Varian 929-7015M002 Instruction Manual
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Varian 929-7015M002 Instruction Manual

E-net dual controller
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E-Net Dual
Controller
929-7015M002
CN929-7015M002
JUNE 2007
Model
vacuum technologies
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(GB) INSTRUCTION MANUAL

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  • Page 1 E-Net Dual BEDIENUNGSHANDBUCH Controller (GB) INSTRUCTION MANUAL Model 929-7015M002 CN929-7015M002 JUNE 2007...
  • Page 2 E-Net Dual Controller...

  • Page 5: Table Of Contents

    GEBRAUCHSANLEITUNG …..............…………..….. ISTRUCTIONS FOR USE ................………….. TECHNISCHE ANGABEN …................…………... 15 BESCHREIBUNG E-NET DUAL CONTROLLER................15 Algorithmus zur Verteilung der verfügbaren Leistung ............15 CONTROLLER-MERKMALE......................16 Ausgangsspannungen......................17 CONTROLLER-ÜBERSICHT ......................18 SICHERUNGSGEHÄUSE ........................ 19 VERBUNDLEITUNGEN........................19 BETRIEBSEINSCHALTMODUS ...................... 19 Betriebsschutzmodus ......................19 Betriebverlaufmodus.......................
  • Page 6 ETHERNET-SCHNITTSTELLE ......................45 Übersicht ..........................45 IP-Addressenkonfiguration ..................... 45 RS232 Parameterkonfiguration ....................51 ZUBEHÖRTEILE/OPTIONEN ......................54 TECHNICAL INFORMATION ...............…………... 55 E-NET DUAL CONTROLLER DESCRIPTION ................. 55 Algorithm for the Distribution of the Available Power ............. 55 CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................55 Output Voltages........................
  • Page 7 LIST OF COMMANDS........................76 General Commands ....................... 76 Command Code Value ......................77 HV on/off Command Coding....................77 Device Number and Device Type Commands Coding............78 Interlock Status Coding ......................78 High Voltage Commands......................79 Remote I/O Commands Coding ..................... 80 Configuration Commands.......................

  • Page 8: Gebrauchsanleitung

    GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES BESCHREIBUNG DES CONTROLLERS Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Der Dual-Controller der Firma Varian ist ein Gerät zur Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie Steuerung von flexiblen Ionenpumpen, das nach den alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen spezifischen...
  • Page 9 GEBRAUCHSANLEITUNG LAGERUNG INSTALLATION Bei Transport und Lagerung der Controller müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: GEFAHR! • Temperatur: -20 °C bis +70 °C • Der Dual-Controller wird mit einem Netzkabel mit 3 Rel. Luftfeuchtigkeit: 0-95 % Leitern und mit einem den internationalen Normen (nicht kondensierend)) entsprechenden Netzstecker geliefert.
  • Page 10 GEBRAUCHSANLEITUNG Für den Anschluß des Controllers an die Pumpe muß Detailliertere Hinweise zu weiteren Anschlußarten das optional gelieferte Kabel benutzt werden. sowie zum Einsatz von Zusatzkarten finden Sie im Anhang "Technical Information". KABEL PUMPE LEITUNG PUMPEN-ERDE Erdung Schalter und Anzeigen auf der vorderen ANMERKUNG Schalttafel Die Verriegelung des Kabels wird auf der Masse der...
  • Page 11 GEBRAUCHSANLEITUNG BEDIENUNG Schalter HV ENABLE ist unabhängig von der gewählten Betriebsart aktiv. Um die HV von der vorderen Schalltafel, den Fern-E/As oder über die serielle Verbindung aus Betriebsarten einzuschalten, muss dieser Schalter auf EIN stehen. Der Dual-Controller kann in den folgenden Modi Tasten HV1 ein/aus und HV2 ein/aus benutzt zum Ein- arbeiten: /Ausschalten der Operation der Hochspannungskreise.
  • Page 12 Fachpersonal ausgeführt werden. Bei Störungen kann können. Im Stufenbetrieb wählt der Dual-Controller die der Varian-Reparaturdienst in Anspruch genommen beste Ausgangsspannung entsprechend dem Pumpen- werden oder schließen Sie einen Vertrag für “Varian eingangsdruck (siehe die folgende Abbildung). Advanced Exchange Service” ab, mit dem ein defekter Controller...
  • Page 13 HV(X) ERROR Der Hochspannungskreis kann nicht gefunden Die Einschaltprozedur für Dual-Controller- HV NOT FOUND werden. Hochspannung wiederholen. Bleibt der Fehler bestehen, Varian zwecks Reparatur oder Austausch kontaktieren. HV(X) ERROR Hochspannung wegen Fehler im Varian zwecks Reparatur oder Austausch HV FAULT Hochspannungskreis abgeschaltet.
  • Page 14 Varian zwecks Reparatur oder Strom fehlen. Austausch kontaktieren. SYSTEMFEHLER SYSTEM ERROR Nur für Diagnosen durch den Varian Service. Den Hauptschalter des Dual-Controllers aus – und ER 1 ÷ 10 wieder einschalten. Bleibt der Fehler bestehen, Varian zwecks Reparatur oder Austausch kontaktieren. 7/94...

  • Page 15: Istructions For Use

    GENERAL INFORMATION CONTROLLER DESCRIPTION This equipment is intended for professional use. Prior to Varian’s E-Net Dual Controller is a flexible ion pump using this equipment the user must carefully read this controller, which is pre-configured at the factory Instruction Manual in its entirety and any additional according to the customer’s requirements.
  • Page 16 INSTRUCTIONS FOR USE STORAGE INSTALLATION The following environmental conditions must be met when transporting and storing the controller: DANGER! • Temperature: -20 °C to +70 °C • The E-Net Dual Controller is equipped with a three-wire Relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) power cord with an internationally approved plug.
  • Page 17 INSTRUCTIONS FOR USE To attach the controller to the pump use the specific Refer to the appendix entitled “Technical Information” cable supplied as option. for detailed information on these and other connections. Ground Connections Controls and Indicators on the E-Net Dual NOTE Controller Front Panel The cable interlock closes on pump ground.
  • Page 18 INSTRUCTIONS FOR USE OPERATING PROCEDURES HV ENABLE switch, active regardless of the operating mode selected. To power on the HV from the front control panel, from Remote I/O or from the serial line, the HV Operating Modes ENABLE switch must be set to the ON position. The E-Net Dual Controller can work in the following on/off on/off...
  • Page 19 Any form of servicing on the unit must be pressure without influence of leakage current. performed by authorized personnel. If servicing is needed, contact Varian Technical Support In Step mode the E-Net Dual Controller chooses the or subscribe to the “Varian Advanced Exchange best output voltage according to the pressure into the Service”...
  • Page 20 HV(X) ERROR HV circuit has not been detected. Repeat the Dual power on procedure; if the HV NOT FOUND problem persists, contact Varian for repair or exchange. HV(X) ERROR HV powered off caused by an HV circuit failure. Contact Varian for repair or exchange.
  • Page 21 SYSTEM ERRORS SYSTEM ERROR For Varian Service diagnostic purpose only. Switch OFF and ON again the power to the DUAL system, if ER 1 ÷ 10 the problem persists, contact Varian for repair or exchange 14/94 CN929-7015M002...

  • Page 22: Technische Angaben

    TECHNISCHE ANGABEN Die Einheit ist auf pumpenvoreingestellte Einstellungen BESCHREIBUNG E-NET DUAL CONTROLLER programmiert und der Bediener kann die Spannung, Der E-Net Dual Controller Base steht in mehreren Kurzschluss, Stromhöchstwert, Versionen zu Verfügung, die sich in ihrer werkseitig Stromkurven-Druckrichtung für eine zusätzliche eingestellten Eingangsspannung und der inneren Pumpe, die nicht in den vorbestimmten Pumpenarten...

  • Page 23: Controller-Merkmale

    TECHNISCHE ANGABEN CONTROLLER-MERKMALE Eingang: Spannung 100 bis 120 Vac / 200 bis 240 Vac Frequenz 50 – 60 Hz Leistung 600 VA max. Ausgang für Pumpe: Spannung ± 7,000 Vdc +2 –10% max. per Software programmierbar zwischen 3,000 V und 7,000 V zu 100V-Schritten Kurzschluss 400 mA...

  • Page 24: Ausgangsspannungen

    TECHNISCHE ANGABEN Ausgangsspannungen Vorgesehen unten die Ausgangsspannungsschaltpläne. Recorder Ausgangsspannung Ausgangsspannung gegenüber Stromkurve Recorder Ausgangsdruck 17/94 CN929-7015M002...

  • Page 25: Controller-Übersicht

    TECHNISCHE ANGABEN CONTROLLER-ÜBERSICHT Die Abmessungen für die E-Net Dual Controller erscheinen auf folgenden Abbildungen: VORDERANSICHT RÜCKANSICHT Abmessungen Controller-Modell 18/94 CN929-7015M002...

  • Page 26: Sicherungsgehäuse

    TECHNISCHE ANGABEN SICHERUNGSGEHÄUSE BETRIEBSEINSCHALTMODUS Die folgende Abbildung zeigt die Anordnung von dieser Pumpen Max. Kurzschluss Max. Schaltung. größe/typ Spannung Leistung und Polung SICHERUNGSGEHÄUSE Modelle mit negativer H.V.-Karte  -7000V 400 mA 400 W 500 StarCell 300 StarCell -7000V 400 mA 400 W 150 StarCell -7000V...

  • Page 27: Betriebverlaufmodus

    TECHNISCHE ANGABEN Betriebverlaufmodus Wenn der Strom den Wert aus der Tabelle erreicht, ändert der Controller den Spannungsausgang. Pumpen Stromwert zum Stromwert zum größe/typ Umschalten von Umschalten 7.0 auf 5 KV von 5 auf 3 KV Modelle mit negativer H.V.-Karte 500 StarCell 9.0 x 10 2.5 x 10 300 StarCell...

  • Page 28: Fernanschluss E/A Ausgangssignal

    TECHNISCHE ANGABEN Fernanschluss E/A Ausgangssignal Stift Signal Max. Werte Beschreibung 10 N.O High Voltage on Relaiskontakt: 0.5A bei 250VAC, 0.2A bei HV On: geschlossen 29 normale Digital output 150VDC, 0.5A bei 30VDC HV Off: offen 9 N.O Set point 2 Relaiskontakt: 0.5A bei 250VAC, 0.2A bei P<Pthreshold Einstellung 2: 28 normale...

  • Page 29: Fernanschluss E/A Verbindereingangssignal

    TECHNISCHE ANGABEN Fernanschluss E/A Verbindereingangssignal Stift Signal Max. Werte Beschreibung 11 positive External interlock 8 bis 30 VDC/VAC 15 mA max Anschluss geschlossen: Der HV- 30 negative Digital input Ausgang des zugehörigen HV-Kanals ist freigegeben. Anschluss offen: Der HV-Ausgang des zugehörigen HV-Kanals ist nicht freigegeben.

  • Page 30: Fernleistung Ein

    TECHNISCHE ANGABEN Typischer Eingangsanschluss Fernleistung Ein 5) Den Anschlusskontakt jeweiligen Wie folgt vorgehen bis HV vom Fernanschluss E/A Fernanschluss E/A (Stifte 11 – 30) verriegeln. eingeschaltet wird.: 6) Den Ausgangkontakt On/Off auf dem jeweiligen Fernanschluss E/A (Stifte 13-32) verriegeln. DUAL einschalten. 7) Den jeweiligen Bestätigungskontakt...
  • Page 31 TECHNISCHE ANGABEN Unten vorgesehen ist H.V. Einschalt-Zeitfolge Zeitfolge MERKE Wenn S1 und S2 beide geschlossen sind, schaltet ein Übergang (von offen auf geschlossen) von S3 den H.V. nicht ein. 24/94 CN929-7015M002...

  • Page 32: Seriensteckverbinder Als Extra

    TECHNISCHE ANGABEN Seriensteckverbinder als Extra Abkürzungen Beim E-Net Dual Controller kommt eine RS 232/422/ Dieser Bereich sieht Meldungen vor, die auf dem 485 Serienschnittstelle zum Einsatz. Die folgenden Display erscheinen. Tabelle sehen diesen des Steckverbinder-Ausgangs in • Messeinheiten den verschiedenen Konfigurationen vor. Torr Druck Stift...

  • Page 33: Betriebsmodi

    TECHNISCHE ANGABEN Um die Hochspannung einzuschalten, müssen erst BETRIEBSMODI sämtliche Anschlüsse (Kabel, Fernschaltung Verbinder und vordere Schalttafel) geschlossen werden; Meldungen, die zu den Modustasten gehören dann die Konfig.bearb. und die Hochspannungstasten Die MODUS-Taste wird benutzt bis sich der On/Off zusammen betätigen. Strombetriebsmodus E-Net Dual-Controllers...

  • Page 34: Einheit Konfigurieren

    TECHNISCHE ANGABEN Dieselbe Anagabe kann auf folgendem Flussdiagramm erscheinen: Zum Ein-/auszuschalten des Arbeitsmodus PROTECT EINHEIT KONFIGURIEREN müssen die Tasten CHANGE CONFIG und START/PROT Hilfe Menütaste kommt gemeinsam gedrückt werden; wenn dieser Modus Konfigurationsmenü. eingeschaltet ist, leuchtet die jeweilige LED-Anzeige auf der vorderen Schalttafel auf.
  • Page 35 TECHNISCHE ANGABEN Kanal anwählen (Channel Selection) E L E C T C H A N N E L I G H V O L T A G E Die Taste BEARBEITEN drücken, bis die verfügbaren Anwahlmöglichkeiten in der zweiten Reihe erscheinen: •...
  • Page 36 TECHNISCHE ANGABEN Pumpentyp anwählen (Pump Type Selection) Die Taste BEARBEITEN verwenden, bis die Pumpe Nun erscheint folgende Meldung. angewählt wurde, dann durch Betätigen der ENTER- Taste die Anwahl bestätigen. H V 1 P U M P S E L E C T Bei der Anwahl von Pumpenaustausch können die Arbeitsgänge ausgeführt...
  • Page 37 TECHNISCHE ANGABEN Bei Anwahl einer Standardpumpe können die Parameter abgelesen werden Arbeitsgänge wie unten auf dem Flussdiagramm angegeben ausgeführt werden: 30/94 CN929-7015M002...
  • Page 38 TECHNISCHE ANGABEN Dieselben Sequenzen sind aus folgenden Seiten Step/Fixed Operating mode ersichtlich: (kann bei jeder Pumpenart geändert werden) Vmax H V 1 O p e M o d e X E D H V 1 V m a x + 7 0 Oder Imax H V 1...

  • Page 39: Meldungen, Die Zu Den Tastenmenü Des Serienkanals Gehören

    TECHNISCHE ANGABEN Set-point 1 oder Set-point 2 wählen SERIENSCHNITTSTELLE (gilt für all Pumpen) Allegemeines Nachdem der Verbinder und die Anschlussstellen mit H V 1 T o r ihren verschiedenen Konfigurationen beschrieben wurden, werden in diesem Abschnitt Informationen zu → 1 E X P der Serienschnittstelle des E-Net Dual Controller gegeben.

  • Page 40: Datenaustausch-Fehlerverwaltung

    TECHNISCHE ANGABEN Max. Zeitverzug zwischen aufeinander folgenden Bytes desselben 2 byte time Treset Datenpakets. Der Controller kann den Empfang wieder neu hochfahren, wenn die Zeitspanne vergeht, ohne dass es zu einem Datenaustausch gekommen ist . Tmin Mindestzeit, die vergehen muss bis eine Antwort begonnen werden 4 msec kann.

  • Page 41: Software-Protokoll

    TECHNISCHE ANGABEN Die Befehle haben ein Lese- und ein Schreibmodus. SOFTWARE-PROTOKOLL Durch Angabe auszuführenden Das Protokoll hat äquivalente Datenfelder, die mit Lesevorgangs befragt Host den E-Net Dual-Controller, folgenden Formaten übereinstimmen: der wiederum in einem Format antwortet, das zu dem gesendeten Befehl passt. Solange der Schreibvorgang ausgeführt werden kann sind die Schreib- und Anzahl Beschreibung...

  • Page 42: Binärpotokoll

    TECHNISCHE ANGABEN Binärpotokoll Host von E-Net Dual-Controller Befehlformat: [Kopfzeile Befehl] [Länge] [Befehl] [Kanal] [Daten] [Prüfergebnis] E-Net Dual-Controller zu Hostantwortformat: [Kopfzeile Antwort] [Länge] [Befehl] [Kanal] [Daten] [Prüfergebnis] Wert Kanal Wert Beschreibung Kopfzeile Befehl Kopfzeile für Serienanschluss RS232, RS422 81h÷A0h Kopfzeile und Adresse für Serienanschluss RS485 (129 - 160) Kopfzeile Antwort Kopfzeile für Serienanschluss RS232, RS422...

  • Page 43: Befehlliste

    TECHNISCHE ANGABEN BEFEHLLISTE Die Befehle, die erweitert wurden, werden in der folgenden Tabelle beschrieben: Allgemeine Befehle Befehl Beschreibung Modus Kanäle Format ´Mögliche Werte Local/remote Lokal oder Serien Lesen/Schreiben Kein Kanal Status 30h Lokal betriebsmodus 31h Fern E/A 32h Serie HV on/off Ein/aus Lesen/Schreiben HV1, HV2...

  • Page 44: Befehlnummernwert

    TECHNISCHE ANGABEN Befehlnummernwert Befehlname Binär Allgemeiner Befehlgebrauch ascii local/remote 5Ah30h HV on/off 41h30h Unit of measure 44h30h µc firmware version 45h30h Dsp firmware version 66h30h device number 46h30h device type 46h30h V meas 53h30h I meas 54h30h Pr meas 55h30h Vacuum Pump Controller error status 7Ah30h Serial reset...

  • Page 45: Einheitsnummer Und Einheitstyp Befehlnummern

    TECHNISCHE ANGABEN Einheitsnummer und Einheitstyp Befehlnummern Kanal Einheitsnummer Einheitstyp HV1, HV2 Ersatzteil HV1, HV2 500 SC/Tr HV1, HV2 300 SC/Tr HV1, HV2 150 SC/Tr HV1, HV2 75-55-40SC/T HV1, HV2 20 SC/Tr HV1, HV2 500 Diode/ND HV1, HV2 300 Diode/ND HV1, HV2 150 Diode/ND HV1, HV2 75-55-40 D/ND...

  • Page 46: Hochspannungbefehle

    TECHNISCHE ANGABEN Der folgende Beispielbefehl wird zum Stromablesen des Kanals 1 oder 2 verwendet. Binärpotokoll: ü 04 T02 ? 1 | 81h 30h 34h 54h 30h 32h 3Fh 6Ch • 10 T02 8.9E – 04 1h 31h 30h 54h 30h 32h 38h 2Eh 39h 45h 2Dh 30h 34h 15h Hochspannungbefehle Befehl...

  • Page 47: Fern E/A Befehlnummern

    TECHNISCHE ANGABEN Hochspannungbefehle Befehlname Binär Allgemeiner Befehlgebrauch ascii fixed/step 42h30h start/protect 43h30h Psel 47h30h Vmax 48h30h Imax 49h30h Pmax 4Ah30h Iprotect 4Bh30h Vstep1 4Ch30h Istep1 4Dh30h Vstep2 4Eh30h Istep2 4Fh30h SetPt1 50h30h SetPt2 51h30h Remote I/O Output 67h30h Remote I/O Input 68h30h Fern E/A Befehlnummern Bitfeld...

  • Page 48: Konfigurationsbefehle

    TECHNISCHE ANGABEN Konfigurationsbefehle Folgende Befehle werden nur im Konfigurationsmodus freigeben. Zu diesem Modus bekommt man über den Befehl Serieneigenschaften Zugriff, indem man dabei die Konfiguration freigibt; zum Beenden das System rückstellen. Befehl Beschreibung Modus Kanäle Format Mögliche Werte serial config Schreibvorgang wird Lesen...

  • Page 49: Serieneigenschaftenbefehlnummern

    TECHNISCHE ANGABEN Befehlname Binär Allgemeiner Befehlgebrauch ascii serial config mode 78h61h serial property 78h62h short circuit volt 78h63h short circuit current 78h64h short circuit time 78h65h protect time 78h66h protect delay 78h67h prDelta1 78h68h prDelta2 78h69h P100nA 78h6Ah P1µA 78h6Bh P10µA 78h6Ch P100µA...

  • Page 50: Protokollfehler

    TECHNISCHE ANGABEN Protokollfehler Wenn Inkongruenzen in der Zusammenstellung des Datenpakets, das zum E-Net Dual-Controller geschickt wurde, aufgefunden wurden (d.h. mit anderen Worten ein korrekter Empfang mit unkorrektem Datenformat), antwortet E-Net Dual-Controller einer Fehlernummer, der durch “!” (21h) einen Befehl aus der folgenden Tabelle identifiziert wird.

  • Page 51: E-Net Dual-Controller Fehlerstatus

    TECHNISCHE ANGABEN E-Net Dual-Controller Fehlerstatus Wert Fehlertyp Fehlerbezug Hochspannungsfehler Hochspannung aus aufgrund vorderer Schalttafelanschluss Schalttafel Anschlussinbetriebnahme Hochspannung aus aufgrund Fern E/A Fernanschluss Anschlussinbetriebnahme Hochspannung aus aufgrund Kabel HV- Kabelanschluss Anschlussinbetriebnahme Dualfehler HV nicht gefunden Hochspannung aus aufgrund allgemeiner DSP HV-Fehler bestimmter Fehler Hochspannung aus aufgrund an HV-Formular HV-Übertemperatur...

  • Page 52: Ethernet-Schnittstelle

    TECHNISCHE ANGABEN ETHERNET-SCHNITTSTELLE MERKE Beide Kommunikationsanschlüsse (Serien Übersicht Ethernet) dürfen nicht gleichzeitig benutzt werden. Ethernet-Kommunikationen erfolgen durch den E-Net Dual-Controller über eine MOXA-Karte, Modell Bevor man die Ethernet-Kommunikation benutzen NE4100T. dieser Karte kann DUAL- kann, muss die Karte mit der Software von Moxa Serienprotokoll einem TCP/IP-Framework...
  • Page 53 TECHNISCHE ANGABEN Vom Menü Configuration aus Broadcast Search wählen: Folgende Bildschirmseite erscheint, wenn die MOXA –Karten gezeigt werden, die im Netzwerk gefunden wurden. In dem hier gezeigten Beispiel wurde eine MOXA-Karte unter der IP-Adresse 192.168.0.200 mit MAC-Adresse 00:90:E8:0B:C8:BB gefunden 46/94 CN929-7015M002...
  • Page 54 TECHNISCHE ANGABEN Auf der nächsten Abbildung erscheinen folgende MOXA-Karten, die aufgefunden wurden: Nun könnte es notwendig sein die IP-Adresse der MOXA-Karte zu ändern, um mit der Software der Karte einen Dialog zu führen. Vom Menü Configuration aus das Stichwort Configure wählen, wie aus folgender Abbildung hervorgeht: 47/94 CN929-7015M002...
  • Page 55 TECHNISCHE ANGABEN Folgende Bildschirmseite erscheint: Wählen Sie mit Ihrer Maus das zweite Optionsschaltfeld, zum Modify, dann Enable Web Console wählen und das Stichwort Enable Telnet Console abwählen. Dadurch können Sie einen Browser benutzen, um den Rest der Parameter zu konfigurieren, wie aus dem weiteren Text hervorgeht. Wählen Sie mit Ihrer Maus Network Tab.
  • Page 56 TECHNISCHE ANGABEN Wählen Sie die Optionsschaltfelder zum Modify für IP-Adressen und Netmask. Nun kann die IP-Adresse/Netzmaske der Karte geändert werden. Nehmen wir einmal an, dass die neue Adresse in Klasse C 192.168.1.200 mit der Netmask 255.255.255.0 ist 49/94 CN929-7015M002...
  • Page 57 TECHNISCHE ANGABEN Mit OK betätigen. Warten Sie ab wie die Werte sich auf der Karte geändert haben. Wenn der Bei erfolgreichem Abschluss des Arbeitsganges Fenster zur Bestätigung und Warnung in dieser Reihenfolge: Nochmals wie gewöhnlich bestätigen. Nun stellen Sie unter Verwendung eines beliebigen Browsers die Verbindung zum URL http://192.168.1.200 her und konfigurieren Sie die restlichen Kartenparameter.

  • Page 58: Rs232 Parameterkonfiguration

    TECHNISCHE ANGABEN RS232 Parameterkonfiguration Wählen Sie: Nun können Sie die 232 Serieneinstellung auf der MOXA-Karte unter Verwendung der äquivalenten Werte aus der DUAL-Karte ändern. Beispiel: Übertragungsrate: 9600 Daten-Bit: 8 Stopp-Bit: 1 Gleichheit: Keine Flusskontrolle: Keine 51/94 CN929-7015M002...
  • Page 59 Um abschließend Ihre Einstellungen abzuspeichern, wählen Sie das Stichwort Save/Restart. TCP-Server Moduskonfiguration Um das von Varian (DEC) gelieferte Kommunikationsprogramm ywischen einem PC und DUAL über ein TCP/IP- Network benutzen zu können, muss die Karte mit den Modusfunktionen des TCP-Servers konfiguriert werden.
  • Page 60 TECHNISCHE ANGABEN Whälen Sie nun noch einmal über Ihren Browser die Operating Settings und bestimmen Sie wie folgt die Parameter in dem Rahmen auf der rechten Seite: Max. Anschluss: 4 ist die Höchstanzahl an gleichzeitigen Verbindungen , die zu dieser Einheit hergestellt werden kann.

  • Page 61: Zubehörteile/Optionen

    TECHNISCHE ANGABEN ZUBEHÖRTEILE/OPTIONEN BESCHREIBUNG TEILNUMMER Adapterschiene 929-0064 Hochspannungskabel: H.V. hitze- und strahlenbeständiges Kabel, 13 Fuß (4 m) lang, 929-0705 mit Anschluss H.V. hitze- und strahlenbeständiges, 13 Fuß (4 m) lang 929-0710 929-0712 H.V. hitze- und strahlenbeständiges, 13 Fuß (4 m) lang, für VacIon-Pumpen 54/94 CN929-7015M002...

  • Page 62: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION The unit is programmed with pre-defined pump settings E-NET DUAL CONTROLLER DESCRIPTION and the user can tailor for his purpose the voltage, The E-Net Dual Controller base is available in versions short circuit current, maximum power, pressure versus which differ in the factory set input voltage and in the current curve for one more pump not included in the internal configuration.

  • Page 63: Controller Specifications

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100 to 120 Vac / 200 to 240 Vac Frequency 50 – 60 Hz Power 600 VA maximum Output for pump: Voltage ± 7,000 Vdc +2 –10% maximum programmable via software between 3,000 V and 7,000 V at 100 V steps Short circuit current 400 mA...

  • Page 64: Output Voltages

    TECHNICAL INFORMATION Output Voltages Provided below are the output voltage diagrams. Recorder Output Voltage Output Voltage VS Current Curve Recorder Output Pressure 57/94 CN929-7015M002...

  • Page 65: Controller Outline

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the E-Net Dual Controllers are shown in the following figures: Controller Model Dimensions 58/94 CN929-7015M002...

  • Page 66: Fuse Holder

    TECHNICAL INFORMATION FUSE HOLDER START MODE OF OPERATION The following figure shows the location of this assembly. Pump Max. voltage Short circuit Max. size/type and polarity current power Models with negative H.V. card  -7000V 400 mA 400 W 500 StarCell 300 StarCell -7000V 400 mA...

  • Page 67: Step Mode Of Operation

    TECHNICAL INFORMATION Step Mode of Operation When the current reaches the value listed in the table, the controller changes the voltage output. Pump Current value for Current value for size/type switching from switching from 5 to 7.0 to 5 KV 3 KV Models with negative H.V.

  • Page 68: Female Remote I/O Connector Output Signal

    TECHNICAL INFORMATION Female Remote I/O Connector Output Signal Signal Maximum Ratings Description 10 N.O High Voltage on Relay contact: 0.5A at 250VAC, 0.2A at HV On: Closed 29 common Digital output 150VDC, 0.5A at 30VDC HV Off: Open 9 N.O Set point 2 Relay contact: 0.5A at 250VAC, 0.2A at P<Pthreshold set point 2: Closed...

  • Page 69: Female Remote I/O Connector Input Signal

    TECHNICAL INFORMATION Female Remote I/O Connector Input Signal Signal Maximum Ratings Description 11 positive External interlock 8 to 30 VDC/VAC 15 mA max Interlock closed: The H.V. output of the 30 negative Digital input corresponding H.V. channel is enabled. Interlock open: The H.V. output of the corresponding H.V.

  • Page 70: Remote Power On

    TECHNICAL INFORMATION Typical Input Connection Remote Power On Close the Interlock contact on the corresponding Proceed as follows to turn on the HV from the Remote Remote I/O connector (pins 11 – 30). I/O Connection: Close Output On/Off contact corresponding Remote I/O connector (pins 13-32) Switch on the DUAL.
  • Page 71 TECHNICAL INFORMATION Provided below is the H.V. switch-on timing sequence Timing NOTE If S1 and S2 are not both closed, a transition (Open to Closed) of S3 does not switch-on the H.V. 64/94 CN929-7015M002...

  • Page 72: Optional Male Serial Connector

    TECHNICAL INFORMATION Abbreviations Optional Male Serial Connector This section provides the notations that are used during The E-Net Dual Controller uses an RS 232/422/485 message display. serial interface. The following tables provide this connector’s pinout in the different configurations. • Unit of measure RS232 pressure...

  • Page 73: Operating Modes

    TECHNICAL INFORMATION To switch-on the high voltage all the interlocks (cable, OPERATING MODES Remote I/O connector and front panel) must first be closed; then press the change config. and the high voltage Messages Associated to the Mode Button On/Off buttons together. The MODE button is used to change the E-Net Dual Controller’s current operating mode.

  • Page 74: Unit Configuration

    TECHNICAL INFORMATION The same indication can be seen on the following flow diagram: To enable/disable the PROTECT operating mode you UNIT CONFIGURATION must press together the CHANGE CONFIG and Using the Menu button accesses this configuration menu. START/PROT buttons; when this mode is enabled, the corresponding LED on the front panel comes on.
  • Page 75 TECHNICAL INFORMATION Channel Selection E L E C T C H A N N E L I G H V O L T A G E Press the CHANGE button to display the options available on the second row: • HIGH VOLTAGE 1 •...
  • Page 76 TECHNICAL INFORMATION Pump Type Selection Use the CHANGE button to select the pump, then The following message is now displayed. confirm the selection made by pressing the ENTER button. H V 1 P U M P S E L E C T In case the Spare Pump is selected, the operations that can be done are shown in the following flow-chart: 5 0 0...
  • Page 77 TECHNICAL INFORMATION In case a Standard Pump is selected, the parameters can just be read, and the operations that can be done are shown in the following flow-chart: 70/94 CN929-7015M002...
  • Page 78 TECHNICAL INFORMATION The same sequences can be seen in the following Step/Fixed Operating Mode pages: (can be changed with any type of pump) Vmax H V 1 O p e M o d e X E D H V 1 V m a x + 7 0 H V 1...

  • Page 79: Messages Associated To The Menu Button Related To The Serial Channel

    TECHNICAL INFORMATION Set-point 1 or Set-point 2 selection SERIAL INTERFACE (valid for all pumps) General After having described the connector and the pinouts in H V 1 T o r the different configurations, this section provides information on E-Net Dual Controller’s serial interface. →...

  • Page 80: Data Exchange Error Management

    TECHNICAL INFORMATION Maximum delay between consecutive bytes of the same data packet. 2 byte time Treset The controller can reinitialize reception if this time frame expires without data exchange. Minimum time frame before a reply can be initiated. The controller’s 4 msec Tmin reply message cannot begin until the expiry of this time frame, which is...

  • Page 81: Software Protocol

    TECHNICAL INFORMATION The commands have a read and a write mode. By SOFTWARE PROTOCOL specifying the type of read operation being performed, The protocol has equivalent data fields which comply the Host queries the E-Net Dual Controller which in turn with the following formats: replies in a format compliant with the command sent.

  • Page 82: Binary Protocol

    TECHNICAL INFORMATION Binary Protocol Host to E-Net Dual Controller command format: [header command] [length] [command] [channel] [data] [checksum] E-Net Dual Controller to Host reply format: [header response] [length] [command] [channel] [data] [checksum] Field No. of bytes Value Description Header command Header for the serial RS232, RS422 81h÷A0h Header and address for the serial RS485 (129 - 160)

  • Page 83: List Of Commands

    TECHNICAL INFORMATION LIST OF COMMANDS The commands that have been implemented are described in the following tables: General Commands Command Description Mode Channels Format Possible Values Local/remote Local or serial Read/Write No channel Status 30h local operating mode 31h Remote I/O 32h serial HV on/off On/off...

  • Page 84: Command Code Value

    TECHNICAL INFORMATION Command Code Value Command Name Binary General Usage Commands ascii local/remote 5Ah30h HV on/off 41h30h Unit of measure 44h30h µc firmware version 45h30h Dsp firmware version 66h30h device number 46h30h device type 46h30h V meas 53h30h I meas 54h30h Pr meas 55h30h...

  • Page 85: Device Number And Device Type Commands Coding

    TECHNICAL INFORMATION Device Number and Device Type Commands Coding Channel Device number Device type HV1, HV2 Spare HV1, HV2 500 SC/Tr HV1, HV2 300 SC/Tr HV1, HV2 150 SC/Tr HV1, HV2 75-55-40SC/T HV1, HV2 20 SC/Tr HV1, HV2 500 Diode/ND HV1, HV2 300 Diode/ND HV1, HV2...

  • Page 86: High Voltage Commands

    TECHNICAL INFORMATION The following example command is used to read the current of the channel 1 or 2. Binary Protocol: ü 04 T02 ? 1 | 81h 30h 34h 54h 30h 32h 3Fh 6Ch • 10 T02 8.9E – 04 1h 31h 30h 54h 30h 32h 38h 2Eh 39h 45h 2Dh 30h 34h 15h High Voltage Commands...

  • Page 87: Remote I/O Commands Coding

    TECHNICAL INFORMATION High Voltage Commands Command Name Binary General Usage Commands ascii fixed/step 42h30h start/protect 43h30h Psel 47h30h Vmax 48h30h Imax 49h30h Pmax 4Ah30h Iprotect 4Bh30h Vstep1 4Ch30h Istep1 4Dh30h Vstep2 4Eh30h Istep2 4Fh30h SetPt1 50h30h SetPt2 51h30h Remote I/O Output 67h30h Remote I/O Input 68h30h...

  • Page 88: Configuration Commands

    TECHNICAL INFORMATION Configuration Commands The following commands are enabled in the configuration mode only. This mode is accessed through the serial property command, enabling the configuration; reset the system to exit. Command Description Mode Channels Format Possible Values serial config Enables write access to Read No channel...

  • Page 89: Serial Property Commands Coding

    TECHNICAL INFORMATION Command Name Binary General Usage Commands ascii serial config mode 78h61h serial property 78h62h short circuit volt 78h63h short circuit current 78h64h short circuit time 78h65h protect time 78h66h protect delay 78h67h prDelta1 78h68h prDelta2 78h69h P100nA 78h6Ah P1µA 78h6Bh P10µA...

  • Page 90: Protocol Errors

    TECHNICAL INFORMATION Protocol Errors If incongruencies are detected in the composition of the data packet sent to the E-Net Dual Controller (in other words a correct reception but an incorrect data format), the E-Net Dual Controller will reply with an error code identified by the “!”...

  • Page 91: E-Net Dual Controller Error Status

    TECHNICAL INFORMATION E-Net Dual Controller Error Status Value Error type Error reference High Voltage errors High Voltage off due to front panel interlock Panel Interlock activation High Voltage off due to Remote I/O interlock Remote Interlock activation High Voltage off due to Cable HV interlock Cable Interlock activation Dual fault...

  • Page 92: Ethernet Interface

    TECHNICAL INFORMATION ETHERNET INTERFACE NOTE Both communication ports (serial and Ethernet) must Overview not be used at the same time. Ethernet communications are provided by the E-Net Dual Controller by means of a MOXA card, model Before you can use Ethernet communications, you NE4100T .
  • Page 93 TECHNICAL INFORMATION From the Configuration menu, select Broadcast Search: The following screen appears displaying the MOXA cards found on the network. In the example shown, a MOXA card has been found at IP address 192.168.0.200 with MAC address 00:90:E8:0B:C8:BB 86/94 CN929-7015M002...
  • Page 94 TECHNICAL INFORMATION The next figure displays the MOXA cards found: At this point, to be able to interact with the software of the card, it may be necessary to change the IP address of the MOXA card. From the Configuration menu, select the item Configure as shown in the following figure: 87/94 CN929-7015M002...
  • Page 95 TECHNICAL INFORMATION The screen below appears: With your mouse, select the second checkbox for Modify, then select Enable Web Console and deselect the item Enable Telnet Console. This will allow you to use a browser to configure the rest of the parameters, as can be seen further on.
  • Page 96 TECHNICAL INFORMATION Select the Modify checkboxes for IP address and Netmask. At this point you can modify the IP address/netmask of the card. Let’s suppose that the new address is in class C, 192.168.1.200 with netmask 255.255.255.0 89/94 CN929-7015M002...
  • Page 97 TECHNICAL INFORMATION Confirm with OK. Wait as the values are modified on the card. If the operation is successful, confirmation and warning windows appear in this order: Confirm again, in the usual way. Now, using any browser, connect to the URL http://192.168.1.200 and configure the remaining card parameters.

  • Page 98: Rs232 Parameter Configuration

    TECHNICAL INFORMATION RS232 Parameter Configuration Select: At this point, you can modify the 232 serial settings on the MOXA card with the equivalent values set on the DUAL card. In this example: Baud Rate: 9600 Data Bit: 8 Stop Bit: 1 Parity: None Flow Control: None 91/94...
  • Page 99 To finally save your settings, select the Save/Restart item. TCP Server Mode Configuration To be able to use the program provided by Varian (DEC) for communications between a PC and DUAL over a TCP/IP network, you must configure the card with the TCP server mode functionality.
  • Page 100 TECHNICAL INFORMATION Again, using your browser, select the Operating Settings item and define the parameters in the frame on the right as follows: where: Max connection: 4 is the maximum number of simultaneous connections that can be made to the device. Local TCP port: 4001 is the port on which the service providing the TCP/IP<->RS232 interfacing is listening.

  • Page 101: Accessories/Options

    TECHNICAL INFORMATION ACCESSORIES/OPTIONS DESCRIPTION PART NUMBER Rack Adapter 929-0064 High Voltage cables: H.V. bakeable cable, radiation resistant, 13 ft. (4 m) long, 929-0705 with Interlock H.V. bakeable cable, radiation resistant, 13 ft. (4 m) long 929-0710 929-0712 H.V. bakeable cable, radiation resistant, 13 ft. (4 m) long, for vacIon Pumps 94/94 CN929-7015M002...
  • Page 102 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Page 103 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Page 104 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.

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