Speed - Renishaw VIONiC RSLM20 Installation Manual

Speed

Clocked
output
option
5 µm 1 µm 0.5 µm 0.2 µm
(MHz)
(D) (X) (Z) (W)
12 12 12 7.25
50
40 12 12 12 5.80
12 12 9.06 3.63
25
12 12 8.06 3.22
20
12 10.36 5.18 2.07
12
10 12 8.53 4.27 1.71
08 12 6.91 3.45 1.38
12 5.37 2.69 1.07
06
04 12 3.63 1.81 0.730
4.53 0.910 0.450 0.180
01
*For a readhead with a 1 m cable.
VIONiC RSLM20/RELM20 installation guide
Maximum speed (m/s)
0.1 µm 50 nm 40 nm 25 nm 20 nm
(Y) (H) (M) (P) (I)
3.63 1.81 1.45 0.906 0.725
2.90 1.45 1.16 0.725 0.580
1.81 0.906 0.725 0.453 0.363
1.61 0.806 0.645 0.403 0.322
1.04 0.518 0.414 0.259 0.207
0.850 0.427 0.341 0.213 0.171
0.690 0.345 0.276 0.173 0.138
0.540 0.269 0.215 0.134 0.107
0.360 0.181 0.145 0.091 0.073
0.090 0.045 0.036 0.023 0.018
Minimum edge
separation* (ns)
10 nm 5 nm 2.5 nm
(O) (Q) (R)
0.363 0.181 0.091 25.3
0.290 0.145 0.073 31.8
0.181 0.091 0.045 51.2
0.161 0.081 0.040 57.7
0.104 0.052 0.026 90.2
0.085 0.043 0.021 110
0.069 0.035 0.017 136
0.054 0.027 0.013 175
0.036 0.018 0.009 259
0.009 0.005 0.002 1038
16