Ulvac CRYOPUMP CRYO-U Series Instruction Manual page 10

Hide thumbs Also See for CRYOPUMP CRYO-U Series:

Table of Contents

5.7 Shutdown Procedures･･････････････････････････････････ 5-6

5.8 Handling of Hazardous Materials･･･････････････････････ 5-6

6.1 The General･･･････････････････････････････････････････ 6-1

6.2 Regeneration Time････････････････････････････････････ 6-2

6.3 Warm-up Method･･････････････････････････････････････ 6-2

6.4 Regeneration Flow Chart･･･････････････････････････････ 6-4

SECTION 7 Disconnecting and Storage

8.1 Scheduled and Unscheduled Maintenance･･･････････････ 8-1

8.2 Consumables･･････････････････････････････････････････ 8-3

8.3 Cleaning the Cryopump････････････････････････････････ 8-4

8.4 Charging Helium Gas･･････････････････････････････････ 8-5

8.5 Helium Circuit Decontamination････････････････････････ 8-8

APPENDICES

A. Troubleshooting･････････････････････････････････････････ A-1

B. Flexible Hose･･･････････････････････････････････････････ B-1

C. Conversion of Thermometer Readings･････････････････････ C-1

D. Principle of Cryopump Operation･････････････････････････ D-1

E. Principle of Refrigerator Operation･･･････････････････････ E-1

F. Dew Condensation･･････････････････････････････････････ F-1

Service Network･･･････････････････････････････････････････････CS-1

Ⅱ

ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED

Table of Contents

Cryopump cryo-u 18h