Installation Figure 1 Emballage du TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 85/258...
Page 86: Configuration
Mode d’emploi Configuration Configuration Ne pas retirer l’adhésif et le capuchon de protection avant d’être prêt à installer ATTENTION ! la turbopompe sur le système. Figure 2 86/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 87 Mode d’emploi Configuration Installer ce dispositif à l’intérieur seulement, et ne pas utiliser la pompe dans un environnement exposé à des agents atmosphériques (pluie, glace, neige), de la poussière, des gaz agressifs, ou dans des environnements explosifs ou présentant un risque élevé d’incendie. Pendant l’exploitation, les conditions environnementales suivantes doivent être respectées afin d’éviter la condensation : pression ambiante maximale : 2 bars au-dessus de la pression...
Page 88: Montage Du Twistorr 305 Fs
Mode d’emploi Montage du TwisTorr 305 FS Montage du TwisTorr 305 FS AVERTISSEMENT ! Le non-respect de ces instructions d’installation peut entraîner le détachement de la pompe du système en cas de défaillance du rotor, ce qui peut causer des dommages matériels, corporels ou la mort. Le TwisTorr 305 FS peut être installé...
Page 89: Raccordement De La Bride À Vide Élevé
Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide élevé Raccordement de la bride à vide élevé Si le rotor s’arrête soudainement, le couple résultant doit être absorbé par le matériel de fixation de la bride à vide élevé. Les boulons ou le matériel doivent être conformes aux spécifications ci- dessous.
Page 90: Installation De La Bride Iso-K
Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Pour les raccords à brides ISO-K, fixer les deux brides avec les attaches modèle IC63250DCMZ ou équivalent, comme indiqué dans la figure suivante (un écran de protection peut être utilisé en option). Figure 3 Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100...
Page 91: Installation De La Bride Conflat
Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ConFlat Pour les raccords à bride ConFlat, fixer les deux brides avec les vis comme indiqué dans la figure suivante (un écran de protection peut être utilisé en option).
Page 92: Raccordement De La Bride À Vide Préliminaire
Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide préliminaire Raccordement de la bride à vide préliminaire Le raccordement avant doit être effectué à l’aide de la bride KF 16 NW fournie sur le TwisTorr 305 FS. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide.
Page 93: Démarrage Et Utilisation Du Twistorr 305 Fs
Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS Pour allumer le TwisTorr 305 FS via les contrôleurs embarqués ou les contrôleurs distants, raccorder la pompe au contrôleur, fournir au contrôleur la tension d’alimentation appropriée, puis activer les signaux « START » (Démarrer) et «...
Page 94: Arrêt Du Twistorr 305 Fs
Mode d’emploi Arrêt du TwisTorr 305 FS Arrêt du TwisTorr 305 FS Pour arrêter la pompe quand elle est en marche, il est nécessaire d’agir sur l’unité de commande qui actionne la pompe et y est raccordée. Il est possible d’arrêter la pompe via les commandes de comm. en série ainsi que via les signaux d’E/S distants.
Page 95: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 305 FS ne nécessite aucun entretien. Tout travail doit être effectué par un personnel autorisé. Avant d’effectuer des travaux sur le système, le mettre hors tension, AVERTISSEMENT ! purger la pompe avec la valve de purge, attendre que le rotor soit complètement arrêté...
Page 96: Démarrage Progressif
Mode d’emploi Démarrage progressif Démarrage progressif Pour s’assurer que les roulements sont correctement lubrifiés, la pompe doit être démarrée en mode « démarrage progressif » AVERTISSEMENT ! (Soft Start) lors du premier démarrage. Cette modalité de démarrage (Démarrage progressif) assure une montée en douceur de la vitesse de la pompe et permet une bonne lubrification des roulements.
Page 97: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo « WEEE » figurant sur les étiquettes Le symbole suivant est appliqué conformément à la directive CE WEEE (Déchets d’équipements électriques et électroniques). Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 98: Service
Mode d’emploi Service Service Si, vous, le client avez besoin d’un service d’échange ou de réparation avancé, veuillez contacter le distributeur local ou directement par courrier à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de demande de retour pour retourner votre pompe à...
Page 99: Instrucciones De Uso
TwisTorr 305 FS Manual de istrucciones Instrucciones de Uso Acerca del manual Validez Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Símbolos de advertencia Seguridad Uso correcto Uso incorrecto Equipo de protección Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Transporte y almacenamiento Descripción del producto Instalación Preparación para instalación...
Page 100: Twistorr 305 Fs Manual De Istrucciones
TwisTorr 305 FS Manual de istrucciones 100/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 101: Acerca Del Manual
Instrucciones de Uso Acerca del manual Acerca del manual Validez El presente manual contiene las instrucciones para los usuarios de la TwisTorr 305 FS con particular referencia a las nociones relativas a la seguridad, funcionamiento y mantenimiento de primer nivel, limitadas a las operaciones de mantenimiento de las que es responsable el usuario.
Page 102: Definiciones Y Terminología
Instrucciones de Uso Definiciones y terminología Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Algunasreferencias importantes del presente manual están subrayadas y encuadradas en un color de contraste. ADVERTENCIA!! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operario a un ¡¡...
Page 103: Símbolos De Advertencia
Instrucciones de Uso Símbolos de advertencia Símbolos de advertencia La siguiente lista contiene símbolos que aparecen en conjunción con las advertencias de la TwisTorr 305 FS. El peligro que describen también se muestra. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación o el instrumento mismo son los siguientes: Declaración Europea...
Page 104 Instrucciones de Uso Símbolos de advertencia El siguiente símbolo podría utilizarle en las etiquetas de advertencia fijadas al instrumento. Cuando vea este símbolo, consulte la operación relevante o el manual de servicio para el procedimiento referido por dicha etiqueta de advertencia.
Page 105: Seguridad
Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.
Page 106: Uso Incorrecto
Instrucciones de Uso Uso correcto Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto de la TwisTorr 305 FS. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ▪...
Page 107: Equipo De Protección
Instrucciones de Uso Equipo de protección Equipo de protección El equipo de protección de los operarios que están operando o ejecutando el mantenimiento del sistema de bombeado debe ser siempre adecuado para el tipo de operación que se está ejecutando. Asimismo, debe cumplir los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país donde se utilice la máquina.
Page 108 Instrucciones de Uso Equipo de protección Riesgo de lesión por bordes afilados ¡PRECAUCIÓN! Los discos del rotor y estátor de las turbobombas tienen bordes muy afiladas. ➔ Antes de realizar mantenimiento en la bomba o antes de cualquier acción de montaje/desmontaje de la bomba del sistema, espere a que la bomba se detenga completamente.
Page 109: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Instrucciones de Uso Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Las bombas turbomoleculares, como se describen en el siguiente manual de funcionamiento, contienen una gran cantidad de energía kinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación con la masa específica de sus rotores.
Page 110: Transporte Y Almacenamiento
Instrucciones de Uso Transporte y almacenamiento Transporte y almacenamiento Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas turbomoleculares de Agilent, las siguientes pautas deben seguirse para evitar la condensación: cuando se envíen, mueve o almacenen las bombas, no deberán excederse ▪...
Page 111: Descripción Del Producto
Instrucciones de Uso Descripción del producto Descripción del producto Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. La TwisTorr 305 FS es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.
Page 112: Instalación
Instrucciones de Uso Instalación Instalación Preparación para instalación La TwisTorr 305 FS se proporciona con un embalaje protector especial. Si esta muestra signos de daños que puedan haber ocurrido durante el transporte, contacte con su oficina de ventas local. Evite impactos repentinos a la 305 FS que podrían ser causados al dejarla caer. Tenga cuidado de guardar la caja de embalaje para reutilizarla en caso de almacenamiento durante largos períodos de tiempo o en caso de envío.
Page 113 Instrucciones de Uso Instalación Figura 1 Embalaje de la TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 113/258...
Page 114: Puesta En Marcha
Instrucciones de Uso Puesta en marcha Puesta en marcha No extraiga la tapa adhesiva y protectora hasta que esté preparado para ¡PRECAUCIÓN! instalar la turbobomba en el sistema. Figura 2 114/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 115 Instrucciones de Uso Puesta en marcha Instale este dispositivo solo en interiores y no utilice la bomba en un ambiente expuesto a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvo, gases agresivos o en ambientes explosivos o con un alto riego de incendio. Durante el funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales deben cumplirse para evitar la condensación: presión ambiente máxima: 2 bar por encima de presión atmosférica...
Page 116: Montaje De La Twistorr 305 Fs
Instrucciones de Uso Montaje de la TwisTorr 305 FS Montaje de la TwisTorr 305 FS ¡ADVERTENCIA! El incumplimiento de las presentes instrucciones podría causar que la bomba se despegue del sistema en el caso de un fallo del rotor, lo que podría causar daños a la propiedad o lesiones graves o la muerte.
Page 117: Conexión De La Brida De Alto Vaciado
Instrucciones de Uso Conexión de la brida de alto vaciado Conexión de la brida de alto vaciado Si el rotor se detiene de repente, la torsión resultante debe ser absorbida por las herramientas que fijan la brida de vacío alto. Los tornillos y herramientas deben cumplir la siguiente especificación.
Page 118: Instalación De La Brida Iso-K
Instrucciones de Uso Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ISO-K Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con el modelo de pinzas IC63250DCMZ o equivalente, como se muestra en la figura siguiente (se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente). Figura 3 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100...
Page 119: Instalación De La Brida Conflat
Instrucciones de Uso Instalación de la brida ConFlat Instalación de la brida ConFlat Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con los tornillos como se muestra en la figura siguiente (se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente).
Page 120: Conexión De La Bomba Pre-Vaciado
Instrucciones de Uso Conexión de la bomba pre-vaciado Conexión de la bomba pre-vaciado La conexión de prevacío debe hacerse utilizando la brida KF 16 NW proporcionada en la TwisTorr 305 FS. La conexión a la bomba prevacío puede hacerse mediante una manguera o tubo apropiada para vacío. Si se utiliza un tubo rígido, cualquier vibración generada por la bomba mecánica debe ser amortiguada a través del uso de fuelles.
Page 121: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Twistorr 305 Fs
Instrucciones de Uso Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Para encender el TwisTorr 305 FS a través de los controladores abordo o los mandos a distancia, conecte la bomba al controlador, proporcione la tensión de alimentación correcta al controlador y actúe en las señales "START"...
Page 122: Parada De La Twistorr 305 Fs
Instrucciones de Uso Parada de la TwisTorr 305 FS Parada de la TwisTorr 305 FS Para detener la bomba mientras está en funcionamiento, es necesario actuar sobre la unidad de control que está accionando la bomba y que está conectada a ella.
Page 123: Mantenimiento
Instrucciones de Uso Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 305 FS no requiere ningún mantenimiento. Cualquier trabajo debe ser realizado por personal autorizado. Antes de realizar cualquier trabajo en el sistema, desconecte de la fuente ¡ADVERTENCIA! de alimentación, descargue la bomba con la válvula de descarga, espere hasta que el rotor esté...
Page 124: Arranque Suave
Instrucciones de Uso Arranque suave Arranque suave ¡WARNING! Para asegurar la lubricación correcta de los cojinetes de la bomba, en la primera aceleración, la bomba debe iniciarse en modo de arranque suave. Esta modalidad de inicio (Arranque Suave) asegura que la bomba alcanza la velocidad de manera uniforme y permite una lubricación adecuada de los cojinetes.
Page 125: Eliminación
Instrucciones de Uso Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" encontrado en las etiquetas El siguiente símbolo se aplica de acuerdo con la Directiva CE WEE (Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico). Este símbolo (válido solo en países de la Comunidad Europea) indica que el producto al que se aplica NO debe eliminar junto con desechos domésticos o industriales normales, sino que debe ser enviado a un sistema de recolección de desechos diferenciada.
Page 126: Servicio
Instrucciones de Uso Servicio Servicio Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la Solicitud de Devolución para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual).
Page 127: 使用说明
TwisTorr 305 FS 用户手册使用说明关于这本手册有效性定义和术语警告、警告和注释的定义警告符号安全正确使用使用不当防护设备涡轮分子泵安全指南运输及存储产品描述安装安装准备设置 TwisTor 305 FS 的安装高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat法兰的安装前真空泵的连接 TwisTorr 305 FS 的启动和运行停止TwisTorr 305 FS 紧急停止维护转子寿命慢启动清洗...
Page 128 TwisTorr 305 FS 用户手册 128/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 129: 关于这本手册
使用说明关于这本手册关于这本手册有效性本手册列出了TwisTorr 305 FS的用户使用说明，尤其是有关安全、操作和一级维护的概念，仅限于用户负责的维护操作。一些特定章节包含与更高级别的维护（经过专门培训的维护操作人员才能操作）有关的特定规定，用户不得执行此类维护操作。有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。有关更详细的技术使用，请参阅"操作"章节。 1. 本手册包含实用的信息，以确保所有使用 TwisTorr 305 FS 的人员都能注意安全地操作它，并确保其使用寿命达到最高效率。 2. 将本手册以及所有相关出版物保存在所有操作员/维修人员都知道的无障碍位置。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 129/258...
Page 130: 定义和术语
使用说明定义和术语定义和术语警告、警告和注释的定义本手册的一些重要参考资料会以对比色突出显示和框出。警告消息让操作员特别注意特定的程序或操作，如果执行不当，可能导警告！! 致严重的人身伤害。小心消息会在操作过程之前显示，如果未注意到，可能会损坏设备。小心！注意旨在提醒人们注意重要信息，并提供有关具体步骤的更多详细信注意息。 130/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 131: 警告符号
使用说明警告符号警告符号以下是在TwisTorr 305 FS上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的危险。三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下：欧洲符合性声明请勿触摸直流电源关闭一般危险生产现场电源开启保护接地端子 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 131/258...
Page 132 使用说明警告符号以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。以下符号会出现在仪器上以供您参考。保护接地端子请勿触摸主连接器 CE 认证 CSA 认证有害物质认证限制 RoHS 中国认证废弃电气和电子设备 132/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 133: 正确使用
使用说明安全安全本节包含机械指令 2006/42/EC 所规定的信息，这些信息对于遵守和遵守安全法规以及机器的具体使用至关重要。如不遵守本手册中包含的这些说明和其他说明，可能会导致设计阶段设想的安全条件效率低下，并导致操作机器的人员发生事故。对由于未遵守技术文档中指示的安全规则而造成的机器损坏或操作人员或第三方的人身安全意外，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担全部责任。正确使用本手册包含重要的警告和安全说明，以确保设备安全工作。本手册中描述的产品仅针对说明中指定的应用领域。本手册还提供了有关产品应用和操作基本要求的指示，以及为保证正常运行可采取的安全措施。对本手册中未描述的应用或未遵守基本要求和安全措施的应用，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不提供任何保证或承担任何责任。本产品只能由能够在不造成损坏或伤害的条件下采取必要安全措施的合格人员使用。与产品一起使用的任何附件和设备必须由安捷伦科技公司 (Agilent Technologies) 提供或批准。任何调整或维护操作必须由了解风险的专业技术人员执行。产品的维修只能由安捷伦授权的人员执行。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 133/258...
Page 134: 使用不当
使用说明使用不当使用不当对于因不正确使用TwisTorr 305 FS而造成的任何后果，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担任何责任。使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。使用不当的定义为：使用未指定的安装材料安装泵 ▪ 在没有适当吹扫流量的情况下泵送腐蚀性和氧化性气体（参见"泵与腐蚀性和氧 ▪ 化性气体一起使用"的章节）泵送爆炸气体 ▪ 泵送冷凝蒸汽 ▪ 泵送液体 ▪ 泵送粉尘 ▪ 气体产量过高的情况下作业 ▪ 前真空压力过高的情况下作业 ▪ 使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作 ▪ 绝缘热输入水平过高的情况下作业 ▪ 磁场过高的情况下作业 ▪ 使用过高的通风速率进行通风 ▪ 使用真空泵来产生压力 ▪ 在电离辐射区域运行设备 ▪ 在潜在爆炸区作业...
Page 135: 防护设备
使用说明防护设备防护设备进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。通常，操作员在操作 305 FS 时和安装过程中必须穿防事故鞋。在维护或安装过程中有害物质对健康的危害警告！根据工艺特点，真空泵、部件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污染。 ➔ 在维护和修理期间或重新安装时，请佩戴合适的防护设备。警告！掉落物体造成人身伤害的风险手动运输真空泵时，存在负载滑倒和坠落的危险。 ➔ 双手携带中小型真空泵。 ➔ 任何重量超过 20 公斤的设备都应使用合适的起重装置进行搬运。 ➔ 根据指令 EN 347，请穿带钢脚趾盖的安全鞋。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 135/258...
Page 136 使用说明防护设备锋利边缘有划伤的风险小心！涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘。 ➔ 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 ➔ 请勿直接在高真空法兰内操作。 ➔ 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 136/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 137: 涡轮分子泵安全指南
使用说明涡轮分子泵安全指南涡轮分子泵安全指南以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加上转子拥有特定质量。在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位置。警告！为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说明！ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 137/258...
Page 138: 运输及存储
使用说明运输及存储运输及存储为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免出现冷凝的情况：运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件： ▪ 温度范围： -40 °C 至 70 °C ▪ 相对湿度范围：0至90%（非冷凝状态）。 ▪ 涡轮分子泵的保质期从发货日期起为12个月。 ▪ 涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动。 ▪ 涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动。 ▪ 如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷小心！伦真空销售和服务代表以了解相关信息。 138/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 139: 产品描述
使用说明产品描述产品描述本设备用于专业用途，供专业人员使用。 TwisTorr 305 FS 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能够泵送任何类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 60600 rpm）获得。它不含污染剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。详细信息可参考"技术信息"章节。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 139/258...
Page 140: 安装准备
使用说明安装安装安装准备 TwisTorr 305 FS 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发生损坏的迹象，请联系您当地的销售办事处。避免因放下 305 FS 而对 305 FS 造成突然撞击。请注意保存好包装盒，以便在存放时间过长或运输时重复使用。请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合 EEC指令94/62号和随后颁布的修正案。为了防止出现漏气问题，不要徒手处理将暴露在真空中的部件。始终使小心！用手套或其他合适的防护装置。正常暴露于环境中不会损坏 TwisTorr 305 FS。不过，还是建议将其密封在注意塑料袋中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的污染。 140/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 141 使用说明安装 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 141/258...
Page 142 使用说明设置设置在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。小心！ 142/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 143 使用说明设置仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰尘、腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中使用泵。在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝：最大环境压力：比大气压力高 2 bar ▪ 温度：从 +5 °C 到 +35 °C ▪ 相对湿度： 0 ~ 90 % （非冷凝状态）。 ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 143/258...
Page 144: Twistor 305 Fs 的安装
使用说明 TwisTor 305 FS 的安装 TwisTor 305 FS 的安装警告！如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离，从而导致财产损失或严重伤害或死亡。 TwisTorr 305 FS 可安装在任何位置。将TwisTorr 305 FS 固定在稳定位置，将涡轮泵的进气法兰安装到系统对接法兰上，其连接能够承受其轴周围 1000 Nm的扭矩。带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室上。有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 TwisTorr 305 FS 不能通过其底座进行固定小心！ 144/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 145: 高真空法兰的连接
使用说明高真空法兰的连接高真空法兰的连接如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。螺栓或硬件必须符合以下规格。警告！必须以承受“使用说明”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特别要注意夹具设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然警告！停止时， 305 FS 将会有扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 145/258...
Page 146: Iso-K 法兰的安装
使用说明 ISO-K 法兰的安装 ISO-K 法兰的安装对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具固定两个法兰（可选使用保护屏）。使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 100 法兰 ▪ 4 表示 ISO 160 法兰 ▪ 以 22 Nm 的扭矩拧紧夹钳。 146/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 147: Conflat 法兰的安装
使用说明 ConFlat 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使用保护屏）。使用所需数量的螺钉： 16 表示 CFF 6" ▪ 20 表示 CFF 8" ▪ 连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭矩拧紧螺钉。对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出的螺母上以及螺母与法兰之间的螺纹上。在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接。拧紧螺母和螺栓时应小心谨慎，避免在部件中造成凹痕。小心！ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 147/258...
Page 148: 前真空泵的连接
使用说明前真空泵的连接前真空泵的连接应使用 TwisTorr 305 FS 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波纹管来抑制机械泵产生的任何振动。 TwisTorr 305 FS 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，注意建议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒回流。 148/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 149: Twistorr 305 Fs 的启动和运行
使用说明 TwisTorr 305 FS 的启动和运行 TwisTorr 305 FS 的启动和运行如要通过主板控制器或遥控器打开TwisTorr 305 FS，请将泵连接到控制器，为控制器提供适当的电源电压，并执行"启动（START）"和"互锁（INTERLOCK）"信号（位于控制器上的接口）。识别这些信号后，控制器将启动泵。请参阅控制器的相关说明书，以便：注意 (1)查找电源入口的位置以及电源输入电压允许值（远程：技术信息章节; 板载：技术信息章节）。 (2)查找启动/停止（START/STOP）和互锁（INTERLOCK）输入引脚的位置以及相关的电气额定值（远程：技术信息章节;板载：技术信息章节） (3) 启动/停止（START/STOP）和互锁（INTERLOCK）信号的详细信息（远程：技术信息章节;板载：技术信息章节）。控制器 MPNs 控制器说明参考说明书 X3507-64130 TwisTorr 305 FS 板载 24V 87-901-060-01 X3507-64131 87-901-060-01 TwisTorr 305 FS 板载...
Page 150: 停止 Twistorr 305 Fs
使用说明停止 TwisTorr 305 FS 停止 TwisTorr 305 FS 如要在泵运行时停止泵，必须对驱动泵且与泵相连的控制单元执行操。作可以通过串行通信命令以及远程信号停止泵请参阅控制器的相关说明手册，以便找到相应的说明集（远程：技术信息 -控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含义的章）。节紧急停止通过卸下电源可以实现紧急停止。警告！此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/ 或损坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 150/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 151: 转子寿命
使用说明维护维护 TwisTorr 305 FS 不需要任何维护。任何工作必须由授权人员进行。在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气，警告！在转子完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。如果泵发生故障，您可以使用安捷伦维修服务或 "安捷伦高级替换服务"，它会为您提供一个再制造系统，以取代故障的系统。发送订单后，用于替换的305 FS将被寄出。然后，您可以将出现故障的305 FS放入箱子以退回。在将泵退回给制造商进行维修或使用高级替换服务之前，必须填写并发送注意本说明手册上随附的"退货请求"表格。在装运前，必须在系统包装中插入相同的副本。如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置。转子寿命在理论的基础上估计，305 FS涡轮分子泵转子的抗疲劳性为从停止到全速再回到停止的405000次循环。考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在使用 17 年后退回泵以进行维护。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 151/258...
Page 152: 慢启动
使用说明慢启动慢启动为确保泵轴承的正确润滑，在第一次加速时，泵必须在"慢启动"模式警告! 。下启动这种启动方式（慢启动）可确保泵平稳地达到转速，并对轴承进行适。当的润滑连接到泵的控制单元具有运行泵的默认设置（仅在第一次启动控制单元时）。如果将新泵与使用过的控制单元一起使用，请记住手动设置慢启动模式。与标准启动相比，慢启动模式需要更长的时间;用户必须等待泵完全达。到转速，然后才能停止泵。第一次启动后，控制单元不会再次在慢启动模式下启动泵长时间不活动（60天或更长时间）后，为了再次正确重新分配轴承中的润滑脂，有必要通过慢启动模式再次启动泵。请参阅控制器的相关说明手册，以找到激活"慢启动"模式的适当说明集（远警告! 程：技术信息-控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含义的章节）。清洗 305 FS 的外表面只能用温和的洗涤剂清洗。 152/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 153: 处置方式
使用说明处置方式处置方式标签中的"WEEE"徽标的含义以下符号根据 EC WEEE（废弃电气和电子设备）指令进行应用。该符号（仅在欧洲共同体国家有效）表示其适用的产品不得与普通家庭或工业废物一起处理，而必须送往差别化废物收集系统。因此，请最终用户在检查合同销售条款和条件后，联系设备的供应商（无论是母公司还是零售商）启动收集和处置流程。有关详细信息，请参阅： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 153/258...
Page 154 使用说明服务服务如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写退货申请表才能将泵退回到安捷伦维修部门（在本手册末尾会提供）。 154/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 155: 使用方法
TwisTorr 305 FS ユーザーマニュアル使用方法このマニュアルについて有効性定義と用語警告・注意・注の定義警告の記号安全性適切な使用不適切な使用保護用装備ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン移送＆保管製品説明取り付け取り付けの準備セットアップ TwisTorr 305 FS 実装高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlatフランジの取り付けフォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FSを停止する緊急停止メンテナンスローターの寿命ソフトスタート TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 155/258...
Page 156: Twistorr 305 Fs ユーザーマニュアル
TwisTorr 305 FS ユーザーマニュアルクリーニング廃棄サービス 156/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 157: このマニュアルについて
使用方法このマニュアルについてこのマニュアルについて有効性このマニュアルは、特に安全、操作、またユーザーが負うべきメンテナンスの操作に限定される第一レベルのメンテナンスについての理解に関係するTwisTorr 305 FS の使用者への説明を記載しています。指定のセクションに説明されていますが、高いレベルのメンテナンス（メンテナンス操作に特定の訓練を受けた者）に関係する特定の規定のメンテナンス操作は、使用者が実行してはいけません。正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認ください。更に詳細な技術的な使用には、「操作」の章をご確認ください。 1. このマニュアルは、有益な情報を含んでいるため、全ての TwisTorr 注 305 FS の使用者は、製品寿命にわたり安全に操作することができ、また完全な能率性を保証します。 2. 全ての操作者/メンテナンス担当者が承知している入手しやすい場所に、全ての関係する書類と共にこのマニュアルを保管してください。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 157/258...
Page 158: 定義と用語
使用方法定義と用語定義と用語警告・注意・注の定義このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲ってあります。「警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人警告!! 身障害につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示しています。「注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が注意! 生じる可能性を示しています。「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細注な情報を提供しています。 158/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 159: 警告の記号
使用方法警告の記号警告の記号下記は、TwisTorr 305 FS上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の説明も記載されています。三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示されうる記号の意味は下記の通りです： CE 適合宣言書直流触らないでください電源オフ包括的な危険製造所電源オン保護接地端子 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 159/258...
Page 160 使用方法警告の記号下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがあります。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のために、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。保護接地端子触らないでください主要コネクター近距離無線通信(スマートフォンのアンテナ) CE 認証 CSA 認証 EU RoHS 指令認証中国 RoHS 指令認証廃電気・電子製品に関する EU WEEE 指令 160/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 161: 安全性
使用方法安全性安全性このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC）の情報を含みます。これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能性があります。アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・損傷の責任を全て拒否します。適切な使用このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告と安全の手引きを含みます。このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じることができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認されたものでなければなりません。いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家の技術者により実行されなければいけません。製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければなりません。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 161/258...
Page 162: 不適切な使用
使用方法不適切な使用不適切な使用アジレント・テクノロジー株式会社は、TwisTorr 305 FS の不適切な使用により派生した全ての責任を拒否します。不適切な使用は、責任と保証への全ての請求権が喪失します。不適切な使用は下記の通り定義されます：不特定の取り付け用具を使用したポンプの取り付け ▪ 適切な浄化の流れなしに腐食性ガスや酸化ポンプすること（「腐食 ▪ 性ガスや酸化ガスとともに使用されるポンプ」を参照ください）爆発性のガスをポンプすること ▪ 凝縮した蒸気をポンプすること ▪ 液体をポンプすること ▪ 粉末をポンプすること ▪ 不適切な高ガス量での操作 ▪ 不適切な高圧補助真空での操作 ▪ 実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリテ ▪ ィでの操作不適切な高レベルの断熱材料での操作 ▪ 不適切な高い磁界での操作 ▪ 不敵な高い通気率での通気 ▪ 圧力を生じさせるための真空ポンプの使用 ▪ 電離放射線の範囲内での機器の操作 ▪ 潜在的に爆発性がある範囲での操作...
Page 163: 保護用装備
使用方法保護用装備保護用装備ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保護装置は、実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従うものでなければなりません。一般的に。一般的に、操作者は 305 FSを操作している時や取り付けの時に事故防止の靴を着用しなくてはなりません。メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康警告! への危険過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 ➔ メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を着用してください。装置の落下による損傷のリスク警告! 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 ➔ 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 ➔ 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなければなりません。 ➔ 指令 EN 347 に従ったつま先キャップがスチール製の安全靴を着用してください。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 163/258...
Page 164 使用方法保護用装備鋭い縁による損傷のリスク注意! ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常に鋭くなっています。 ➔ ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 ➔ 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 ➔ 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 164/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 165: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
使用方法ターボ分子ポンプ用安全ガイドラインターボ分子ポンプ用安全ガイドライン下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されているどの部分へも放出されています。装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載さ警告! れた取り付けの指示に厳密に従ってください！ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 165/258...
Page 166: 移送＆保管
使用方法移送＆保管移送＆保管アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証するため、凝縮を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりません：ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過して ▪ はいけません：温度範囲： -40 °C から 70 °Cまで ▪ 相対湿度範囲： 0 から 90 %まで（結露なし） ▪ ターボ分子ポンプの保存可能期間は出荷日から12ヶ月です。 ▪ お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ ▪ 分子ポンプは常にゆっくりと開始されなければなりません。ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは ▪ 常にゆっくりと開始されなければなりません。もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場注意! へ返送されなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報をお問い合わせください。 166/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 167: 製品説明
使用方法製品説明製品説明この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象としています。 TwisTorr 305 FS は、腐食性でないガスや酸化性でないガス、またはガス混合物のどんなタイプでもポンプ可能な、高真空・超高ターボ真空装置です。ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大 60600 rpm）により得られます。汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適です。より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されています。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 167/258...
Page 168: 取り付け
使用方法取り付け取り付け取り付けの準備 TwisTorr 305 FSは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこれに輸送中に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売営業所へお問い合わせください。落下等による305 FS への突然の衝撃は避けてください。長期間の保存または輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意ください。許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は 100% リサイクルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取注意! り扱わないでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用ください。通常環境への露出は、TwisTorr 305 FS を損傷しません。しかしながら、注ちり・ホコリによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り付けられるまでビニールの袋に密閉して保管することが推奨されます。 168/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 169 使用方法取り付け図１ TwisTorr 305 FS の梱包 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 169/258...
Page 170: セットアップ
使用方法セットアップセットアップシステムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保注意! 護キャップを取り外さないでください。図２ 170/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 171 使用方法セットアップこの機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質（雨、氷、雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、または爆発の可能性がある環境、または燃えやすい環境下では使用しないでください。操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません：最大環境気圧：大気圧上 2 バール ▪ 温度：+5 °C から +35 °C まで ▪ 相対湿度： 0 – 90 % （結露なし） ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 171/258...
Page 172: Twistorr 305 Fs 実装
使用方法 TwisTorr 305 FS 実装 TwisTorr 305 FS 実装これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際警告! にシステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が損害を受けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性があります。 TwisTorr 305 FS はどんな位置でも取り付けることができます。TwisTorr 305 FS を暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの耐荷重の接続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめます。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。 TwisTorr 305 FS はその土台では固定できません。注意! 172/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 173: 高真空フランジの接続
使用方法高真空フランジの接続高真空フランジの接続もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空フランジを留めているハードウェアにより吸収されなければいけません。ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけません。必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法警告! でポンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、材料、ボルト、ボルトの固定トルクに注意してください。高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空警告! チェンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に 305 FS がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なるフランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いません。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 173/258...
Page 174: Iso-K フランジの取り付け
使用方法 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデルIC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。図３必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 100 フランジ – 4個 ▪ ISO 160 フランジ – 4個 ▪ クロウクランプは、22 Nm のトルクできつく締めてください。 174/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 175: Conflat フランジの取り付け
使用方法 ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの接続には、下記の図に示される通り、2つのフランジをネジで固定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。図４必要な個数のネジを使用してください： CFF 6” – 16個 ▪ CFF 8” – 20個 ▪ • ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合うまで引き続き締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締めます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用することを推奨します。組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温潤滑剤をフランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間へ注入できます。場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます。ナットとボルトを締めるときは、エンベロープにへこみができないよ注意! うに注意してください。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 175/258...
Page 176: フォア真空ポンプの接続
使用方法フォア真空ポンプの接続フォア真空ポンプの接続フォアラインの接続は、TwisTorr 305 FS 上に提供されるKF 16 NW フランジを使用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空定格ホースまたはパイプで行うこともできます。もし硬いパイプが使用された場合、機械ポンプにより発生したいかなる振動も、下記の使用により減衰されなければなりません。 TwisTorr 305 FS は、その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械油注密封式ポンプを使用する時、オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるために、ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けることを推奨します。 176/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 177 使用方法フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FS の起動開始と操作 TwisTorr 305 FSを搭載コントローラーまたはリモートコントローラーを通して起動するには、ポンプをコントローラーへ接続し、適切な供給電圧をコントローラーへ供給して「開始」と「連動」信号（コントローラーのインターフェース上にあります）を作動してください。これらの信号が認識されたら、コントローラーはポンプを開始します。下記を行うには、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照し注てください： (1) 電源供給口の場所や主要な入力電圧許容値を探す（リモートについて：技術的情報の章；搭載について：技術的情報の章）。 (2)「開始/停止」と「連動」入力ピンの場所、また関連する電気定格を探す（リモートについて：技術的情報の章；搭載について：技術的情報の章）。 (3) 「開始/停止」と「連動」信号を接続する方法についての詳細を探す（リモートについて：技術的情報の章；搭載について：技術的情報の章）。参照説明マニコントローラーコントローラーの説明 MPNs ュアル X3507-64130 TwisTorr 305 FS 搭載 24V 87-901-060-01 TwisTorr 305 FS 搭載...
Page 178: Twistorr 305 Fs を停止する
使用方法 TwisTorr 305 FS を停止する TwisTorr 305 FS を停止するポンプが作動している時にポンプを停止するには、ポンプを駆動しており、それに接続されているコントロールユニットを作動してください。シリアル通信コマンドやリモートI/O信号を経由してポンプを停止することも可能です。一連の適切な使用方法を探すには、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照してください(リモートについて：技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意味；搭載について；技術的情報の章 – 相互接続 & ウィンドウの意味)。緊急停止電源供給を切ることにより緊急停止します。これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使警告! 用は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。この停止モードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 178/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 179: メンテナンス
使用方法メンテナンスメンテナンス TwisTorr 305 FS はいかなるメンテナンスも必要ではありません。いかなる作業も有資格者によって実施されなければなりません。システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気警告! 弁でポンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50° C 以下になるまで待ってください。ポンプが故障した場合、アジレントの修理サービスまたは、故障したシステムを取り替えてお客様へ再製造のシステムを提供する「アジレント最新交換サービス」を利用することができます。交換の305 FS は、ご注文がなされた時に郵送されます。そして、交換の305 FSが届いた箱に故障した305 FSを入れて返送してください。製造者へ修理または最新交換サービスのためにポンプを返送する前に、注この説明マニュアルに添付されている「返品の申請」フォームを記入し、現地の販売事務所へ送信する必要があります。システムの梱包に、郵送する前に同フォームのコピーを入れてください。もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の条例に従うようご確認ください。ローターの寿命理論的評価による305 FS ターボ分子ポンプローターの疲労抵抗は、停止状態から最大速度、さらに停止までの、ランプの405000サイクルです。予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れると、アジレントは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨します。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 179/258...
Page 180: ソフトスタート
使用方法ソフトスタートソフトスタート最初のランプアップの際に、ポンプの軸受の適切な潤滑油を確保す警告! るには、ポンプは「ソフトモード」で開始されなければなりません。この開始モダリティ（ソフトスタート）は、ポンプの速度を円滑にし、軸受の適切な潤滑を可能にします。ポンプに接続されているコントロールユニットは、既にデフォルトによりポンプを作動するようセットアップされています。（初回コントロールユニットの起動のみ）。使用済みのコントロールユニットで新しいポンプを使用する場合には、手動でソフトスタートモードを設定することを忘れないでください。ソフトスタートモードは、標準の起動開始よりも時間がかかります；使用者は、ポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるまで待たなければなりません。初回の開始後は、ポンプは再度コントロールユニットによるソフトスタートモードにはなりません。長期間の不稼働状態（60日間またはそれ以上）の後、軸受に残存している潤滑油の適切な再分配を可能するには、再度ソフトスタートモードでポンプを開始する必要があります。「ソフトスタート」モダリティを有効にする一連の適切な使用方法警告! を探すには、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照してください（リモートについて：技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意味；搭載について；技術的情報の章 – 相互接続 & ウィンドウの意味）。クリーニング 305 FSの外側表面...
Page 181 使用方法廃棄廃棄ラベル上に表示された「WEEE」ロゴの意味下記の記号はEC WEEE指令（電気電子廃棄物指令）に従い適用されたものです。この記号（欧州諸共同体でのみ有効）は、製品は通常の家庭ゴミまたは産業廃棄物と一緒に廃棄されてはいけないこと、また分化された廃棄物収集システムへ送られなければいけないことを示します。従って、エンドユーザーは、販売の契約条件を確認した後に、収集と廃棄工程を始めるために、親会社かもしくは小売業者であろうと、機器の供給者へ問い合わせることが推奨されます。さらなる情報は下記をご確認ください： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 181/258...
Page 182: サービス
使用方法サービスサービスお客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もしくは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 返品フォームの申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプをアジレント・テクノロジー株式会社へ返送する必要があります。（このマニュアルの最後に提供されています）。 182/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 183: Instructions For Use
TwisTorr 305 FS User Manual Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Warning Symbols Proper Use Improper Use Protective equipment Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Transport & Storage Product description Installation Preparation for Installation Set-up TwisTorr 305 FS Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange...
Page 184: Twistorr 305 Fs User Manual
TwisTorr 305 FS User Manual 184/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 185: About This Manual
Instructions for Use About this manual About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305 FS, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.
Page 186: Definitions And Terminology
Instructions for Use About this manual Definitions and terminology Definition of Caution, Warning and Note Some important references of this manual are highlighted and framed in contrasting colour. Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING!! practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury.
Page 187: Warning Symbols
Instructions for Use Warning Symbols Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305 FS. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation or on the instrument itself are as follows: Direct...
Page 188 Instructions for Use Warning Symbols The following symbol may be used on warning labels attached to the instrument. When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information.
Page 189: Safety
Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non- observance of the safety rules indicated in the technical documentation.
Page 190: Improper Use
Instructions for Use Proper Use Improper Use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305 FS. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ▪...
Page 191: Protective Equipment
Instructions for Use Proper Use Protective equipment The protective equipment of the operators who are operating or executing the maintenance of the pumping system must always be adequate for the type of operation being executed. Furthermore, it must comply with the safety requirements of the legislation in force in the country in which the machine is used.
Page 192 Instructions for Use Proper Use Risk of injury through sharp edges CAUTION! Rotor and stator disks of turbopumps have very sharp edges. ➔ Before servicing the pump or before any mounting/ dismounting action of the pump from the system, wait for the complete standstill of the pump.
Page 193: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high Rotation Speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of malfunctioning of a mechanical part of the pump the rotational energy may be released to whatever the pump is fixed to.
Page 194: Transport & Storage
Instructions for Use Transport & Storage Transport & Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental ▪...
Page 195: Product Description
Instructions for Use Product description Product description This equipment is intended for professional use and to be used by professionals. The TwisTorr 305 FS is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.
Page 196: Installation
Instructions for Use Installation Installation Preparation for Installation The TwisTorr 305 FS is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the 305 FS that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
Page 197 Instructions for Use Installation Figure 1 TwisTorr 305 FS packaging TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 197/258...
Page 198: Set-Up
Instructions for Use Set-up Set-up Do not remove the adhesive and protective cap until you are ready to install the CAUTION! turbopump to the system. Figure 2 198/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 199 Instructions for Use Set-up Install this device indoors only, and do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation: maximum ambient pressure: 2 bar above atmospheric pressure ▪...
Page 200: Twistorr 305 Fs Mounting
Instructions for Use TwisTorr 305 FS Mounting TwisTorr 305 FS Mounting WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 305 FS can be installed in any position.
Page 201: Connection Of The High Vacuum Flange
Instructions for Use Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange If the rotor stops suddenly, the resulting torque must be absorbed by the hardware fastening the high vacuum flange. Bolts or hardware must meet the specification below. WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "INSTRUCTION FOR USE"...
Page 202: Installation Of Iso-K Flange
Instructions for Use Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps model IC63250DCMZ or equivalent, as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 3 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange...
Page 203: Installation Of Conflat Flange
Instructions for Use Connection of the High Vacuum Flange Installation of ConFlat Flange For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 4 Use the required number of screws: 16 for CFF 6”...
Page 204: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Instructions for Use Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305 FS. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe.
Page 205: Startup And Operation Of The Twistorr 305 Fs
Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS To turn on the TwisTorr 305 FS via the on board controllers or the remote controllers, connect the pump to the controller, supply the controller with the proper supply voltage and then act on the "START"...
Page 206: Stopping The Twistorr 305 Fs
Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Stopping the TwisTorr 305 FS To stop the pump while it is running, in is necessary to act on the control unit which is driving the pump and which is connected to it. It is possible to stop the pump via serial comm.
Page 207: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 305 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the power WARNING! supply, vent the pump with the vent valve, wait until the rotor is completely stopped and wait until the surface temperature of the pump is below 50°...
Page 208: Soft Start
Instructions for Use Soft Start Soft Start WARNING! To ensure proper lubrication of the bearings the pump, at the first ramp-up, the pump has to be started in “soft start” mode. This starting modality (Soft Start) ensures a smooth up to speed of the pump and it allows a proper lubrication of the bearings.
Page 209: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 210: Service
Instructions for Use Service Service Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the Request for Return form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). 210/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 211: Technical Information
Technical Information Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Technical Specification TwisTorr 305 FS Outline Interconnections Earth (Ground) Connection Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Vent Accessories Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases...
Page 212 Technical Information 212/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 213: Description Of The Twistorr 305 Fs
Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Description of the TwisTorr 305 FS The TwisTorr 305 FS consists of a high frequency induction motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in a counterclockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Page 214 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS The TwisTorr 305 FS models are: X3513-64008 TWISTORR 305-K FS ISO100K STD AIR COOLING X3513-64009 TWISTORR 305-K FS CFF6" STD AIR COOLING X3513-64010 TWISTORR 305-K FS ISO160K STD AIR COOLING X3513-64011 TWISTORR 305-K FS CFF8" STD AIR COOLING X3513-64012 TWISTORR 305-K FS ISO100K STD WATER COOLING X3513-64013...
Page 215 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS The following figures shows the 8 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings. Figure 5 Model X3513-64008 Figure 6 Model X3513-64009 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 215/258...
Page 216 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Figure 7 Model X3513-64010 Model X3513-64011 Figure 8 216/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 217 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Figure 9 Model X3513-64012 Figure 10 Model X3513-64013 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 217/258...
Page 218 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Figure 11 Model X3513-64014 Figure 12 Model X3513-64015 218/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 219: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 1 Technical Specification Pumping speed ISO 100/ CF 6" / ISO 160 / CF 8" 250 l/s 255 l/s 220 l/s 250 l/s Max gas flow rate (N2): 250 sccm Note: value refer to water-cooling pump version with: •...
Page 220 Technical Information Technical Specification Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Relative humidity of air From graph in Figure 13 (non condensing) Bakeout temperature ISO flange: 75°C at inlet flange max CFF flange: 100°C at inlet flange max Note: Measure a point close to the sealing element. Lubricant Permanent lubrication Air cooling requirements...
Page 221 Technical Information Technical Specification EN 61010-1 Compliance with: EN 61326-1 EN 1012-2 EN 12100 EN 50581 Machinery Directive 2006/42/EC Electromagnetic Compatibility Directive 2014/30/EU Directive 2011/65/EU When the TwisTorr 305 FS has been stored at a temperature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before switch the TwisTorr 305 FS on.
Page 222: Twistorr 305 Fs Outline
Technical Information TwisTorr 305 FS Outline TwisTorr 305 FS Outline The following figures show the TwisTorr 305 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 14 TwisTorr 305 FS ISO 100 (X3513-64008), + AIR COOLING KIT 222/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 223 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 15 TwisTorr 305 FS CFF6, (X3513-64009), + AIR COOLING KIT TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 223/258...
Page 224 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 16 TwisTorr 305 FS ISO 160K (X3513-64010) + AIR COOLING KIT 224/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 225 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 17 TwisTorr 305 FS CFF8 (X3513-64011) + AIR COOLING KIT TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 225/258...
Page 226 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 18 TwisTorr 305 FS ISO 100K (X3513-64012) 226/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 227 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 19 TwisTorr 305 FS + CFF6 (X3513-64013) TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 227/258...
Page 228 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 20 TwisTorr 305 FS ISO 160K (X3513-64014) 228/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 229 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline TwisTorr 305 FS + CFF8 (X3513-64015) Figure 21 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 229/258...
Page 230 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 22 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 305 FS pump 230/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 231 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 305 FS pump Figure 23 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 231/258...
Page 232 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Graph of Iso Flow-Iso Power for TwisTorr 305 FS with Figure 24 Nitrogen gas (water cooling version with water temperature in range 15°C-20°C, backing pump 11.6 m 232/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 233: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 305 FS interconnections. EARTH GROUND FORELINE CONTROLLER CONNECTOR Figure 25 Earth (Ground) Connection We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the TwisTorr 305 FS. Use a separate insulated green/yellow conductor, and use a M5 x 10 screw and shake proof washer (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump.
Page 234: Pump Operations
Technical Information Pump Operations Pump Operations Inlet screen installation Figure 26 Model 9699302 and 9699304 Figure 27 Model X3500-68000 and X3500-68001 Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6’’) ▪...
Page 235 Technical Information Inlet screen installation Installing an inlet screen will reduce the pumping speed by the following amount: Reduction in pumping speed (%) X3500-68000 X3500-68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 28 The screen can be mounted on each pump.
Page 236 Technical Information Inlet screen installation Figure 29 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. 236/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 237: Air Cooling Kit Installation (Only For Air Cooled Pumps)
Technical Information Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Air cooling kits are available in order to improve the air cooling efficiency of the TwisTorr pump. The cooling kit have to be selected in accordance to the controller that has been selected to operate the pump (refer to Accessories and Spare Parts chapter).
Page 238 Technical Information Inlet screen installation To fix the fan to the TwisTorr 305 FS case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan kit to the suitable bracket by means of the furnished screws Fix the bracket to the pump body. Connect the cooling fan connector to the appropriate supply port which is present to the eletronic controller that drives the pump.
Page 239: Water Cooling Kit Connection (Only For Water Cooling Pumps)
Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model).
Page 240 Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure. Figure 34 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm.
Page 241 Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using clamps to avoid the NOTE tubes from becoming loose or disconnected during operation.
Page 242: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device enable an automatic vent operation. TwisTorr 305 FS compatible Vent Valve mod. 9699834 – 9699834M006 – 9699844 – 9699845 – 9699846 – 9699847. Figure 36 Vent valve for Remote Controller Figure 37 Vent valve for Onboard Controller 242/258...
Page 243 Technical Information Vent Accessories This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the controller software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 38 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 243/258...
Page 244 Technical Information Vent Accessories Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 39 The vent kit shown in the picture is the 9699834 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller.
Page 245: Pump Used With Corrosive And Oxidizing Gases
Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e.
Page 246 Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Purge layout Figure 40 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve 246/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01...
Page 247: Purge Valve Installation
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to switch off the pump and unscrew the purge port cover as shown in the following figure.
Page 248: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Purge Valve Installation Pump Used in Presence of Magnetic Fields Function not applicable as there are electronic parts on the pump. Vibration Isolator Installation Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories.
Page 249: Controller Operations
Technical Information Controller Operations Controller Operations Please refer to the selected controller manual. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 249/258...
Page 250: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 2 Accessories and spare parts DESCRIPTION PART NUMBER Air cooling kit (for onboard controller) X3500-68010 Air cooling kit for remote controller X3500-68011 Water Cooling Kit for Turbopump 9699337 Plastic Water Cooling Kit 9699347 Vent Valve N.O.
Page 251 Technical Information Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M005 Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M004 Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M015 Small TMP air cooling kit ext cable (5 m) 9699940 Vent Valve Extension cable (5 m) 9699941...
Page 253 Vacuum Products Division Dear Customer, Thank you for purchasing an Agilent vacuum product. At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and/or service you have purchased. As part of our Continuous Improvement effort, we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products.
Page 254 CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE / PREVENTIVE / IMPROVEMENT ACTION AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO – QUALITY ASSURANCE FAX N°: XXXX‐011‐9979350 ADDRESS: AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.p.A. – Vacuum Products Division – Via F.lli Varian, 54 – 10040 Leinì (TO) – Italy E‐MAIL: vpd‐qualityassurance_pdl‐ext@agilent.com NAME...
Page 255 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
Page 256 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product.
Page 257 Vacuum Products Division Request for Return Form Customer information Company : Contact Name: Address: Tel: Fax: Email: Equipment Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process (for which the equipment was used) Type of return Non Billable Billable New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________...
Page 258 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

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Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Series User Manual

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