Ulvac CRYOPUMP CRYO-U Series Instruction Manual page 11

CRYO-U Cryopump Instruction Manual
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Figure 1-1 Typical CRYO-U
1-2 External Drawing of CRYO-U
1-3 Major Components････････････････････････････････････････ 1-5
3-1 Quick Installation Process Flow････････････････････････････ 3-2
4-1 Example of CRYO-U
4-2 Examples of Cryopump Installation･････････････････････････ 4-3
4-3 Maintenance Space････････････････････････････････････････ 4-4
4-4 Pressure Loss of Regeneration Gas Purge PR Unit･･･････････ 4-6
4-5 Connecting Flexible Hoses･････････････････････････････････ 4-9
7-1 Disconnecting Flexible Hose･･･････････････････････････････ 7-2
8-1 Charging Helium Gas･････････････････････････････････････ 8-7
8-2 Disconnecting Flexible Hose･･･････････････････････････････ 8-9
8-3 Connecting Charging Adapter･･････････････････････････････ 8-9
8-4 Cryopump Decontamination Procedures(1)･･････････････････ 8-10
8-5 Cryopump Decontamination Procedures(2)･･････････････････ 8-12
8-6 Connecting Flexible Hoses･････････････････････････････････ 8-13
D-1 Vapor Pressure of Various Kinds of Gas･････････････････････ D-2
E-1 Principle of Refrigeration･･････････････････････････････････ E-1
E-2 Principle of G-M Cycle Operation･･･････････････････････････ E-4
E-3 Two-stage Refrigerator････････････････････････････････････ E-4
Table 1-1 CRYO-U
2-1 Shipping List for Cryopump System･････････････････････････2-1
2-2 Shipping List for Cryopump assembly･･･････････････････････2-1
3-1 Quick Installation･････････････････････････････････････････ 3-1
5-1 Cryopump Temperature Indication
5-2 Maximum Quantity of Sucked Gas Processable by Cryopump
8-1 Maintenance Parts and Intervals･･･････････････････････････ 8-2
8-2 CRYO-U
FIGURES
Cryopump System･･･････････････････････ 1-1
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Cryopump Vacuum System････････････ 4-2
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TABLES
Specifications･･･････････････････････････････････ 1-2
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(When used at room temp.of 20℃)･････････････ 5-3
(Guideline Quantity to the Air)････････････････ 5-5
10HSP Consumables･････････････････････････････ 8-3
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ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
Cryopump･･･････････････････ 1-4
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Ⅲ