Varian Turbo-V 2K-G Instruction Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Varian Manuals
  4. Water Pump
  5. Turbo-V 2K-G
  6. Instruction manual

Varian Turbo-V 2K-G Instruction Manual

Pumping system
Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Download this manual
Turbo-V 2K-G
Pumping System
87-900-968-01(C)
MAY 2005
Models
969-8871
969-8873
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL

Advertisement

Table of Contents
loading

Related Manuals for Varian Turbo-V 2K-G

Summary of Contents for Varian Turbo-V 2K-G

  • Page 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo-V 2K-G MANUAL DE INSTRUCCIONES Pumping System MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING Models INSTRUKSTIONSBOG 969-8871 BRUKSANVISNING 969-8873 INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA...
  • Page 2 Turbo-V 2K-G...

  • Page 5: Table Of Contents

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G..................69 Pump Description ......................69 Controller Description ......................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................70 TURBO-V 2K-G OUTLINE......................73 INTERCONNECTIONS........................73 J1 – REMOTE I/O ......................73 J2 - Serial...........................76...

  • Page 6: Istruzioni Per L'uso

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci- fica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
  • Page 7 Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser- attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sotto- vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da porla ad urti o vibrazioni.
  • Page 8 Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos- sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il tipiche di ciascun gas. sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
  • Page 9 Turbo-V 2K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dall'a- PERICOLO! limentazione. Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automa- MANUTENZIONE ticamente. La Turbo-V 2K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.

  • Page 10: Gebrauchsanleitung

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü- gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge- wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
  • Page 11 Normen übernimmt die Firma Varian grund des hohen Gewichtes (35 kg), die drei um 120º versetz- keinerlei Haftung. ten Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange- Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer schraubt sind. Turbomolekularpumpe für Hoch- Höchstvakuum-...
  • Page 12 Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh- toren zu verwenden. rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind. Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange- schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist .
  • Page 13 Gerät an das Netz anschließen. Stillsetzung der Turbo-V 2K-G Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglich- gibt es die folgenden Möglichkeiten: keiten: Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen.

  • Page 14: Mode D'emploi

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
  • Page 15 Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- décline par conséquent toute responsabilité en cas de non ticulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
  • Page 16 élevée peut être à l'origine de lésions graves. tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne- ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. ATTENTION! schéma dans "Technical Information").
  • Page 17 Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui NOTE permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G système endommagé. le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout ris-...

  • Page 18: Instrucciones De Uso

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combi- nación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
  • Page 19 Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no vibraciones.
  • Page 20 Perno con rosca M10 22 Nm  ¡PELIGRO! NOTA La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, efecto, el sistema puede fijarse únicamente mediante su brida inflamables radioactivos,...
  • Page 21 0,1 mbar la presión en el interior de la cámara de vacío; La detención de la bomba podrá efectuarse aplicando una de dar la señal de START a la Turbo-V 2K-G mediante una las siguientes modalidades: de las siguientes formas:...

  • Page 22: Instruções Para O Uso

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específi- ca de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o e- stator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
  • Page 23 Devido ao seu peso (35 kg), para retirar a bomba da específicas. embalagem é necessário utilizar as três cavilhas fixadas a 120° O Turbo-V 2K-G é um sistema integrado, constituído por uma ao corpo da bomba. bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto Não depositar a embalagem no meio ambiente.
  • Page 24 M10.  PERIGO! NOTA Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, A Turbo-V 2K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O inflamáveis radioactivos, seguir procedimentos sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange adequados típicos para cada gás.
  • Page 25 Como parar a Turbo-V 2K-G atingir 0,1 mbars. Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes fornecer à Turbo-V 2K-G o sinal de START num dos métodos: seguintes modos: retirando o conector conjugado de I/O fornecido de série.

  • Page 26: Gebruiksaanwijzingen

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
  • Page 27 Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Page 28 De Turbo-V 2K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. ders beschadigd raken. Bevestig de Turbo-V 2K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas koppel van 10600 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
  • Page 29 Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden van de volgende manieren:...

  • Page 30: Brugsanvisning

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Page 31 Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke skader, der kan være opstået under transporten. ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt ved udpakningen.
  • Page 32 VIGTIGT! til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 2K-G, har en Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl blevet sluttet til systemet.
  • Page 33 "Technical "RS232/485 Communication Description" i bilaget Information"). "Technical Information"). Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 2K-G i nødsituationer sker ved at koble  ADVARSEL! ledningen fra styreenheden. Turbo-V 2K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og VEDLIGEHOLDELSE indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt.

  • Page 34: Bruksanvisning

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
  • Page 35 Varian före användning av utrustningen. tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av...
  • Page 36 Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). VIKTIGT! Turbo-V 2K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast Undvik sammanstötningar, svängningar...
  • Page 37 BRUKSANVISNING Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Användning av Turbo-V 2K-G Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 2K-G Hur du startar systemet anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: Kontrollera innan du startar systemet att I/O-kontakten har •...

  • Page 38: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Page 39 Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Page 40 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til koplet til Turbo-V 2K-G har en egnet isolering, også under systemet. forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
  • Page 41 Hvordan stoppe Turbo-V 2K-G Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar. Stopp pumpen på en av følgende måter: Gi et startsignal til Turbo-V 2K-G på en av følgende måter: Kople fra I/O kontakten som følger med. Kople til I/O kontakten som følger med.

  • Page 42: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-968-01(C)
  • Page 43 Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä,...
  • Page 44 Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan -liitteestä. aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Turbo-V 2K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole -liitteen kaaviota). pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen Turbo-V 2K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
  • Page 45 KÄYTTÖOHJEET Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan Turbo-V 2K-G -pumpun käyttö tilasignaalilla. Järjestelmän käynnistys Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 2K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän Tarkista ennen järjestelmän käynnistystä, että I/O-liitin on toimintaolosuhteet: poistettu. Jos järjestelmä on kytketty I/O-etälaitteeseen, varmista että...

  • Page 46: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Page 47 Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 2K-G aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.
  • Page 48 KINDUNOS! SHMEIWSH Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, Η Turbo-V 2K-G δεν µπορεί να στερεωθεί µέσω της βάσης της. Το eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. σύστηµα µπορεί να στερεωθεί µόνο µέσω της φλάντζας του ISO 250F.
  • Page 49 SHMEIWSH antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C. Όταν τίθεται σε κίνηση η Turbo-V 2K-G για πρώτη φορά, ο controller εκκινεί αυτοµάτως το σύστηµα µε µια ειδική διαδικασία που Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ...

  • Page 50: Használati Utasítás

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Page 51 A Turbo-V 2K-G-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely forduljon a helyi szolgáltatási irodához. információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,...
  • Page 52 Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Varian műszaki támogatáshoz. MEGJEGYZÉS A Turbo-V 2K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F karimával rögzíthető. A rögzítést az ISO 1609 norma szerint kell végezni. Legalább 500 N/mm teherbírási osztályú...
  • Page 53 MEGJEGYZÉS leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik. Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 2K-G-t, a vezérlő egység automatikusan elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian START).

  • Page 54: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Page 55 Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 2K-G ani niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
  • Page 56 W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być uszkodzenia ciała na osobach. odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz UWAGA ! dodatek “Informacje Techniczne” Turbo-V 2K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz Unikać uderzeń, wahań gwałtownych przesunięć...
  • Page 57 Jak zatrzymać Turbo-V 2K-G wartość 0,1 mbar Aby zatrzymać pompę można zastosować jeden z niniejszych dostraczyć do Turbo-V 2K-G sygnał STARTU w jeden z sposobów: następujących sposobów: podłączyć konektor I/O na wyposażeniu wyjmując konektor I/O na wyposażeniu przesyłając sygnał...

  • Page 58: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
  • Page 59 PŘÍPRAVA K INSTALACI Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před Zařízení Turbo-V 2K-G se dodává ve speciálním ochranném použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž...
  • Page 60 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ INSTALACE VAROVÁNÍ Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 2K-G do  druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte VÝSTRAHA! do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat Vývěva Turbo-V 2K-G je vybavena vstupními a výstupními...
  • Page 61 "Technické informace"). 485" v příloze "Technické informace"). Nouzové zastavení  Chcete-li vývěvu Turbo-V 2K-G v nouzové situaci okamžitě VÝSTRAHA! zastavit, je třeba přerušit síťové napájení. Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15- kolíkový konektor dodaný výrobcem, vývěva Turbo-V 2K-G se ÚDRŽBA...

  • Page 62: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
  • Page 63 VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Turbo-V 2K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian.
  • Page 64 Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy konektorov. UPOZORNENIE Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 2K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte smernice EN 61010-1. turbovývevu k systému.
  • Page 65 (interval asi 200 ms): chybový stav vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar Ako zariadenie zastaviť Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 2K-G jedným z Vývevu môžete zastaviť jedným z nasledujúcich spôsobov: nasledovných spôsobov. odpojením dodaného I/O konektora opačného pohlavia pripojením dodaného protikusu I/O konektora...

  • Page 66: Navodila Za Uporabo

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Page 67 SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo Naprava Turbo-V 2K-G je dobavljena v posebni zaščitni emba- mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne laži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno proda- informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren jno pisarno.
  • Page 68 NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA POZOR Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 2K-G v skupino za  drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na OPOZORILO napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Zaradi teže je treba za rokovanje s črpalko uporabiti primerne Naprava Turbo-V 2K-G ima vhodne/izhodne in serijske pri- naprave za premikanje.
  • Page 69 "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi komunikacij" v prilogi "Tehničnih informacij"). "Tehničnih informacij"). Zaustavitev v sili  Za zaustavitev naprave Turbo-V 2K-G v sili morate odstraniti OPOZORILO napetost. Ko je dovedena napetost in je vstavljen tovarniško privzeti 15 pin se Turbo-V 2K-G samodejno zažene.

  • Page 70: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
  • Page 71 PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user The Turbo-V 2K-G is supplied in a special protective packing. If should read this instruction manual and any other additional this shows signs of damage which may have occurred during information supplied by Varian before operating the equipment.
  • Page 72 Use the provided mating connectors in order to maintain the IP- 54 protection level. Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo-V 2K-G is adequate even in the case of single fault as CAUTION per directive EN 61010-1.
  • Page 73 11. pump the vacuum chamber down to 0.1 mbar How to stop the system 12. give the Turbo-V 2K-G a start signal by one of the follow- To stop the pump you can use one of the following methods: ing methods:...

  • Page 74: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G Pump Description The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a The pump consists of a high frequency motor driv- pump with a dedicated controller fixed to it. The ing a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 system has an ISO 250 F high vacuum flange.

  • Page 75: Controller Description

    TECHNICAL INFORMATION where: • Tb = upper bearing temperature • Tbody = measured water cooling related tem- perature • Tbody,lim = body temperature corresponding to Twater,max, according to Figure 2 • WIN.118 = set the body temperature control Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro- computer.
  • Page 76 NOTE Max input power: 850 VA Stand-by power: 30 to 35 W When the Turbo-V 2K-G has been stored at a tem- Max operating perature less than 5°C, wait until the system has power: 400 W for Nitrogen and lighter...
  • Page 77 TECHNICAL INFORMATION Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m /h primary pump. Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m /h primary pump. 87-900-968-01(C)

  • Page 78: Turbo-V 2K-G Outline

    TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 2K-G OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). INTERCONNECTIONS PIN N. SIGNAL NAME INPUT/ ISOLATION The following paragraphs describe the Turbo-V OUTPUT 2K-G interconnections. START/STOP (+) Optocoupled J1 – REMOTE I/O...
  • Page 79 TECHNICAL INFORMATION The “Low Speed” function can also be activated by Signals description serial line with win.001, and the low speed value can be adjusted via serial command win.117. START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the Both low speed value (win.117) and high-speed START/STOP (+) signal is connected to the +24 value (win.120) are limited between 475Hz (can’t...
  • Page 80 TECHNICAL INFORMATION FAULT: this relay output signal is closed when any Electrical connections examples: system fault condition is detected. To detect the type of failure the serial protocol is needed (see • Start-Stop or Interlock the para. "RS232-485 Comunication Description"). SET POINT: this relay output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, cur- rent or time) is higher than the set threshold.

  • Page 81: J2 - Serial

    RESERVED A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). SERIAL CABLE INSTALLATION In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Varian. 87-900-968-01(C)

  • Page 82: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    TECHNICAL INFORMATION − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are The field length is variable according to the available on the connector P2.
  • Page 83 TECHNICAL INFORMATION The controller can answers with the following re- Command: STOP Source: PC sponse types: Destination: Controller TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION After a read instruction Logic 1 byte of a logic window STX ADDR WINDOW OFF ETX After a read instruction Numeric 6 bytes of a numeric window...

  • Page 84: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Command: READ PUMP STATUS Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller (with address = 3) Set Point (default = 500) threshold (expressed in Hz, mA or s) STX ADDR WINDOW Set Point 0 to 99999 mask: time (default = 0) between the...
  • Page 85 Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Reserved to Varian service Pump tem- 0 to 70 perature in °C Valves oper- 0 = auto (default) ating mode 1 = on command Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 (see win.146)

  • Page 86: Monitorr

    In order to install and operate the MoniTorr card of At pump’s power-on, the POWER LED comes on the Turbo-V 2K-G it’s necessary to get the Monitor and the system proceeds with its self-configuration Connectivity Kit (P/N 969-9260). The user should routine.

  • Page 87: Monitorr Connectivity Kit Installation Procedure

    TECHNICAL INFORMATION MoniTorr Connectivity Kit Installation Proce- dure Install the File VT Serial Address Configurator on PC (launch VT-SAC\setup.exe on CD Rom) Connect the RS232 cable between the PC serial port and the first TV 2KG serial port 10. Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 (switch between 9 position and F position) 3.

  • Page 88: Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION In the two cases the following screen will be dis- Interconnections played on the personal computer: The following figure shows the Monitorr’s intercon- nections. Network Connector (RS 485) Close all the applications and then select OK. The following screen will now be displayed on the per- Network connector (RS-485) sonal computer monitor: In order to have the IP-54 environment protection...

  • Page 89: Operating Procedure

    If a change is required, click the right It is suggested that you maintain the proposed mouse button with the cursor on the Varian logo program group so as to facilitate the identification on the right-hand side of the windows bar.

  • Page 90: Archive Saving Method Procedure

    The option works as a bi-directional bridge be- • Alarm time: Defines the timeout after which an tween the ProfiBus network and the Varian turbo alarm condition is signalled. controller internal link. The interface provides input data (measures) and output data (commands) to...

  • Page 91: Configuration

    TECHNICAL INFORMATION Each device has its own state machine to manage Configuration the device operation. Before power-on the controller set the Profibus address by the 2 rotary switches. Up to 126 different addresses (from 0 to 125) can be selected. The address value sets by the 2 switches is expressed in hexadecimal notation, so value from 00 to 7D are permitted;...
  • Page 92 TECHNICAL INFORMATION The two machines continuously share I/O data slave configuration and reads back the entire slave with the relative bus, and interact each other only status. in following conditions: For this purpose one Input (from slave to master) • and one Output (from master to slave) buffers are ProfiBus Data Exchange is suspended (static provided.
  • Page 93 B7 - Reserved - B0.. B1 - Reserved - B2.. B3 - Start/Stop/Interlock Mode Change the logic of Start/stop and Interlock inputs. Ask to Varian personnel for this option B4.. B5 - Set Point Type 0 = frequency 1 = current...
  • Page 94 TECHNICAL INFORMATION OUTPUT BUFFER (5 BYTES) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B7 – Start/Stop 0 = Stop 1 = Start B6 – Low Speed 0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed” (Out. Buff. byte-1)) 1 = on (set the “target speed”...
  • Page 95 TECHNICAL INFORMATION INPUT BUFFER (15 WORDS) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL 0-10000 Current Motor current consumption 0-500 Power Motor power absorption 0-400 Power Limit Applied Maximum allowable power 0-555 Driving Frequency Read the rotational speed of the pump 0-555 Target Frequency Read the target rotational speed...
  • Page 96 TECHNICAL INFORMATION OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B4 – Verify Line Select (the auto voltage selection mismatch the real input voltage) B3 – Power Fail (internal circuitry failure) B2 – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Tem- perature"...

  • Page 97: Diagnostic Management

    TECHNICAL INFORMATION Diagnostic management Diagnostic buffer In addition to the ProfiBus six byte standard diag- nostic, the interface provides both user diagnostic MEANING and static diagnostics functions station non exist (set by master) station not ready (slave not ready for The standard diagnostic management is fully com- data exchange) pliant with the ProfiBus specification.

  • Page 98: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION MEANING Vent/Purge Auto/Man diag status 7 - 4 Vent/Purge Remote/Profibus diag status 3 - 0 Interlock Mode diag status 7 - 4 Set Point Logic diag status 3 - 0 Heater Jacket Mode diag status 7 - 4 Load Gas Type diag status 3 - 0 Purge Gas Type diag status...

  • Page 99: Pump Purging And Venting

    Turbo-V vent valve opened, to PUMP PURGING AND VENTING avoid system overpressures. If the vent valve The Turbo-V 2K-G pump is equipped with an inte- can’t be kept opened, the backing pump grated purging and venting valve device. Both should be left operating.

  • Page 100: High Vacuum Flange Connection

    HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS To connect the Turbo-V 2K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of centering ring as shown in the figure.
  • Page 101 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Page 102 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Page 103 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.

This manual is also suitable for:

969-8871969-8873

Table of Contents