Inficon Cygnus 2 Operating Manual page 6

Thin film deposition controller
Table of Contents

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1.4.14
Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.15
Installation Clearance Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.15.1
Connector Clearances:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.15.2
Cooling Clearances: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.16
Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.17
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.5
Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.6
Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.6.1
Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.6.2
Pre-installed Options or Spares . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.6.3
Optional Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.6.4
Oscillator Packages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.6.5
Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.6.6
Replacement Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.7
Initial Power-On Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
Chapter 2
2.1
Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1
Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2
Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.3
Cygnus 2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2
Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.1
Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.2
Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.3
Minimizing Noise Pickup from External Cabling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3
Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1
Routing XIU Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2
Interface Cable Fabrication and Pin-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2.1
Source Control Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.2
Crucible Indexer Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.3
DAC Option Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.4
I/O Expansion Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.2.5
RS-232C Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.2.6
Isolated +24 V (dc) Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
Chapter 3
3.1
Front Panel Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2
Rear Panel Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
TOC - 2
Cygnus 2 Operating Manual

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