Table of Contents
Advertisement
Quick Links
Turbo-V 3KT
Rack Controller
Model 869-9447
Model 869-9547
87-900-988-01 (B)
OCTOBER 2006
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE ISTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE ISTRUÇÕES
(NL)
BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) ISTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
(GR)
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL)
PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ)
NÁVOD K POUŽITÍ
(SK)
NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB)
INSTRUCTION MANUAL
Advertisement
Table of Contents
Related Manuals for Varian Turbo-V 3KT
Summary of Contents for Varian Turbo-V 3KT
- Page 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies Turbo-V 3KT MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH Rack Controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES MANUAL DE ISTRUÇÕES...
- Page 2 Turbo-V 3KT Rack Controller...
-
Page 5: Table Of Contents
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ..................………. 53 NÁVOD K POUŽITIU ..................……….. 57 NAVODILA ZA UPORABO ................... INSTRUCTIONS FOR USE ................... TECHNICAL INFORMATION ..................TURBO-V 3KT RACK CONTROLLER DESCRIPTION ..............CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE ....................... FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER ASSEMBLY.............. INTERCONNECTIONS ........................ - Page 6 Serial Port Installation ......................Serial Communication Port J13 ................………….. RS 232 Communication Description ................Trasmission Channel Characteristics..................76 RS 485 Communication Description ..................Trasmission Channel Characteristics..................76 Message Structure........................76 Window-Based Protocol......................79 USE ..............................General ..........................Startup ........................... Front/Remote/Serial Selection ....................Monitor Realy Programming..............………………………….
-
Page 7: Istruzioni Per L'uso
II controller viene fornito in un imballo protettivo normative nazionali specifiche. I controller della serie speciale; se si presentano segni di danni, che Turbo-V 3KT sono dei convertitori di frequenza, potrebbero essersi verificati durante il trasporto, controllati da un microprocessore, realizzati con contattare l’ufficio vendite locale. - Page 8 ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE NOTA Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello se non viene effettuato PERICOLO! alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e pompa Turbo-V possono essere accese II controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre contemporaneamente.
- Page 9 MANUTENZIONE processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna I controller della serie Turbo-V 3KT non richiedono verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
- Page 10 Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. FLOW METER ALARM Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas.
-
Page 11: Gebrauchsanleitung
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95 % durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten (nicht kondensierend) Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Die Controller der Serie VOR DER INSTALLATION Turbo-V sind mikroprozessor-gesteuerte Controller wird einer speziellen Frequenzwandler. - Page 12 GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION ANMERKUNG Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner GEFAHR! Brücke angeschlossen bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo- Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Drähte enthält und mit einem den internationalen Normen entsprechenden Stecker ausgerüstet ist.
- Page 13 Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die WARTUNG Verkaufsbedingungen geprüft hat. Die Controller der Serie Turbo-V 3KT sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. Bei einem Defekt kann der Varian-Reparaturdienst bzw. der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter...
- Page 14 Die Taste START zweimal drücken, um die OVERVOLTAGE eine Störung aufgetreten oder der Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. Alarm hinsichtlich Auswurffluß. Einwandfreien Betrieb des FLOW METER ALARM Flußwert befindet sich für die Dauer von...
-
Page 15: Mode D'emploi
Le contrôleur est fourni dans un emballage de protec- nationales spécifiques. tion spécial; si l'on constate des marques de dommages Les contrôleurs de la série Turbo-V 3KT sont des con- pouvant s'être produits pendant le transport, contacter vertisseurs de fréquence, contrôlés par un microproces- aussitôt le bureau de vente local. - Page 16 MODE D'EMPLOI INSTALLATION NOTE DANGER! Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est procédé à aucune connexion exté- Les contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois rieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo-V peu- fils avec une fiche du type approuvé...
- Page 17 Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le Les contrôleurs de la série Turbo-V 3KT n'exigent aucun fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, entretien. Toute opération doit être effectuée par un pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise...
- Page 18 Si le message est réaffiché vous adres- ser à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du...
-
Page 19: Istrucciones De Uso
El usuario deberá leer atentamente el presente manual controlers se deberá cumplir con las condiciones instrucciones cualquier otra información ambientales siguientes: suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el • temperatura: de -20 °C a +70 °C equipo. Varian considera libre cualquier •... - Page 20 INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN NOTA ¡PELIGRO! El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente si no se efectúa ninguna conexión El controler va dotado de un cable de alimentación de exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel pueden encenderse simultáneamente.
- Page 21 Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste Los controlers de la serie Turbo-V 3KT no necesitan es la casa fabricante o un distribuidor, para poder ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser proveer a la recogida y eliminación del producto,...
- Page 22 En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del FLOW METER ALARM limpieza (purge).
-
Page 23: Istruções Para O Uso
às normas nacionais específicas. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO Os controllers da série Turbo-V 3KT são conversores de O controller é fornecido numa embalagem protectora frequência, controlados por um microprocessador, especial;... - Page 24 INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO NOTA PERIGO! O conector de fecho J1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada nenhuma ligação externa. A O controller é fornecido com um cabo de alimentação bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser de três fios com uma tomada de tipo aprovado a nível ligadas simultaneamente.
- Page 25 Os controllers da série Turbo-V 3KT não requerem eliminação, após a oportuna verificação dos termos e qualquer manutenção. Todas as operações devem ser condições do contrato de venda.
- Page 26 Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do FLOW METER ALARM valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente.
-
Page 27: Gebruiksaanwijzingen
• relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van VOORBEREIDING VOOR INSTALLATIE de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet... - Page 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE OPMERKING De connector J1 moet met zijn jumper aangesloten GEVAAR! blijven als geen externe aansluiting tot stand wordt gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp De controller is voorzien van een voedingskabel met mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. drie draden en een stekker van het internationaal goedgekeurde type.
- Page 29 Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. geval storing mogelijk reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilcontroller ter vervanging van de defecte controller. GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de controller uit te voeren, de voedingskabel afkoppelen.
- Page 30 Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. FLOW METER ALARM Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.
-
Page 31: Brugsanvisning
Varian, før udstyret anvendes. • temperatur: fra -20 °C til +70 °C Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som • relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt... - Page 32 BRUGSANVISNING INSTALLATION BEMÆRK ADVARSEL ! Afbryderkontakten J1 skal forblive tilsluttet med aktuel bro, når der ikke udføres eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere samtidigt. og godkendt stik efter internationale standarder. Anvend udelukkende det medleverede strømkabel. Stikket må tilsluttes vægudtag fungerende...
- Page 33 VEDLIGEHOLDELSE forhandler, igangsættelse afhentnings- bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret Styreenhederne i Turbo-V 3KT behøver ikke nogen betingelserne i salgskontrakten. vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af...
- Page 34 Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning FLOW METER ALARM gennemstrømningen under fungerer korrekt.
-
Page 35: Bruksanvisning
Varian före användning • temperatur: från -20 °C till +70 °C utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt • relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller... - Page 36 BRUKSANVISNING INSTALLATION OBSERVERA Stängningskontakten J1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera VARNING samtidigt. Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare godkänd stickpropp enligt internationella Kontroller, Indikatorer och Kontakter på standarder. Använd endast medlevererade...
- Page 37 UNDERHÅLL anordningen, oberoende handlar moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta Styrenheterna i Turbo-V 3KT är underhållsfria. Allt uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. styrenheten havererar,...
- Page 38 Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens FLOW METER ALARM Värdet är...
-
Page 39: Brukerveiledning
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i • temperatur: fra 20 °C til +70 °C bruk. - Page 40 BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON MERK ADVARSEL Lukkekontakten J1 må være tilkoplet aktuell brygge dersom det ikke skjer en annen ekstern tilkopling. Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere og Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere godkjent støpsel i henhold til internasjonale standarder. sammen. Bruk kun den vedlagte strømkabelen.
- Page 41 VEDLIKEHOLD anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha Turbo-V 3KT styreenheter er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. på styreenheten må kun utføres av autorisert personell.
- Page 42 Trykk to ganger på knappen START for å forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer FLOW METER ALARM Strømningsverdien har i 10 sekunder...
-
Page 43: Käyttöohjeet
• lämpötila: -20 °C ja +70 °C asteen välillä muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ilman lauhdetta) seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä... - Page 44 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOM VAARA! Sulkimen J1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää samanaikaisesti. aina tätä kaapelia ja asettakaa pistoke riittävästi maadoitettuun pistorasiaan, jotta sähköiskuilta vältytään.
- Page 45 Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- HUOLTO hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai Turbo-V 3KT valvojia ei tarvitse huoltaa millään tavoin. jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan Mahdolliset valvojaan tehtävät toimenpiteet tulee jättää sopimusehdot. aina valtuutetun henkilön tehtäviksi.
- Page 46 KÄYTTÖOHJEET VIANETSINTÄ Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä, jotka on kuvailtu seuraavassa taulukossa. VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan CHECK CONNECTION TO liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa...
-
Page 47: Odhgies Crhsews
-20 °°C wÇ + 70 °C parevcetai apov th Varian, prin apov th crhsimopoivhsh • scetikhv ugrasiva: 0 - 95% (asumpuvknwth) thÇ suskeuhvÇ. H Varian den fevrei kamiva euquvnh ovson aforav thn olikhv hv merikhv aqevthsh twn... - Page 48 ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH SHMEIWSH KINDUNOS O sundethvraÇ qa prevpei na afeqeiv sundedemevnoÇ me th gevfura an den givnetai kammiva exwterikhv O ruqmisthvÇ eivnai efodiasmevnoÇ me tripolikov Turbo-V kalwvdio trofodovthshÇ me miva privza pou evcei suvndesh. H antliva pro - kenouv kai h antliva egkriqeiv dieqnwvÇ.
- Page 49 εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιηµένης συλλογής, SUNTHRHSH κατόπιν επαλήθευσης του συµβολαίου πώλησης. Oi ruqmistevÇ thÇ seiravÇ Turbo-V 3KT den apaitouvn kamiva sunthvrhsh. Opoiadhvpote epevmbash qa prevpei na pragmatopoihqeiv apov egkekrimevno proswpikov. Se perivptwsh blavbhÇ mporeivte na crhsimopoihvsete thn uphresiva episkeuwvn thÇ Varian hv to"Varian advance exchange service", pou saÇ...
- Page 50 An xanaparousiavzetai autov to controller evlabe evna mhvnuma apotanqeivte sth Varian gia th anagnwrivsimo shvma. sunthvrhsh. Elevgcete th swsthv leitourgiva tou FLOW METER ALARM SunagermovÇ scetikovÇ me th rohv kuklwvmatoÇ...
-
Page 51: Használati Utasítás
A Turbo-V 3KT sorozatú vezérlők mikroprocesszoros szállítás során keletkezhettek, kapcsolatba kell lépni a vezérlésű, szilárdtest-elemekkel realizált frekvencia- helyi forgalmazó irodával. A kicsomagolás során átalakítók, öndiagnosztikai és... - Page 52 HASZNÁLATI UTASÍTÁS TELEPÍTÉS MEGJEGYZÉS A J1 lezáró csatlakozó össze kell maradjon kötve a VESZÉLY! megfelelő átkötéssel (jumper), ha nincs semmiféle külső összeköttetés. Az elő-vákuum és a Turbo-V A vezérlő háromerű hálózati kábellel van ellátva, szivattyú egyidejűleg is be lehetnek kapcsolva. nemzetközileg jóváhagyott csatlakozódugóval.
- Page 53 Valamennyi beavatkozást meghatalmazott személyzet hajthat csak végre. Meghibásodás esetén igénybe vehető a Varian javítási szolgáltatása, vagy a "Varian advanced exchange service", mely a meghibásodott helyett, egy javított vezérlőt biztosít.
- Page 54 újraindításához kétszer OVERVOLTAGE tápellátási részegységében, vagy a megnyomni a START nyomógombot. vezérlő egy hamis jelet kapott. Ha az üzenet ismétlődik, a Varian-tól karbantartási beavatkozást kérni. tisztítóáramhoz kapcsolódó Ellenőrizni a gáz tápláló körének helyes FLOW METER ALARM vészjelzés. Az átáramló mennyiség, 10 működését.
-
Page 55: Instrukcja Uzytkowania
UWAGA Sygnaly wzrokowe ukazujace sie przed procedura jezeli zostana zlekcewazone moga spowodowac uszkodzenia urzadzenia. Opakowanie Kontrolerow Kazdy kontroler dostarczony przez Varian posiada juz PRZYPIS uregulowanie napiecie zasilania: Przypisy zawieraja najwazniejsze informacje • model 869-9447na 220 Vac wyciagniete z tekstu. - Page 56 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INSTALACJA PRZYPIS W przypadku kiedy nie zostanie wykonane zadne polaczenie zewnetrzne lacznik zamykajacy J1 powinien ZAGROZENIE! pozostac polaczony swoim mostkiem.Pompa wstepnej prozni pompa Turbo-V moga Kontroler jest zaopatrzony kabel zasilajacy uruchomione jednoczesnie. skladajacy trzech przewodow wtyczki odpowiadajacej standartom miedzynarodowym. Nalezy wylacznie uzywac tego rodzaju kabla zasilajacego i wlaczac wtyczke...
- Page 57 “WEEE”. KONSERWACJA Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Kontroler z serii Turbo-V 3KT nie wymaga zadnej Symbol (prawomocny tylko w krajach Unii konserwacji. Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony...
- Page 58 Nacisnac dwa razy przycisk START dla OVERVOLTAGE zasilania kontrolera kontroler ponownego uruchomienia pompy. otrzymal sygnal nieprawidlowy. Jezeli sygnal sie powtorzy zwrocic sie do Varian o przeprowadzenie konserwacji. Sygnal alarmowy dotyczacy przeplywu Skontrolowac prawidlowe funkcjonowanie FLOW METER ALARM strumienia przeczyszczajacego. obwodu zasilania gazu. Wartosc...
-
Page 59: Příručka K Použití
či neoprávněných zásahů a neodpovídajících specifickým státním normám, Varian PŘÍPRAVA K INSTALACI nepřijímá a nenese žádnou zodpovědnost. Kontroléry série Turbo-V 3KT jsou frekvenčními Kontrolér je dodáván v speciálním ochranném balení; konvertory, jsou kontrolované mikroprocesorem a objeví-li se následkem dopravy nějaké poškození, je skládají... - Page 60 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ INSTALACE POZNÁMKA Uzavírající konektor J1, jestliže nebude uskutečněno NEBEZPEČÍ! žádné vnější spojení, musí zůstat propojený se svým můstkem. Čerpadla pre-prázdna a Turbo-V se mohou Kontrolér má napájecí kabel se třemi dráty a zástrčku zapnout současně. shodnou s mezinárodním standardem. Výše uvedený kabel musíte používat neustále i zástrčku zasunovat do zásuvky s adekvátně...
- Page 61 Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, ÚDRŽBA aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a Kontroléry série Turbo-V 3KT nevyžadují žádnou smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci údržbu. Jakýkoliv zásah musí vykonat jen pověřený uvedeného výrobku.
- Page 62 údržby je nutné se obrátit na Varian. Alarm vztahující se na tok purge. Zkontrolovat, zda plynový napájecí obvod FLOW METER ALARM Hodnota toku zůstala oproti hodnotě funguje správně. nastavené na nižší hodnotě po dobu vyšší...
-
Page 63: Návod K Použitiu
ďalšie doplnky, dodané • teplota: od -20 °C do +70 °C podnikom Varian. Podnik Varian nepreberá na seba • relatívna vlhkosť: 0 - 95% (bez kondenzátu). žiadnu zodpovednosť za úplné, alebo čiastočné... - Page 64 NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA POZNÁMKA Uzavierajúca prípojka J1 sa musí nechať napojená na NEBEZPEČIE! jej mostík vtedy, keď nie je prevedené žiadne vonkajšie napojenie. Pred-prázdnové čerpadlo a čerpadlo Turbo- “Controller” je dodaný s trojdrôtovým napájacím káblom V môžu byť zapnuté súčasne. a so zástrčkou, ktorá...
- Page 65 “Controllers” série Turbo-V 3KT nevyžadujú žiadnu údržbu. Akýkoľvek zásah musí previesť poverený personál. V prípade vady je možné využiť opravnú službu Varian alebo "Varian advanced exchange service", ktorá vymení vadný “controller”. NEBEZPEČIE! Pred akýmkoľvek zásahom na “controller” vytiahnite šnúru z elektrickej siete.
- Page 66 čerpadla. “controller”, alebo “controller” dostal falošný signál. Keď sa tento oznam objaví znovu, obráťte sa na firmu Varian pre údržbu. Skontrolujte, či obvod napájania plynu Alarm, vzťahujúci sa na tok purge. FLOW METER ALARM Hodnota toku zostala pod nastavenou funguje správne.
-
Page 67: Navodila Za Uporabo
Med prevozom in skladiščenjem controllerjev morate Uporabnik mora temeljito prebrati priročnik in pri tem zagotoviti naslednje pogoje okolice: upoštevati vsako dodatno informacijo, ki jo nudi Varian. • temperatura: od -20 °C do +70 °C Varian ne odgovarja v slučaju celotnega ali delnega •... - Page 68 NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA OPOMBA Konektor za zapiranje J1 mora ostati priključen k SVARILO! svojemu mostičku, če niste izvršili nikakršne druge zunanje priključitvije. Črpalko predhodnega črpanja in Controller ima napajalni vod s tremi žicami in vtikač črpalko Turbo-V lahko istočasno vklopite. priznan na mednarodni ravni.
- Page 69 Turbo-V potrebujejo vzdrževanja. Samo pooblaščeno osebje lahko rokuje s to napravo. V slučaju okvare obrnite se servisu Varian ali "Varian advanced exchange service", ki Vam bo dal na razpolago obnovljeni controller. SVARILO! Pred katerikoli posegom, izklopite iz controller-a. napajalni kabel...
- Page 70 Dvakrat pritisnite tipko START za ponoven zagon črpalke. Če se to obvestilo spet controllera, controller dobil nepristen znak. pojavi, obrnite se Varian za pravilno vzdrževanje. Alarm glede toka purge. Vrednost toka Preverite, da napajalno vezje plina dobro FLOW METER ALARM manjša nastavljenega deluje.
-
Page 71: Instructions For Use
Varian before satisfied: • operating the equipment. Varian will not be held temperature: from -20 °C to + 70 °C • responsible for any events occurring due to non- relative humidity: 0 - 95% (without condensation) - Page 72 INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION NOTE WARNING! The input signal J1connector should be left in position including the shipping links if no external connections The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power are made. The forepump and Turbo-V pump can be cord and plug (internationally approved) for user safety.
- Page 73 MAINTENANCE retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of The Turbo-V 3KT Rack Controller does not require any sale. maintenance. Any work performed on the controller must be carried out by authorized personnel.
- Page 74 If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. Alarm relating to the purge flow. The flow Check the correct operation of the gas FLOW METER ALARM value remained at less than the set supply circuit.
-
Page 75: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION • TURBO-V 3KT RACK CONTROLLER including: power supply analog input/output section, microprocessor and digital DESCRIPTION section, display and keyboard circuits. The power The controller is available in two versions: supply converts the single phase (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium •... -
Page 76: Controller Specifications
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100, 120, 220, 240 Vac, 1-phase Frequency 50 to 60 Hz Power 1300 VA maximum Output for pump: Voltage 64 Vac Frequency 530 Hz Power starting 560 W maximum Power normal 450 W maximum Operating temperature 0 °C to +40 °C Storage temperature... -
Page 77: Controller Outline
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 3KT Rack Controller are shown in the following figures: 213.00 [83.96] 254.50 [100.50] Turbo-V 3K-T 213.00 [83.96] FUSE TYPE T 100/120V-10A 220/240V-5A J13 SERIAL J7 PURGE-VENT J10-TURBO PUMP Dimensions: mm [inches]... -
Page 78: Fuse Holder And Voltage Changer Assembly
TECHNICAL INFORMATION FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER INTERCONNECTIONS ASSEMBLY The following figure shows the Controller inter- connections. The following figure shows the location of this assembly. PURGE SERIAL PORT VENT OUTPUT DEVICES PURGE SERIAL PORT VENT OUTPUT DEVICES MAINS FUSE TYPE INPUT DEVICES MAINS... -
Page 79: Connection J2 - Logic Output Interconnections
TECHNICAL INFORMATION Connection J2 DESCRIPTION Logic Output Interconnections Remote START/STOP optically isolated from the internal circuit, requires a permanently closed contact (relay contact. transistor, etc.). When the contact closes the turbopump starts at high speed and when the contact opens, the turbopump is stopped. -
Page 80: Connection J7 - Accessories And Options Interconnections
TECHNICAL INFORMATION Connection J7 PURGE-VENT DESCRIPTION Analog output Voltage of power drawn by the turbopump (pin 2 positive, pin 1 negative). 1 Vdc proportional to 100 W. 4-11 R1 signal 24 V, 60 mA optically isolated output (pin 11 positive, pin 4 negative). The output Voltage will be present when the rotational speed of the pump is higher than the selected speed threshold... - Page 81 100 Hz. • A-G =pump body temperature sensor CAUTION The vent could damage the pump. Please, use the Varian “Controlled Vent Procedure” or refer to Varian personnel. Controller-to-pump connector (applicable to model 869-9447 and 869-9547) 87-900-988-01 (B)
-
Page 82: Optional Serial Port
2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port connections. <STX> / <ADDR> + <WINDOW> + <COMMAND> + <DATA> + <ETX> + <CRC> NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector. - Page 83 TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX> = 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it Source : Inverter doesn’t implicate any answer)
- Page 84 TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 33 38 03 38 39 ADDR STX ADD WINDOW RD 000038...
-
Page 85: Window-Based Protocol
TECHNICAL INFORMATION Window-Based Protocol The following table, valid for the RS 232 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. Type Description START/STOP LOW SPEED [ 0 = OFF / 1 = ON ] SOFT START YES/NO (1= YES ; 0= NO) DELAY EVEN AFTER THRESHOLD [ 0 = OFF / 1 = ON ] WATER COOLING [ 0 = OFF / 1 = ON ] SPEED THRESHOLD (from 0 to 999 Hz) -
Page 86: Use
S T A R T B U T T O N is steady. Never operate the Turbo-V 3KT pump if the pump inlet is not connected to the system or blanked off. -
Page 87: Front/Remote/Serial Selection
TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press the CYCLE NUMBER push-button twice and display shows (e.g.): the display shows: With reference to two temperature sensors T1 and Tb. X X X X C Y C L E X X X X X m P U M P X X X X X h... - Page 88 TECHNICAL INFORMATION The display shows: • Press CYCLE NUMBER push-button to select YES or C O N F I G U R A T I S O F T S T A R T M O D E S E L E C T I O N : Y E S S P E E D...
- Page 89 TECHNICAL INFORMATION • • Enter the selection by pressing the PUMP CURRENT Press PUMP CURRENT push-button and the display push-button, and the display shows: shows F R O N T R E M O T E S E R S E R I A D D R E S S S E L E C T I O N : X X X X X X...
-
Page 90: Monitor Realy Programming
TECHNICAL INFORMATION With the RS 232/485 connected, a bi-directional Monitor Relay Programming communication is established by selecting HOST. Data are The display shows: sent to an external computer every time the external computer asks for the values. S P E E D T H R E S H O L D The available data are listed in the read mode in the serial protocol table. - Page 91 TECHNICAL INFORMATION case a = pump speed > threshold value programmed speed threshold value b = pump speed < threshold value after run-up time c = pump speed < threshold value before run-up time R1 operation R2 operation delay even after YES R2 operation delay even after NO RUN-UP TIME...
- Page 92 TECHNICAL INFORMATION • • Enter the value by pressing the PUMP CURRENT Enter the value by pressing the PUMP CURRENT push-button, and the display shows: push-button. R U N - U P I M E S E L X X h X X m X X s Turbo-V 3K-T...
- Page 93 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button to enter Press the PUMP CURRENT push-button. If VENT the data. VALVE MODE = AUTO MODE, the display shows: V E N T V A L V E D E L A Y X X X X X Delay time of the vent valve from 0 to 999999 •...
-
Page 94: Starting The Pump
TECHNICAL INFORMATION • Press PUMP CURRENT to confirm. and the Starting the Pump display shows: If the forepump and vent device are not operated by the controller, close the vent valve and switch on the P U M P X X X X X h forepump. -
Page 95: Operating The Pump
X X X stay high, the power drawn by the turbopump increases up to the maximum value. Then the Turbo-V 3KT pump is slowed down in pro- where: portion to the gas load at least until it reaches about 4 or 3... -
Page 96: Rs 232/485 Control Mode Operation
Turbo-V 3KT Rack Controller 120 V 869-9547 Turbo-V 3KT Rack Controller 220 V 869-9447 Pump-controller connection cable 969-9953 Turbo-V 3KT Rack valves cable (5 m) 969-9938 RS 485 computer communication kit 969-9856 RS 232 computer communication kit 969-9857 87-900-988-01 (B) - Page 97 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Page 98 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 99 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.