Inficon Cygnus 2 Operating Manual page 8

Thin film deposition controller
Table of Contents

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3.5.1.4
Generic Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.5.2
Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.5.2.1
3.5.3
Auto-Z. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.5.4
Rate Watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.5.5
Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.5.5.1
Determining Soak Power with the Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.5.6
Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.5.6.1
Standard or Time Compressed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.5.6.2
Advanced Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.5.7
USB Storage Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33
3.5.8
Lock and Access Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.5.9
Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
3.5.9.1
Datalog contents: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.5.9.2
Page Format ASCII Example: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
3.5.9.3
Comma Format ASCII Example to USB Storage Device: . . . . . . . . . . . . . 3-39
3.5.10
DAC Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.5.11
Trend Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.5.11.1
Chapter 4
4.1
Sensor Set-Up Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1
Sensor Display Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2
Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2
Source Set-Up Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.1
Source Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.2
Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3
DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Chapter 5
5.1
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1
Material Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2
Material Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3
Material Source Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.1.4
Material Sensor Parameters Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.1.5
Pre/Post Screen Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.1.6
Post Deposit Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.1.7
Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
TOC - 4
Cygnus 2 Operating Manual

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