Renishaw ATOM Installation Manual page 55

Speed
Digital speed
20 µm system
0004 0020 0040
(5 µm) (1 µm) (0.5 µm) (0.2 µm)
10 10 10
10 10 10
10 10 8.1
10 10 6.75
10 9 4.5
10 8.1 4.05
10 6.48 3.24
10 4.5 2.25
10 3.37 1.68
4.2 0.84 0.42
40 µm system
0004 0020 0040
(10 µm) (2 µm) (1 µm) (0.4 µm)
20 20 20
20 20 20
20 20 16.2
20 20 13.5
20 18 9
20 16.2 8
20 12.96 6.48
20 9 4.5
20 6.74 3.36
8.4 1.68 0.84
Maximum speed (m/s)
0100 0200 0400 1000
(0.1 µm) (50 nm) (20 nm)
6.48 3.24 1.62 0.648
5.4 2.7 1.35 0.54
3.24 1.62 0.81 0.324
2.7 1.35 0.675 0.27
1.8 0.9 0.45 0.18
1.62 0.81 0.405 0.162
1.29 0.648 0.324 0.13
0.9 0.45 0.225 0.09
0.67 0.338 0.169 0.068
0.16 0.084 0.042 0.017
Maximum speed (m/s)
0100 0200 0400 1000
(0.2 µm) (0.1 µm) (40 nm)
12.96 6.48 3.25 1.296
10.8 5.4 2.7 1.08
6.48 3.24 1.62 0.648
5.4 2.7 1.34 0.54
3.6 1.8 0.9 0.36
3.24 1.62 0.8 0.324
2.58 1.296 0.648 0.26
1.8 0.9 0.45 0.18
1.34 0.676 0.338 0.136
0.32 0.168 0.084 0.034
2000 4000 10KD 20KD
(10 nm) (5 nm) (2 nm) (1 nm)
0.324 0.162 0.0654 0.032
0.27 0.135 0.054 0.027
0.162 0.081 0.032 0.016
0.135 0.068 0.027 0.013
0.09 0.045 0.018 0.009
0.081 0.041 0.016 0.0081
0.065 0.032 0.013 0.0065
0.045 0.023 0.009 0.0045
0.034 0.017 0.0068 0.0034
0.008 0.004 0.0017 0.0008
2000 4000 10KD 20KD
(20 nm) (10 nm) (4 nm) (2 nm)
0.648 0.324 0.013
0.54 0.27 0.108
0.324 0.162 0.064
0.27 0.136 0.054
0.18 0.09 0.036
0.162 0.082 0.032 0.0162
0.13 0.064 0.026
0.09 0.046 0.018
0.068 0.034 0.0136 0.0068
0.016 0.008 0.0034 0.0016
Lowest recommended
counter input frequency
(MHz)
50
40
25
20
12
10
8
6
4
1
Lowest recommended
counter input frequency
(MHz)
0.064 50
0.054 40
0.032 25
0.026 20
0.018 12
10
8
0.013
6
0.009
4
1
www.renishaw.com 55