Speed - Renishaw ATOM DX Series Installation Manual

Speed

20 µm encoder
Clocked
output option
D
(MHz)
(5 µm)
50
10
40
10
25
10
20
10
12
10
10
10
08
10
06
10
04
10
01 4.53
40 µm encoder
Clocked
output option
T D
(MHz)
(10 µm) (5 µm)
50 20 20
40 20 20
25 20 20
20 20 20
12 20 20
10 20 20
08 20 20
06 20 20
04 20 18.13
01 9.06 4.53
*
For a readhead with a 1 m cable.
ATOM DX
linear installation guide
X Z W
(1 µm) (0.5 µm) (0.2 µm)
10 10 7.25
10 10 5.80
10 9.06 3.63
10 8.06 3.22
10 5.18 2.07
8.53 4.27 1.71
6.91 3.45 1.38
5.37 2.69 1.07
3.63 1.81 0.73
0.91 0.45 0.18
G
X
(2 µm)
(1 µm) (0.5 µm)
20 20 18.13
20 20 14.50
20 18.13 9.06
20 16.11 8.06
20 10.36 5.18
17.06 8.53 4.27
13.81 6.91 3.45
10.74 5.37 2.69
7.25 3.63 1.81
1.81 0.91 0.45
Maximum speed (m/s) *
Readhead type
Y H M
(0.1 µm) (50 nm) (40 nm)
3.63 1.813 1.450
2.90 1.450 1.160
1.81 0.906 0.725
1.61 0.806 0.645
1.04 0.518 0.414
0.85 0.427 0.341
0.69 0.345 0.276
0.54 0.269 0.215
0.36 0.181 0.145
0.09 0.045 0.036
Maximum speed (m/s) *
Readhead type
Z W Y
(0.2 µm) (0.1 µm) (50 nm)
7.25 3.63
5.80 2.90
3.63 1.81
3.22 1.61
2.07 1.04
1.71 0.85
1.38 0.69
1.07 0.54
0.73 0.36
0.18 0.09
I O
(20 nm) (10 nm) (5 nm)
0.725 0.363
0.580 0.290
0.363 0.181
0.322 0.161
0.207 0.104
0.171 0.085
0.138 0.069
0.107 0.054
0.073 0.036
0.018 0.009
M
H I
(40 nm) (20 nm)
1.813 1.450 0.725
1.450 1.160 0.580
0.906 0.725 0.363
0.806 0.645 0.322
0.518 0.414 0.207
0.427 0.341 0.171
0.345 0.276 0.138
0.269 0.215 0.107
0.181 0.145 0.073
0.045 0.036 0.018
Minimum edge
separation *
Q R
(ns)
(2.5 nm)
25.1
0.181 0.091
31.6
0.145 0.073
51.0
0.091 0.045
57.5
0.081 0.040
90.0
0.052 0.026
109
0.043 0.021
135
0.035 0.017
174
0.027 0.013
259
0.018 0.009
0.005 0.002 1038
Minimum edge
separation *
O Q
(ns)
(10 nm) (5 nm)
0.363 0.181 25.1
0.290 0.145 31.6
0.181 0.091 51.0
0.161 0.081 57.5
0.104 0.052 90.0
0.085 0.043 109
0.069 0.035 135
0.054 0.027 174
0.036 0.018 259
0.009 0.005 1038
24