Varian Turbo-V 2000 ICE Instruction Manual page 11

MESSAGGIO
CHECK CONNECTION TO
PUMP
PUMP WAITlNG INTERLOCK È attivo il segnale di interlock presente
FAULT: PUMP OVERTEMP.
FAULT: CONTROLLER
OVERTEMPERATURE
FAULT: TOO HIGH LOAD
FAULT: SHORT CIRCUIT
OVERVOLTAGE
FLOW METER ALARM
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DESCRIZIONE
Malfunzionamento nel collegamento tra
pompa e controller
sul connettore P1
dell'interruzione del corto circuito tra il
pin 3 ed il pin 16 del connettore J1, o a
causa dell'apertura del segnale di
interlock esterno.
La temperatura del
superiore della pompa ha superato
i 60 °C.
La temperatura del cuscinetto inferiore
della pompa ha superato gli 80 °C
La temperatura del trasformatore del
controller ha superato i 90 °C.
Durante il funzionamento normale la
corrente assorbita dalla
maggiore di quella programmata (8 A).
Durante il funzionamento
(dopo la fase di avvio) la connessione
di uscita è in corto circuito (corrente di
uscita maggiore di 16 A).
Si è verificato un guasto nella sezione
di alimentazione del controller, o il
controller ha ricevuto
spurio.
Allarme relativo al flusso di purge. Il
valore del flusso è rimasto ad un valore
inferiore alla soglia impostata, per un
tempo maggiore o uguale a 10 secondi.
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AZIONE CORRETTIVA
Verificare che il cavo di collegamento tra
pompa e controller sia ben fissato da
entrambe le estremità e non sia interrotto.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
Ripristinare il corto circuito tra il pin 3 ed il
a causa pin 8 del connettore J1, o chiudere il
segnale di interlock esterno
cuscinetto Attendere che la temperatura ritorni al di
sotto della soglia.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
Attendere che la temperatura ritorni al di
sotto della soglia.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
Verificare che il rotore della pompa abbia la
pompa è possibilità di ruotare liberamente. Premere
due volte il pulsante START per riavviare la
pompa.
normale Verificare i collegamenti tra pompa e
controller. Premere due volte il pulsante
START per riavviare la pompa.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
un segnale Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla
Varian per la manutenzione.
Controllare il corretto funzionamento del
circuito di alimentazione del gas.
ISTRUZIONI PER L'USO
87-900-929-01 (H)