Related Manuals for Varian Turbo-V 2000 ICE
Summary of Contents for Varian Turbo-V 2000 ICE
- Page 1 (217) 352-9330 | Click HERE Find the Agilent / Varian Turbo V-2000 at our website:...
- Page 2 MANUALE DI ISTRUZIONI Turbo-V 2000 ICE BEDIENUNGSHANDBUCH controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-9448 BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-9449 ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA...
- Page 3 Turbo-V 2000 ICE Controller Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com...
- Page 4 Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com...
- Page 5 Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com...
-
Page 6: Table Of Contents
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ..................………. 53 NÁVOD K POUŽITIU ..................……….. 57 NAVODILA ZA UPORABO ................... INSTRUCTIONS FOR USE ................... TECHNICAL INFORMATION ..................TURBO-V 2000 ICE CONTROLLER DESCRIPTION ..............CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE ....................... FUSE HEATER JACKET......................... INTERCONNECTIONS ........................Connection J1 - Logic Input/Output Interconnections ............ - Page 7 OPTIONAL SERIAL PORT ......................Serial Port Installation ......................Serial Communication Port J13 ..................... RS 232-422 Communication Descriptions ................Trasmission Channel Characteristics..................RS 485 Communication Description ..................Trasmission Channel Characteristics..................Message Structure......................... Window-Based Protocol......................USE ..............................General ..........................Startup ........................... Front/Remote/Serial Selection ....................Starting the Pump ........................
-
Page 8: Istruzioni Per L'uso
I controller pilotano lasciar cedere il controller e a non sottoporlo ad urti. le pompe della serie Turbo-V 2000 ICE (con un Non disperdere l’imballo nell’ambiente. II materiale è processo suddiviso in dieci passi) durante la fase di... - Page 9 ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE NOTA Il connettore di richiusura P1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello se non viene effettuato PERICOLO! alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e pompa Turbo-V possono essere accese II controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre contemporaneamente.
- Page 10 STOP del pannello frontale. normative nazionali specifiche. MANUTENZIONE MESSAGGI DI ERRORE I controller della serie Turbo-V 2000 ICE non In alcuni casi di guasto la circuiteria di autodiagnosi del richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento controller presenta alcuni messaggi di errore elencati deve essere eseguito da personale autorizzato.
- Page 11 Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. FLOW METER ALARM Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas.
-
Page 12: Gebrauchsanleitung
Eventuelle gefertigt und verfügen über ein Selbstdiagnose- und ein Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Selbstschutzsystem. Die Controller steuern die Pumpen Verkaufsstelle gemeldet werden. der Serie Turbo-V 2000 ICE (durch einen 10-Schritte- Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit Prozeß) in der Startphase, indem sie die Spannung und Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. - Page 13 GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION ANMERKUNG Der Wiederverschließ-Verbinder P1 muß mit seiner GEFAHR! Brücke angeschlossen bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo- Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Drähte enthält und mit einem den internationalen Normen entsprechenden Stecker ausgerüstet ist.
- Page 14 Fronttafel gedrückt werden. FEHLERMELDUNGEN WARTUNG In einigen Störungsfällen zeigt das Selbstdiagnoses- Die Controller der Serie Turbo-V 2000 ICE sind system des Controllers die in der nach-stehenden wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen Tabelle zusammengefaßten Meldungen an. von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden.
- Page 15 Die Taste START zweimal drücken, um die OVERVOLTAGE eine Störung aufgetreten oder der Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. FLOW METER ALARM Alarm hinsichtlich Auswurffluß. Einwandfreien Betrieb des Flußwert befindet sich für die Dauer von...
-
Page 16: Mode D'emploi
Le contrôleur est fourni dans un emballage de nationales spécifiques. protection spécial; si l'on constate des marques de Les contrôleurs de la série Turbo-V 2000 ICE sont des dommages pouvant s'être produits pendant le transport, convertisseurs fréquence, contrôlés... - Page 17 MODE D'EMPLOI INSTALLATION NOTE DANGER! Laisser le connecteur de réenclenchement P1 connecté à sa barrette s'il n'est procédé à aucune connexion Les contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois extérieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo-V fils avec une fiche du type approuvé au niveau peuvent être mises en marche simultanément.
- Page 18 Pour arrêter la pompe, presser l'interrupteur STOP du nationales en la matière. tableau frontal MESSAGES D'ERREUR ENTRETIEN Dans certains cas de panne, l'ensemble de circuits Les contrôleurs de la série Turbo-V 2000 ICE n'exigent d'autodiagnostic contrôleur présente certains aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par messages d'erreur indiqués dans le tableau ci-dessous.
- Page 19 à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du d’alimentation du gaz.
-
Page 20: Istrucciones De Uso
El controler se suministra en un embalaje de protección nacionales específicas. especial; si se observan señales de daños, que podrían Los controlers de la serie Turbo-V 2000 ICE son haberse producido durante el transporte, ponerse en convertidores frecuencia, controlados contacto con la oficina de venta más cercana. - Page 21 INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN NOTA El conector di cierre P1 ha de dejarse conectado con su ¡PELIGRO! conector puente si no se efectúa ninguna conexión exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V El controler va dotado de un cable de alimentación de pueden encenderse simultáneamente.
- Page 22 MANTENIMIENTO algunos casos avería circuitos Los controlers de la serie Turbo-V 2000 ICE no autodiagnosis del controler presenta algunos mensajes necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación de error detallados en la tabla siguiente. ha de ser efectuada por personal autorizado. 87-900-929-01 (H)
- Page 23 En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. FLOW METER ALARM Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del limpieza (purge).
-
Page 24: Istruções Para O Uso
• pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian temperatura: de -20 °C a + 70 °C • não se responsabiliza pela inobservância total ou humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de... - Page 25 INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO NOTA O conector de fecho P1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada nenhuma ligação externa. A PERIGO! bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser ligadas simultaneamente. O controller é fornecido com um cabo de alimentação de três fios com uma tomada de tipo aprovado a nível internacional.
- Page 26 STOP do painel frontal. específicas. MANUTENÇÃO MENSAGENS DE ERRO Os controllers da série Turbo-V 2000 ICE não Em alguns casos de defeitos, os circuitos de requerem qualquer manutenção. Todas as operações autodiagnóstico do controller apresentam mensagens devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
- Page 27 Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do FLOW METER ALARM valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente.
-
Page 28: Gebruiksaanwijzingen
De controllers zijn van circuits voorzien die noodzakelijk zijn voor de automatische werking van de pompen van de serie Turbo-V 2000 ICE. Via hulpconnectoren zijn de sturingen voor het op afstand starten en stoppen van de pomp beschikbaar,... - Page 29 GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE OPMERKING De connector P1 moet met zijn jumper aangesloten blijven als geen externe aansluiting tot stand wordt GEVAAR! gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. De controller is voorzien van een voedingskabel met drie draden en een stekker van het internationaal goedgekeurde type.
- Page 30 ONDERHOUD FOUTMELDINGEN De controllers van de serie Turbo-V 2000 ICE zijn In geval van bepaalde storingen wekt het zelfdiagnose- onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door circuit van de controller enkele foutmeldingen op die in bevoegd personeel worden uitgevoerd.
- Page 31 Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. FLOW METER ALARM Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.
-
Page 32: Brugsanvisning
• yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. temperatur: fra -20 °C til +70 °C • Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt... - Page 33 BRUGSANVISNING INSTALLATION BEMÆRK Afbryderkontakten P1 skal forblive tilsluttet med aktuel ADVARSEL! bro, når der ikke udføres eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere samtidigt. og godkendt stik efter internationale standarder. Anvend udelukkende det medleverede strømkabel. Stikket må tilsluttes vægudtag fungerende...
- Page 34 Stop af pumpen Pumpen stopper ved at trykke på STOP-trykknappen på Skrotning af pumpen skal foregå i overensstemmelse frontpanelet. med det pågældende lands særlige love. VEDLIGEHOLDELSE FEJLMEDDELELSER Styreenhederne i Turbo-V 2000 ICE-serien behøver ikke Når visse fejl opstår, viser styreenheden nogen vedligeholdelse.
- Page 35 Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning FLOW METER ALARM gennemstrømningen under fungerer korrekt.
-
Page 36: Bruksanvisning
Varian före användning temperatur: från -20 °C till +70 °C • utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION... - Page 37 BRUKSANVISNING INSTALLATION OBSERVERA Stängningskontakten P1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera VARNING samtidigt. Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare godkänd stickpropp enligt internationella Kontroller, Indikatorer och Kontakter på standarder. Använd endast medlevererade...
- Page 38 11. Jordanslutning. styrenheten havererar, kontakta Varian INSTRUKTIONER FÖR BRUK reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. Start av styrenheten Styrenheten startas enkelt genom att sätta strömkabeln i vägguttaget och sätt huvudströmbrytaren i läge 1. VARNING Start av pumpen Innan något arbete utförs på...
- Page 39 Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens FLOW METER ALARM Värdet är...
-
Page 40: Brukerveiledning
Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: • og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i temperatur: fra 20 °C til +70 °C • bruk. relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på... - Page 41 BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON MERK Lukkekontakten P1 må være tilkoplet aktuell brygge dersom det ikke skjer en annen ekstern tilkopling. ADVARSEL Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere og sammen. godkjent støpsel i henhold til internasjonale standarder. Bruk kun den vedlagte strømkabelen.
- Page 42 BRUKERVEILEDNING Inngangs-/utgangskoplingsstykke logiske signalene og kontroll av kraften som leveres til pumpen, og magnetiseringsfrekvensen (koplingsstykket leveres med den bestemte gjenlukkingsbroen). Inngangs-/utgangskoplingsstykke logiske signalene i henhold til SEMI spesifikasjonene. Effektuttak (120 Vac, forsyningen tileggsanordningene (vent device, primærpumpens aktiveringsrelè, osv.). Pumpens kabelkopling. Inngangskoplingsstykke for mateledningen.
- Page 43 Trykk to ganger på knappen START for å OVERVOLTAGE forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer FLOW METER ALARM Strømningsverdien har i 10 sekunder riktig.
-
Page 44: Käyttöohjeet
EU:n 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. vaiheessa valvoen jännitettä ja sähkövirtaa suhteessa pumpun saavuttamaan nopeuteen. Ne sisältävät kaikki virtapiirit, jotka ovat välttämättömiä Turbo-V 2000 ICE - sarjan pumppujen automaattiselle toiminnalle. Apuliittimien kautta voidaan käyttää pumpun kauko-ohjattavia käynnistys- pysäytyslaitteita; signaaleja,... - Page 45 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOM VAARA! Sulkimen P1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää samanaikaisesti. aina tätä kaapelia ja asettakaa pistoke riittävästi maadoitettuun pistorasiaan, jotta sähköiskuilta vältytään.
- Page 46 Pumppu pysähtyy painettaessa etupaneelissa olevaa Mikäli valvoja täytyy romuttaa, toimikaa STOP-painonappia. hävittämisessä kansallisten säädösten ja normien määräämällä tavalla. HUOLTO Turbo-V 2000 ICE -sarjan valvojia ei tarvitse huoltaa VIANETSINTÄ millään tavoin. Mahdolliset valvojaan tehtävät Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan toimenpiteet tulee jättää aina valtuutetun henkilön itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä,...
- Page 47 KÄYTTÖOHJEET VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan CHECK CONNECTION TO liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa START- painonappia, jolloin pumppu käynnistyy. Lukitussignaali (interlock) liittimessä P1 Palauttakaa liittimen J1 neulojen 3 ja 8 PUMP WAITlNG INTERLOCK aktiivinen...
-
Page 48: Odhgies Crhsews
: 0 - 95% (asumpuv k nwth) suskeuhv Ç . H Varian den fev r ei kamiv a euquv n h ov s on aforav thn olikhv hv merikhv aqev t hsh twn odhgiwv n , thn... - Page 49 ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH SHMEIWSH KINDUNOS O sundethv r aÇ qa prev p ei na afeqeiv sundedemev n oÇ O ruqmisthv Ç eiv n ai efodiasmev n oÇ me tripolikov kalwv d io me th gev f ura an den giv n etai kammiv a exwterikhv trofodov t hshÇ...
- Page 50 Ç kanonismouv Ç . SUNTHRHSH MHNUMATA LAQOUS Oi ruqmistev Ç thÇ seirav Ç Turbo-V 2000 ICE den orismev n eÇ periptwv s eiÇ blav b hÇ kuklwv m ata apaitouv n kamiv a sunthv r hsh. Opoiadhv p ote epev m bash qa autodiav g nwshÇ...
- Page 51 . An xanaparousiav z etai autov to ev l abe ev n a controller mhv n uma apotanqeiv t e sth Varian gia th anagnwriv s imo shv m a. sunthv r hsh. Elev g cete swsthv...
-
Page 52: Használati Utasítás
átalakítók, öndiagnosztikai és saját védelmi különleges figyelmet kell fordítani arra, hogy a vezérlő képességekkel. A vezérlők Turbo-V 2000 ICE sorozatú le ne essék, és ne szenvedjen ütődéseket. A szivattyúkat irányítanak (egy tíz lepésből álló folyamat csomagolóanyagot szabad szétszórni révén), az indítási fázisban a feszültséget és az áramot környezetben. - Page 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS TELEPÍTÉS MEGJEGYZÉS A P1 lezáró csatlakozó össze kell maradjon kötve a VESZÉLY! megfelel ő átkötéssel (jumper), ha nincs semmiféle küls ő összeköttetés. Az el ő -vákuum és a Turbo-V A vezérlő háromerű hálózati kábellel van ellátva, szivattyú egyidej ű leg is be lehetnek kapcsolva. nemzetközileg jóváhagyott csatlakozódugóval.
- Page 54 A szivattyú leállításához meg kell nyomni az előlapon megsemmisítésekor a tárgykörbe tartozó nemzeti található STOP nyomógombot. normáknak megfelelően kell eljárni. KARBANTARTÁS HIBAÜZENETEK A Turbo-V 2000 ICE sorozatú vezérlők semmiféle Néhány meghibásodási esetben vezérlő karbantartást sem igényelnek. öndiagnosztikai áramkörei hibaüzenetet jelenítenek Valamennyi beavatkozást meghatalmazott személyzet...
- Page 55 újraindításához kétszer OVERVOLTAGE tápellátási részegységében, vagy a megnyomni a START nyomógombot. vezérlő egy hamis jelet kapott. Ha az üzenet ismétlődik, a Varian-tól karbantartási beavatkozást kérni. tisztítóáramhoz kapcsolódó Ellenőrizni a gáz tápláló körének helyes FLOW METER ALARM vészjelzés. Az átáramló mennyiség, 10 működését.
-
Page 56: Instrukcja Uzytkowania
Kontrolery te pilotuja pompy z serii Turbo-V 2000 ICE Nie wyrzucac opakowania poniewaz jest ono calkowicie (przy pomocy procesu podzielonego na dziesiec rycyklowalne i odpowiada... - Page 57 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INSTALACJA PRZYPIS W przypadku kiedy nie zostanie wykonane zadne polaczenie zewnetrzne lacznik zamykajacy P1 powinien ZAGROZENIE! pozostac polaczony swoim mostkiem.Pompa wstepnej prozni pompa Turbo-V moga Kontroler jest zaopatrzony kabel zasilajacy uruchomione jednoczesnie . skladajacy trzech przewodow wtyczki odpowiadajacej standartom miedzynarodowym. Nalezy wylacznie uzywac tego rodzaju kabla zasilajacego i wlaczac wtyczke...
- Page 58 , specyficzne normy STOP znajdujacy sie na pulpicie frontalnym. BLEDNE INFORMACJE KONSERWACJA niektorych przypadkach uszodzen obwod do Kontroler z serii Turbo-V 2000 ICE nie wymaga zadnej autodiagnozy kontrolera pokazuje blendne informacje konserwacji. przyklady sa wymienionee w ponizszej tabeli. 87-900-929-01 (H)
- Page 59 Nacisnac dwa razy przycisk START dla OVERVOLTAGE zasilania kontrolera kontroler ponownego uruchomienia pompy. otrzymal sygnal nieprawidlowy. Jezeli sygnal sie powtorzy zwrocic sie do Varian o przeprowadzenie konserwacji. Sygnal alarmowy dotyczacy przeplywu Skontrolowac prawidlowe funkcjonowanie FLOW METER ALARM strumienia przeczyszczajacego. obwodu zasilania gazu. Wartosc...
-
Page 60: Příručka K Použití
či neoprávněných zásahů a neodpovídajících specifickým státním normám, Varian PŘÍPRAVA K INSTALACI nepřijímá a nenese žádnou zodpovědnost. Kontroléry série Turbo-V 2000 ICE jsou frekvenčními Kontrolér je dodáván v speciálním ochranném balení; konvertory, jsou kontrolované mikroprocesorem a objeví-li se následkem dopravy nějaké poškození, je skládají... - Page 61 P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ INSTALACE POZNÁMKA Uzavírající konektor P1, jestliže nebude uskute č n ě no NEBEZPEČÍ! žádné vn ě jší spojení, musí z ů stat propojený se svým m ů stkem. Č erpadla pre-prázdna a Turbo-V se mohou Kontrolér má...
- Page 62 Čerpadlo se zastaví stisknutím tlačítka STOP na Bude-li zapotřebí kontrolér likvidovat, musí čelním panelu. postupovat dle platných specifických státních norem. ÚDRŽBA CHYBNÉ ZPRÁVY Kontroléry série Turbo-V 2000 ICE nevyžadují žádnou některých případných poruchách údržbu. Jakýkoliv zásah musí vykonat jen pověřený autodiagnostických obvodech, kontrolér předává personál.
- Page 63 údržby je nutné se obrátit na Varian. FLOW METER ALARM Alarm vztahující se na tok purge. Zkontrolovat, zda plynový napájecí obvod Hodnota toku zůstala oproti hodnotě funguje správně. nastavené na nižší hodnotě po dobu vyšší...
-
Page 64: Návod K Použitiu
“Controller” “Controllers” riadia čerpadlá série Turbo-V 2000 ICE (s nespadol, alebo niekde nenarazil. Obal nezahadzujte. procesom, rozdelenýcm do desať rozpätí) počas Je vyrobený z recyklovateľného materiálu a zodpovedá štartovacej fázy, kontrolujúc napätie a prúd vo vzťahu s smernici CEE 85/399 pre ochranu životného prostredia. - Page 65 NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA POZNÁMKA Uzavierajúca prípojka P1 sa musí necha ť napojená na NEBEZPEČIE! jej mostík vtedy, ke ď nie je prevedené žiadne vonkajšie napojenie. Pred-prázdnové č erpadlo a č erpadlo Turbo- “Controller” je dodaný s trojdrôtovým napájacím káblom V môžu by ť...
- Page 66 Poistka na napájanie heater jacket. 10. Spojka pre kábel na napojenie tokometru (flow meter). 11. Uzemnenie. Zadný panel “Controller” 969-9448 e 969-9449 V prípade vady je možné využiť opravnú službu Varian POSTUP PRI POUŽITÍ alebo "Varian advanced exchange service", ktorá vymení vadný “controller”.
- Page 67 čerpadla. “controller”, alebo “controller” dostal falošný signál. Keď sa tento oznam objaví znovu, obráťte sa na firmu Varian pre údržbu. Skontrolujte, či obvod napájania plynu Alarm, vzťahujúci sa na tok purge. FLOW METER ALARM Hodnota toku zostala pod nastavenou funguje správne.
-
Page 68: Navodila Za Uporabo
Med prevozom in skladiščenjem controllerjev morate Uporabnik mora temeljito prebrati priročnik in pri tem zagotoviti naslednje pogoje okolice: upoštevati vsako dodatno informacijo, ki jo nudi Varian. • temperatura: od -20 °C do +70 °C Varian ne odgovarja v slučaju celotnega ali delnega •... - Page 69 NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA OPOMBA Konektor za zapiranje P1 mora ostati priklju č en k SVARILO! svojemu mosti č ku, č e niste izvršili nikakršne druge zunanje priklju č itvije. Č rpalko predhodnega č rpanja in Controller ima napajalni vod s tremi žicami in vtikač č...
- Page 70 Varovalka na napajanju heater jacket. 10. Konektor za priključni kabel tokomera (flow meter). Ozemljitev. Ozadnja ploš č a controllerjev 969-9448 e 969-9449 V slučaju okvare obrnite se servisu Varian ali "Varian POSTOPKI UPORABE advanced exchange service", ki Vam bo dal na razpolago obnovljeni controller.
- Page 71 Dvakrat pritisnite tipko START za ponoven zagon črpalke. Če se to obvestilo spet controllera, controller dobil nepristen znak. pojavi, obrnite se Varian za pravilno vzdrževanje. Alarm glede toka purge. Vrednost toka Preverite, da napajalno vezje plina dobro FLOW METER ALARM manjša nastavljenega deluje.
-
Page 72: Instructions For Use
(within steps) dispose of the packing materials in an unauthorized Turbo-V 2000 ICE pump during the starting phase by manner. The material is 100% recyclable and complies controlling the voltage and current respect to the speed with EEC Directive 85/399. - Page 73 INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION NOTE The input signal P1 connector should be left in position WARNING! including the shipping links if no external connections are made. The forepump and Turbo-V pump can be The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power switched on at the same time.
- Page 74 ERROR MESSAGES MAINTENANCE For a certain type of failure, the controller will self- The Turbo-V 2000 ICE series controller does not diagnose the error and the messages described in the require any maintenance. Any work performed on the following table are displayed.
- Page 75 If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. Check the correct operation of the gas FLOW METER ALARM Alarm relating to the purge flow. The flow value remained at less than the set supply circuit.
-
Page 76: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION • TURBO-V 2000 ICE CONTROLLER 3 PCBs including: power supply analog and input/output section, microprocessor and digital DESCRIPTION section, display and keyboard circuits. The power The controller is available in two versions: supply converts single phase (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low •... -
Page 77: Controller Specifications
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100, 120, 220, 240 Vac, 1-phase Frequency 50 - 60 Hz Power 1900 VA maximum Output for pump: 120 Vac nominal ±10% Voltage 550 Hz ±2% Frequency Start up power 700 W maximum Maximum output power: Process gas Argon 300 W Process gas Air... -
Page 78: Controller Outline
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 2000 ICE controllers are shown in the following figures: Controller models 969-9448 and 969-9449 outline 87-900-929-01 (H) Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com... -
Page 79: Fuse Heater Jacket
TECHNICAL INFORMATION Connection J1 FUSE HEATER JACKET Logic Input/Output Interconnections The following figure shows the location of this assembly. FEMALE CO NNE C T O R SPEED MONITOR (0 TO 10V) POWER MONITOR (0 TO 10V) BRAKING (OPEN COLLECTOR) FAILURE (OPEN COLLECTOR) +24VDC OVERTEMP (OPEN COLLECTOR) +24VDC... - Page 80 TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION 6-18 START S2 signal 24 V, 60 mA, optically ∗ isolated output (pin 18 positive, pin 6 negative). The output Voltage will be present when the START push-button on front panel is pressed or the remote start is present. or the function has been requested by RS 232/422/485, until NORMAL operation is reached.
-
Page 81: Connection J2 - Semi Specifications Connector
TECHNICAL INFORMATION Connection J2 Connection J7 Semi Specifications Connector Accessories and Options Interconnections MALE CONNECTOR (ANELVA CONNECTOR) REMOTE/LOCAL (OPEN CO LLECTOR) FAILURE (OPEN COLLECTOR) BRAKING (OPEN COLLECTOR) NORMAL S1 (OPEN COLLECTOR) J7 connectors STARTING S1 (O PEN COLLECTO R) The 120 Vac, 1 A maximum (independent of line START S1 Voltage) output Voltage is present when the main power switch is set to 1 position and after START push-... -
Page 82: Connection J10 - Controller To Pump Connection
TECHNICAL INFORMATION Connection J10 Connection J12 Controller-to-Pump Connection Heater Jacket Connector A five-meter long cable is provided to connect the controller to the pump. The following figures show the controller output connector configuration where pins: • A-F = upper bearing sensor •... -
Page 83: Serial Communication Port J13
(pin 2) must be connected to the host computer's Receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port connections. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector. - Page 84 TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX> = 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232 and RS 422 only) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it Source : Inverter doesn’t implicate any answer)
- Page 85 TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 33 33 03 38 32 STX ADD WINDOW RD 000033 ETX CRC...
-
Page 86: Window-Based Protocol
TECHNICAL INFORMATION Window-Based Protocol The following table, valid for the RS 232, RS 422 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. R W T Description X X L START/STOP X X L SPEED SELECTION ACTIVE [0=HS / 1=LS] X X L SOFT START [0=NO / 1=YES] X X L PROCESS GAS [0=Argon / 1=Air] Default Argon X X N MODE (0, 1, 2) [FRONT, REMOTE, SERIAL]... -
Page 87: Use
C H E C K C O N N E C T I O N NOTE P U M P When the Turbo-V 2000 ICE pump is baked by a membrane pump, the Soft Start mode should be deselected. Startup NOTE •... -
Page 88: Front/Remote/Serial Selection
TECHNICAL INFORMATION • Press the PUMP CURRENT push-button and the L A S T A L A R M : X X X X X display shows (e.g.): T = X X X X X h C = X X X X X When there is only one temperature sensor Where: K R P M... - Page 89 TECHNICAL INFORMATION • The display shows: Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows: C O N F I G U R A T I P U R G E F L O W S E T : X X X S C C M S O F T W A R E V E R S I Q E X X X X X X X X X...
- Page 90 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows: display shows: L O W E R B E A R I P R O C E S S G A S S E N S O R : O F F X X X X X...
- Page 91 TECHNICAL INFORMATION • • Enter the selection by pressing PUMP Press PUMP CURRENT push-button and the display CURRENT push-button, and the display shows: shows: F R O N T R E M O T E S E R S E R I A D D R E S S S E L E C T I O N : X X X X X X...
- Page 92 TECHNICAL INFORMATION where: BAUD RATE XXXX = means 600, 1200, 2400, With the RS 232/422/485 connected, a bi-directional communication is established by selecting HOST. Data are 4800, 9600 baud rate for the host computer or printer sent to an external computer every time the external communication.
-
Page 93: Starting The Pump
TECHNICAL INFORMATION • Press PUMP CURRENT to confirm. and the display shows: NOTE With the FRONT panel operation selected, the P U M P X X X X X h REMOTE 232/422/485 operations R E S E T ? X X X inoperative;... -
Page 94: Monitor Relay Programming
TECHNICAL INFORMATION XX KRPM = indicates the actual theoretical rotational Monitor Relay Programming speed of the pump as a function of the controller output frequency (range 3 to 33 KRPM). • The display shows: HJ = displayed only when the heater jacket is T H R E S H O L D active. -
Page 95: Operating The Pump
TECHNICAL INFORMATION Operating the Pump If the Soft Start has been deselected the display shows: After the starting period, if the system has a vacuum leak P U M P R E A D Y U S E or the pressure in the pump chamber is high (from 1 mbar to atmosphere), the pump continues to operate indefinitely. -
Page 96: Maintenance
TECHNICAL INFORMATION MAINTENANCE 87-900-929-01 (H) Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com... - Page 97 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Page 98 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 99 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.