Varian Turbo-V 2000 ICE Instructions For Use Manual page 21

NEJ!
VARNING!
För att undvika personskador får du aldrig sticka in
fingrarna eller andra
intagsöppningar. Vi rekommenderar
skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en
flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste
turbopumpen alltid fästas till fundamentet.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan "Technical information" för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V2000 ICE måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9448, 969-
9449), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical
information ").
Turbopumpen kan installeras i valfri position.
Om pumpen är fäst i vågrätt läge ska du försäkra dig om att
styrenheten är inställd på "drift i vågrätt läge".
Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
20000 Nm runt den genomgående axeln.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer
av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ISO K 250 Dubbel klammer,
gänga M10
Enkel klammer,
gänga M10
Turbopumpen med ingångsfläns ISO F 250 (fäst med bultar)
ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av 12 bultar av
typen M10.
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga "Technical Information"
Installation av tillbehörsutrustning
Information".
föremål i turbopumpens
användning av
ska fästas i
ANT. ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
12 22 Nm
12 22 Nm
beskrivs i "Technical
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under eventuell
uppvärmning av tryckkammaren
ingångsflänsen och rotorn inte överstiga 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
Vidrör inte turbopumpen
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över
atmosfäriskt tryck).
Undvik sammanstötningar,
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
"Technical information").
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V2000 ICE-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
16
BRUKSANVISNING
ska temperaturen
VARNING!
eller några tillbehör
VIKTIGT!
VIKTIGT!
svängningar eller
VIKTIGT!
VARNING!
VARNING!
OBSERVERA
enhet, måste "hälso-
87-900-915-01(E)
för
under
plötsliga
och