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Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum HIPACE 30
- Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 30 Turbopumpe Turbopump...
- Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
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Page 3: Table Of Contents
Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale... - Page 4 Inhaltsverzeichnis Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten 6.5.2 Fluten...
- Page 5 Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 12: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 30 Tab. 13: Zubehörliste Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 15: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
- Page 6 Abb. 11: Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Abb. 12: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung Abb. 13: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung Abb. 14: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 30 Abb. 15: Beispiel für den Zubehöranschluss über Adapter TCS 12 Abb. 16: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Abb.
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Page 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. -
Page 8: Piktogramme
Vakuumpumpe. Typenschild der Antriebselektronik D-35614 Asslar Berliner Str. 43 Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf de- Mod. HiPace 30 ren Oberseite. PM P05 _ _ _ Type 12 _ _ _ _ _ _ _ _ IP44 PM 183 900 -T TÜV Rheinland... -
Page 9: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis Betriebsanleitung Typenschild der Turbopumpe 2 Typenschild Antriebselektronik Hinweis Erdungsanschluss 3 Verschlusssiegel 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) -
Page 10: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Page 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
- Page 12 Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. WARNUNG Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
- Page 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
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Page 14: Sicherheitsmaßnahmen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall... -
Page 15: Einsatzgrenzen Des Produkts
Sicherheit ► Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus. ► Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). -
Page 16: Vorhersehbarer Fehlgebrauch
● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Page 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum. -
Page 18: Produktbeschreibung
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Scannen Sie den QR-Code oder klicken Sie hier und sehen Sie, wie Pfeiffer Vacuum Turbopumpen arbeiten. Abb. 2: Aufbau HiPace 30 1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss Vorvakuumanschluss, DN 16 ISO-KF 2 Pumpengehäuse, Aluminium... -
Page 19: Produkt Identifizieren
Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320. -
Page 20: Transport Und Lagerung
► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen. -
Page 21: Installation
Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe. -
Page 22: Hochvakuumseite Anschließen
● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 30 500 Nm... -
Page 23: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden
Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen der Turbopumpe reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für die Gasart... -
Page 24: Einbaulagen
4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.2.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich. -
Page 25: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen
Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile. -
Page 26: Abb. 8: Flanschverbindung Iso-K Mit Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe. -
Page 27: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen
Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein. -
Page 28: Vorvakuumseite Anschließen
Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die erforderliche Anzahl von Stiftschrauben mit dem kürzeren Einschraubende in die Bohrungen am Gegenflansch. 3. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein. -
Page 29: Zubehör Anschließen
Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte mit TC verbinden ● Die Verwendung von Pfeiffer Vacuum Zubehör über die Antriebselektronik ist über ent- sprechende Verbindungskabel bzw. Adapter am Multifunktionsanschluss "X3" möglich. ● Konfiguration des gewünschten Zubehörausgangs über RS-485 mittels Pfeiffer Vacu- um Steuergeräte oder PC. -
Page 30: Elektrische Versorgung Anschließen
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.5.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 16: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. -
Page 31: Elektrischen Anschluss Herstellen
Installation 5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht. - Page 32 5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verlängerungskabel an das Steuergerät an. 32/114...
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Page 33: Betrieb
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich. -
Page 34: Betrieb Ohne Bedieneinheit
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center. -
Page 35: Turbopumpe Einschalten
► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status... -
Page 36: Temperaturüberwachung
Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum Ausfall sind die Folge. ► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein. ► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina. ► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 36/114... - Page 37 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
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Page 38: Wartung
6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. -
Page 39: Betriebsmittelspeicher Austauschen
● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●... -
Page 40: Betriebsmittelspeicher Montieren
Wartung Abb. 18: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Gehäusedeckel Kapillarstäbe (6×) 2 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 3 Gummi-Metallpuffer Schutzdeckel 4 O-Ring Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfreien Tuch. – Verwenden Sie nur die vorgeschriebene Reinigungsflüssigkeit! 3. -
Page 41: Antriebselektronik Austauschen
Wartung Abb. 19: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren 1 Kapillarstäbe (6×) Gehäusedeckel 2 Betriebsmittelspeicher Gummi-Metallpuffer 3 O-Ring Torxschrauben Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie die neuen Kapillarstäbe mit Hilfe einer Pinzette ein. 2. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher bis zum Anschlag in das Pumpenunterteil ein. –... -
Page 42: Antriebselektronik Demontieren
Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2. -
Page 43: Drehzahlvorgabe Bestätigen
4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 43/114... -
Page 44: Außerbetriebnahme
1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen. -
Page 45: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Page 46: Störungen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall... - Page 47 ● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Steuergerät.
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Page 48: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Page 49 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Page 50: Ersatzteile Hipace
Ersatzteile HiPace 30 Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher PM 183 900 -T inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Gummi-Metallpuffer P 0101 527 Tab. 12: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 30 50/114... -
Page 51: Zubehör
Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. - Page 52 Verschraubungsset Luftkühlung für HiPace mit Verbindung zu M8 PM Z01 348 Wasserkühlung für HiPace 30 | HiPace 80 Mini mit Steckverschraubung, 8 mm PM 016 847 -T Verbindungskabel mit Schnittstelle RS-485 und 3 Zubehörports von TC 110/120 PM 061 512 -T zu Netzteil Verbindungskabel für HiPace mit TC 110/120...
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Page 53: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●... - Page 54 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung erweitert HiPace® 30 mit TC HiPace® 30 mit TC HiPace® 30 mit TC Kompressionsverhältnis für He 3 · 10 3 · 10 3 · 10 Kompressionsverhältnis für N > 1 · 10 > 1 · 10 >...
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Page 55: Abmessungen
-20 – 55 °C -20 – 55 °C Gewicht 2 kg 3,2 kg 2 kg Tab. 16: Technische Daten für HiPace 30 | 24 V 14.3 Abmessungen 94.5 DN 63 ISO-K 37.5 M4 - 10 deep (4x) DN 16 ISO-KF / G1/4"... - Page 56 Technische Daten und Abmessungen 94.5 DN 40 ISO-KF 37.5 M4 - 10 deep (4x) DN 16 ISO-KF / G1/4" Abb. 25: Abmessungen HiPace 30 | DN 40 ISO-KF Maße in mm 56/114...
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Page 57: Eg Konformitätserklärung
ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... -
Page 58: Konformitätserklärung
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... - Page 59 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
- Page 60 Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via connection "E74" 6.2.3 Operation via multi-function connection "X3" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
- Page 61 Factory settings for delayed venting in turbopumps Tbl. 10: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Tbl. 11: Troubleshooting turbopumps Tbl. 12: Overview of the spare parts available for the HiPace 30 Tbl. 13: Accessories list Tbl. 14: Conversion table: Pressure units Tbl. 15: Conversion table: Units for gas throughput Tbl.
- Page 62 Flange connection CF-F, stud screw and tapped hole Fig. 9: Flange connection CF-F, stud screw and through hole Fig. 10: Example of fore-vacuum connection on HiPace 30 Fig. 11: Example of accessory connection via adapter TCS 12 Fig. 12: Example: Connecting the grounding cable Fig.
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Page 63: About This Manual
Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status. -
Page 64: Pictographs
Rating plate of the electronic drive unit D-35614 Asslar Berliner Str. 43 The electronic drive unit rating plate is located on the top. Mod. HiPace 30 PM P05 _ _ _ Type 12 _ _ _ _ _ _ _ _ IP44 PM 183 900 -T TÜV Rheinland... -
Page 65: Abbreviations
About this manual Fig. 1: Position of the stickers on the product 1 Operating instructions note Rating plate of the turbopump 2 Rating plate for electronic drive unit Information regarding ground connection 3 Warranty seal 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current... -
Page 66: Safety
Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►... - Page 67 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.
- Page 68 Safety WARNING Risk of injury due to incorrect installation Dangerous situations may arise from unsafe or incorrect installation. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
- Page 69 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
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Page 70: Safety Precautions
Safety WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate. There is the risk of damaging on-site connections (e.g., fore-vacuum line) and resulting leaks. This results in leakage of process media. -
Page 71: Proper Use
● Using of accessories or spare parts that are not listed in these instructions 2.7 Personnel qualification The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. 71/114... -
Page 72: Ensuring Personnel Qualification
─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training. -
Page 73: Product Description
Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. Scan this qr code or click here and see how Pfeiffer Vacuum turbopumps work. Fig. 2:... -
Page 74: Drive
ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description. -
Page 75: Transportation And Storage
► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits. -
Page 76: Installation
Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond. -
Page 77: Consider Earthquake Protection
1.2 W Tbl. 5: Requirements for the dimensioning of customer-specific high vacuum connection Important information for correct installation ► Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connection of the turbopump. 5.2.2 Consider earthquake protection NOTICE... -
Page 78: Using A Splinter Shield Or Protective Screen
Safety connections, customer-side 5.2.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed of the turbo- pump reduces according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange. -
Page 79: Mounting Orientations
4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.2.5 Mounting orientations Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series are suitable for use with dry compressing backing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range. -
Page 80: Attaching Iso-K Flange Onto Iso-K
Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure. -
Page 81: Attaching Cf Flange To Cf-F
Installation Connection of hexagon head set screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum for the connection. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange on the turbopump. 3. Insert the snap ring into the side groove on the high vacuum flange of the turbopump. -
Page 82: Fig. 7: Flange Connection Cf-F, Hexagon Head Screw And Through Hole
Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange. -
Page 83: Connecting The Fore-Vacuum Side
Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange. -
Page 84: Connecting Accessories
Connecting accessory devices to TC ● Use of Pfeiffer Vacuum accessories via the electronic drive unit is enabled via a corre- sponding connection cable or adapter at the “X3” multi-function connection. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. -
Page 85: Connecting The Electrical Supply
► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. 5.5.1 Ground turbopump Pfeiffer Vacuum recommends connecting a suitable grounding cable to discharge applicative interfer- ences. Fig. 12:... -
Page 86: Fig. 13: Connecting Electronic Drive Unit To Power Supply Pack
5. Insert the connecting cable into the connection "DCout" on the power supply pack and close the bayonet lock. 6. If you are using a Pfeiffer Vacuum control unit: Connect the “RS-485” connector to the control unit using a suitable extension cable. -
Page 87: Operation
Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol. -
Page 88: Operating Modes
Notes on operation without control unit 1. Only use the approved Pfeiffer Vacuum connection cables with bridges on the "X3" connection on the electronic drive unit. 2. Only switch on the power supply of the turbopump immediately before operation. -
Page 89: Switching On The Turbopump
6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol... -
Page 90: Temperature Monitoring
This causes mechanical damage to the turbopump, including potential failure. ► Observe the prescribed maximum pressure rise speed of 15 hPa/s. ► Avoid manual and uncontrolled venting of very low volumes. ► Where necessary, use a venting valve from the Pfeiffer Vacuum range of accessories. 90/114... -
Page 91: Tbl. 9: Factory Settings For Delayed Venting In Turbopumps
General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate. -
Page 92: Maintenance
5. Change the operating fluid reservoir at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes. -
Page 93: Replace Operating Fluid Reservoir
● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●... -
Page 94: Assembling Operating Fluid Reservoir
Maintenance Fig. 14: Removing the operating fluid reservoir 1 Housing cover Capillary rods (6×) 2 Torx screws Operating fluid reservoir 3 Rubber-metal bumper Protective cover 4 O-ring Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2. -
Page 95: Replacing The Electronic Drive Unit
Maintenance Fig. 15: Insert capillary rods and install operating fluid reservoir 1 Capillary rods (6×) Housing cover 2 Operating fluid reservoir Rubber-metal bumper 3 O-ring Torx screws Assembling operating fluid reservoir 1. Insert the new capillary rods using tweezers. 2. Insert the operating fluid reservoir up to the stop in the pump base. –... -
Page 96: Removing Electronic Drive Unit
Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1. -
Page 97: Confirming Speed Specification
5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units. -
Page 98: Decommissioning
2. Clean the turbopump externally with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing. -
Page 99: Recycling And Disposal
● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –... -
Page 100: Malfunctions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892. -
Page 101: Tbl. 11: Troubleshooting Turbopumps
● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700]. -
Page 102: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum
We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality. - Page 103 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
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Page 104: Spare Parts Hipace
Operating fluid reservoir PM 183 900 -T incl. capillary rods and O-ring Rubber-metal bumper P 0101 527 Tbl. 12: Overview of the spare parts available for the HiPace 30 104/114... -
Page 105: Accessories
Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters. -
Page 106: Tbl. 13: Accessories List
Air cooling for HiPace with Connection to M8 PM Z01 348 Water cooling for HiPace 30 | HiPace 80 mini with push-in fitting, 8 mm PM 016 847 -T Connection cable with RS-485 interface and 3 accessory ports for TC110/120 to... -
Page 107: Technical Data And Dimensions
Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●... - Page 108 Technical data and dimensions Type designation extended HiPace® 30 with HiPace® 30 with HiPace® 30 with TC 110 TC 110 TC 110 Compression ratio for N > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Pumping speed for Ar 32 l/s 32 l/s 20 l/s...
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Page 109: Dimensions
-20 – 55 °C ture Weight 2 kg 3.2 kg 2 kg Tbl. 16: Technical data for HiPace 30 | 24 V 14.3 Dimensions 94.5 DN 63 ISO-K 37.5 M4 - 10 deep (4x) DN 16 ISO-KF / G1/4" Fig. 19:... -
Page 110: Fig. 21: Dimensions Hipace 30 | Dn 40 Iso-Kf
Technical data and dimensions 94.5 DN 40 ISO-KF 37.5 M4 - 10 deep (4x) DN 16 ISO-KF / G1/4" Fig. 21: Dimensions HiPace 30 | DN 40 ISO-KF Dimensions in mm 110/114... -
Page 111: Ec Declaration Of Conformity
DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43... -
Page 112: Declaration Of Conformity
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43... - Page 113 113/114...
- Page 114 Notizen / Notes:...
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