Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 Operating Instructions Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Pfeiffer Vacuum Manuals
  4. Water Pump
  5. HISCROLL 6
  6. Operating instructions manual

Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 Operating Instructions Manual

Scroll pump with integrated pressure sensor
Hide thumbs Also See for HISCROLL 6:
Table of Contents

Advertisement

Available languages

Available languages

Quick Links

BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HISCROLL 6 | 12 | 18
Scrollpumpe mit integriertem Drucksensor
Scroll pump with integrated pressure sensor
DE
EN
Original

Advertisement

Chapters

Table of Contents
loading
Need help?

Need help?

Do you have a question about the HISCROLL 6 and is the answer not in the manual?

Questions and answers

Subscribe to Our Youtube Channel

Related Manuals for Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6

Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6

  • Page 1: Telegram Example

    BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HISCROLL 6 | 12 | 18 Scrollpumpe mit integriertem Drucksensor Scroll pump with integrated pressure sensor...

  • Page 2: Telegramm Beispiel

    Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new scroll pump is designed to support you with its performance, perfect operation and without impacting your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Page 3: Table Of Contents

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Antrieb 3.1.2 Kühlung 3.1.3 Wellenlager 3.1.4 Gasballast 3.1.5 Drucksensor Anschlüsse Produkt identifizieren...
  • Page 4 6.5.5 Datentypen Parametersatz Allgemeines Stellbefehle Statusabfragen Sollwertvorgaben Betrieb Vakuumpumpe in Betrieb nehmen Vakuumpumpe einschalten Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 8.3.1 Digitalausgänge konfigurieren 8.3.2 Digitaleingang konfigurieren 8.3.3 Schnittstellen auswählen 8.3.4 Zubehör konfigurieren Betriebsart auswählen Geschwindigkeitsmodi 8.5.1 Normalbetrieb 8.5.2 Standby-Betrieb 8.5.3 Drehzahlstellbetrieb...
  • Page 5 Inhaltsverzeichnis 12.3 Warn- und Fehlermeldungen bei Betrieb mit Steuergeräten Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Zubehör 15.1 Zubehörinformationen 15.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 16.1 Allgemeines 16.2 Technische Daten 16.3 Medienberührende Werkstoffe 16.4 Abmessungen EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 5/158...
  • Page 6 Tab. 25: Zubehör für HiScroll Tab. 26: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 27: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 28: Technische Daten für HiScroll 6 Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 12 Tab. 30: Technische Daten für HiScroll 18 Tab. 31: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt...
  • Page 7 Abb. 29: Tip Seal Nut im Spiralgehäuse Abb. 30: Gehäuseteile zusammenbauen Abb. 31: HiScroll Wartungssatz 1 Abb. 32: HiScroll Ventilsatz Abb. 33: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor Abb. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor 7/158...

  • Page 8: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.

  • Page 9: Anweisungen Im Text

    Typenschild Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. Mod. HiScroll 6 P/N PD S10 010 S/N - - - - - - - - ) max. 6.1 m Mass 19 kg TÜV Rheinland...

  • Page 10: Abb. 1: Position Der Aufkleber Auf Dem Produkt

    Zu dieser Anleitung Typenschild Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. Mod. HiScroll 18 P/N PD S30 010 S/N - - - - - - - - ) max. 18.1 m Mass 23 kg TÜV Rheinland max.

  • Page 11: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Erklärung Atmosphärendruck Betriebsanleitung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Fluorkautschuk Gasballast Hochvakuum [P:xxx] Parameter sind fettgedruckt als dreistellige Nummer in eckigen Klammern dargestellt. Beispiel: [P:xxx] Softwareversion Personal computer PTFE Polytetrafluorethylen Fehlerstrom-Schutzeinrichtung (Residual Current Device) Digitaler Drucksensor (RPT 010) RS-485 Standard für eine physische Schnittstelle für die asynchrone serielle Datenübertragung...

  • Page 12: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Page 13 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Unzureichende oder fehlerhafte Erdung des Geräts führt zu berührungsempfindlichen Spannungen auf dem Gehäuse. Erhöhte Ableitströme verursachen bei Berührung einen lebensgefährlichen elektri- schen Schlag. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Page 14 Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent- weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen. ►...
  • Page 15 Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent- weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen. ►...

  • Page 16: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit Risiken bei Störungen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.

  • Page 17: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● Trennen, Austauschen oder Wiederverwenden der Elektronikeinheit (Antriebselektronik). 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.

  • Page 18: Personenqualifikation Sicherstellen

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.

  • Page 19: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Pfeiffer Vacuum Scrollpumpe ist eine im Schöpfraum trocken arbeitende Vakuumpumpe zur Erzeu- gung eines Grob- bzw. Feinvakuums nach dem physikalischen Pumpprinzip einer Spiralvakuumpumpe. Die Pumpe verfügt über eine integrierte Antriebs- und Steuereinheit. Ein dreistufiges Gasballastsystem unterstützt die Vermeidung von Kondensation in der Vakuumpumpe.

  • Page 20: Antrieb

    Produktbeschreibung Abb. 3: Aufbau HiScroll, Ausführung mit Drucksensor 1 Schutzdeckel für Vakuumanschluss DN 25 Zubehöranschluss "C" 2 Ringschraube Zubehöranschluss "D" 3 Blinddeckel bei Ausführung ohne GB Anschluss-Buchse "remote" 4 Lüfterhaube Antriebselektronik 5 Vakuumanschluss Standfuß mit Befestigungsbohrung 6 Gasballastventil bei Ausführung mit manuellem GB Lüfter 7 Ausführung mit automatisiertem GB (Option) Schutzdeckel für Auspuff DN 25...

  • Page 21: Anschlüsse

    Tab. 3: Schnittstellen der Antriebselektronik 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...

  • Page 22: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Vakuumpumpe transportieren WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Beim Transport besteht die Möglichkeit von Quetschungen und Stoßen an pendelnden, kippenden oder herabfallenden Gegenständen. Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.

  • Page 23: Vakuumpumpe Lagern

    Transport und Lagerung Vakuumpumpe ohne Verpackung transportieren 1 Ringschraube ist im Lieferumfang enthalten und ab Werk fest mit der Vakuumpumpe verschraubt. 1. Befestigen Sie ein geeignetes Hebewerkzeug an der Ringschraube. 2. Achten Sie auf die vorschriftsmäßige Verwendung und Befestigung der Anschlagsmittel. 3.

  • Page 24: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Vakuumpumpe aufstellen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden Das Gerät besitzt die Schutzart IP40 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen- dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit spannungsführendem Wasser.

  • Page 25: Auspuffseite Anschließen

    Installation Kondensatabscheider Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einbau eines Kondensatabscheiders, falls beim Evakuieren Dämpfe durch Flüssigkeiten entstehen. Abb. 6: Beispiel für den Vakuumanschluss 1 Vakuumanschluss der Scrollpumpe Spannring 2 Schutzdeckel Zentrierring 3 Vakuumkomponenten DN 25 ISO-KF Vorgehen 1. Nehmen Sie den Schutzdeckel vom Vakuumanschluss der Scrollpumpe 2.

  • Page 26: Externe Gasballastversorgung Anschließen

    ► Betreiben Sie die Vakuumpumpe nach Prozessende noch ca. 30 Min. mit Gasballast, um mögli- che Restfeuchte abzuführen. Das Gasballastsystem der Scrollpumpe ist für den Anschluss einer externen Gasversorgung geeignet. Dazu stehen Kupplungen für den Anschluss G 1/8″ aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör zur Verfügung. Benötigte Werkzeuge ● Schraubenschlüssel, SW 13 ●...

  • Page 27: Netzanschluss Herstellen

    Installation Abb. 8: Externe Gasballastversorgung anschließen 1 Sinterfilter Gasballast Anschlussöffnung 2 Gasballastventil externe Gaszuleitung 3 Anschlusskupplung, exemplarisch externe Gasversorgung Gasversorgung anschließen 1. Drehen Sie das Gasballastventil in Stellung "0". 2. Schrauben Sie den Sinterfilter aus dem Ventilgehäuse heraus. 3. Schrauben Sie eine Anschlusskupplung mit Dichtring in die Filterbohrung G 1/8″ hinein. –...

  • Page 28: Abb. 9: Netzanschluss Herstellen

    Die Antriebselektronik startet zusammen mit dem Herstellen der Netzversorgung. Netzversorgung herstellen 1. Bestellen Sie ein länderspezifisches Netzkabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. 2. Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). 3. Stecken Sie das Netzkabel in den Anschlussstecker der Antriebselektronik.

  • Page 29: Schnittstellen

    Der 15-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "remote" bietet die Möglichkeit der Fernbedienung der Antriebselektronik. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. ► Verwenden Sie abgeschirmte Stecker und Kabel. n.c.

  • Page 30: Eingänge

    Betrieb mit Nenndrehzahl bzw. gewählter Drehzahl im Drehzahlstellbetrieb 6.2.2 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" haben eine Belastungsgrenze von maximal 24 V/50 mA pro Ausgang. Sie können alle aufgeführten Ausgänge mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurieren (Beschreibung bezogen auf die Werkseinstellungen). DO1/Pin 8...

  • Page 31: Rs-485

    Schnittstellen 6.2.3 RS-485 RS-485 über D-Sub anschließen ► Schließen Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder einen externen PC über Pin 13 und Pin 14 am D-Sub Anschluss der Antriebselektronik an. 6.3 Steuergerät anschließen Abb. 12: Anschluss eines Steuergeräts über Anschluss "remote" 1 Steuergerät...

  • Page 32: Pfeiffer Vacuum Protokoll Für Rs-485-Schnittstelle

    3. Schließen Sie alle Geräte mit RS-485 D+ und RS-485 D- am Bus an. 6.5 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 6.5.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein host (z.

  • Page 33: Telegramm Beispiel

    Schnittstellen Stellbefehl --> Datenantwort / Stellbefehl verstanden --> Fehlermeldung --> NO_DEF Parameternummer n2–n0 existiert nicht _RANGE Daten dn–d0 außerhalb des erlaubten Bereichs _LOGIC logischer Zugriffsfehler 6.5.3 Telegramm Beispiel 1 Datenabfrage Aktuelle Drehzahl (Parameter [P:309], Geräteadresse device: "123") --> ASCII Datenantwort: 633 Hz Aktuelle Drehzahl (Parameter [P:309], Geräteadresse device: "123") -->...
  • Page 34 Schnittstellen Datentyp Beschreibung Länge Beispiel l1 – l0 boolean_new Logischer Wert (falsch / wahr) 0 entspricht falsch 1 entspricht wahr u_short_int Positive ganze Zahl 000 bis 999 u_expo_new Positive Exponentialzahl. Die letzten bei- 100023 entspricht den Stellen sind der Exponent mit einem 1,0 ·...

  • Page 35: Parametersatz

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werkseitig in der An- triebselektronik programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Die Verwendung der Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Steuergeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Page 36 Parametersatz Anzeige Bezeichnun- Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault PressMode Druckregelung 0 = aus 1 = ein Cfg DO1 Konfiguration 0 = Schaltpunkt erreicht Ausgang DO1 1 = kein Fehler 2 = Fehler 5 = Solldrehzahl erreicht 6 = Pumpe ein 9 = immer "0"...

  • Page 37: Statusabfragen

    Parametersatz 7.3 Statusabfragen Anzeige Bezeichnungen Funktio- Daten- Zugriffs- Ein- min. max. heit fault RemotePrio Remote Vorrang 0 = nein 1 = ja Error code Fehlercode OvTempElec Übertemperatur Antriebs- 0 = nein elektronik 1 = ja OvTempPump Übertemperatur Pumpe 0 = nein 1 = ja SetRotSpd Solldrehzahl (Hz)
  • Page 38 Parametersatz Anzeige Bezeichnungen Funk- Daten- Zugriffs- Ein- min. max. tionen heit fault Pressure 1 Druckwert 1 1200.0 1 · 10 PrsCorrPi 1 Korrekturfaktor 1 RS485Adr RS-485 Schnittstellenad- resse Tab. 10: Sollwertvorgaben 38/158...

  • Page 39: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.

  • Page 40: Digitaleingang Konfigurieren

    Betrieb Option Beschreibung 10 = immer "1" +24 V DC für die Steuerung eines externen Gerätes 11 = Remote Vorrang aktiv aktiv, wenn Remote Vorrang aktiv 21 = Gasballastventil, verzögert +24 V DC zeitverzögert nach Pumpstand ein, nur bei Ausführung mit Gasballastventil Tab.

  • Page 41: Betriebsart Auswählen

    Betrieb Abb. 14: Belegung Zubehöranschluss 1 + 5 V (blau) + 24 V (je nach Software-Konfiguration) 2 Sensor RxD / host TxD (weiß) GND (schwarz) 3 Sensor TxD / host RxD (grün) Zubehör konfigurieren ► Konfigurieren Sie angeschlossenes Zubehör mit den Parametern [P:068] und [P:069], falls not- wendig.

  • Page 42: Normalbetrieb

    3. Kontrollieren Sie die Solldrehzahlen (Parameter [P:308] oder [P:397]). 8.5.2 Standby-Betrieb Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb während Prozess- oder Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Vakuumpumpe. Die Werkseinstellung beträgt 50 % der Nenndrehzahl. Der Standby-Betrieb hat Vorrang vor dem Drehzahlstellbetrieb.

  • Page 43: Auto-Boost

    Betrieb 8.5.4 Auto-Boost Die Vakuumpumpe läuft bei Überschreiten eines werkseitig fest eingestellten Schwellenwertes für max. 30 s mit 120 % der aktuell gewählten Solldrehzahl, und die grüne LED flackert. Anschließend ist der Boost-Modus softwareseitig für 5 min deaktiviert (Erholungszeit). Zugehörige Parameter einstellen 1.

  • Page 44: Effektiven Druck Mit Korrekturfaktoren Ermitteln

    Betrieb nicht erreichbar, erscheint die Warnung Wrn038. Der Druckregelbetrieb ist im Bereich zwischen End- druck und 30 hPa wirksam. Zugehörige Parameter einstellen 1. Stellen Sie den Parameter [P:020] auf "1". 2. Stellen Sie mit Parameter [P:730] den Zieldruck ein. 8.7 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln Gas- und Dampfgemische Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische.

  • Page 45: Gasballast Verwenden

    Betrieb p [hPa] Freon 12 –1 Water vapor –2 –3 –3 –2 –1 [hPa] Abb. 16: Angezeigter Druck Im Druckbereich < 1 hPa ist die Anzeige linear. Korrekturfaktor in der Antriebselektronik einstellen ► Geben Sie den Korrekturfaktor mit [P:742] zur Korrektur des angezeigten Messwertes ein. Alternativ: Druck für andere Gase als Luft berechnen 1.

  • Page 46: Gasballastventil Mit Drucksensor Steuern

    Betrieb HINWEIS Sachschäden durch Kondensation in der Vakuumpumpe Überschreiten des Sättigungsdampfdrucks von Prozessmedien während der Verdichtungsphase führt zur Kondensation im Schöpfraum. Eine Erhöhung des erreichbaren Enddrucks und generelle Ver- schlechterung der Leistungsdaten der Vakuumpumpe sind die Folge. Korrosion und Verschmutzung beeinträchtigen die Lebensdauer.

  • Page 47: Gasballastventil Ohne Drucksensor Steuern

    Betrieb RS-485 RS-485 RS-485 RS-485 Ventilsteuerung [P052] [P030] [P740] [P010] GB-Ventil Ventilmodus Druckwert HiScroll ein/aus permanent [deaktiviert] geschlossen > 3 mbar permanent offen < 3 mbar geschlossen [gültig] [aktiviert] [ein] [auto] [P:721] permanent [geschlossen] geschlossen permanent offen [offen] Abb. 17: Druckabhängige Gasballastventilsteuerung im Automatikmodus Vorgehen ►...

  • Page 48: Betriebsanzeige Über Led

    Betrieb 8.9 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤...

  • Page 49: Wartung

    Wartungsintervalle und Standzeiten Wartungsintervalle und Standzeiten sind prozessabhängig. Chemische und thermische Be- lastungen oder Verschmutzungen verkürzen die empfohlenen Richtwerte. ● Ermitteln Sie die spezifischen Standzeiten innerhalb des ersten Betriebsintervalls. ● Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 49/158...

  • Page 50: Auspuffseitiges Rückschlagventil Austauschen

    Für die Durchführung von Wartungsarbeiten des Levels 3 empfehlen wir den Pfeiffer Vacu- um Service (PV). Bei unsachgemäß ausgeführten Wartungsarbeiten entfallen jegliche Ge- währleistungs- und Haftungsansprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile verwenden. Sie können Wartungsarbeiten Level 1 eigenständig durchführen.

  • Page 51: Rückschlagventil Demontieren

    Wartung 9.3.1 Rückschlagventil demontieren Abb. 19: Ventil demontieren 1 Spiralgehäuse Druckfeder 2 O-Ring Ventilführung 3 Ventilteller Ventil demontieren 1. Schrauben Sie die Ventilführung mit Druckfeder und Ventilteller mit Hilfe des Stirnlochschlüssels aus dem Spiralgehäuse heraus. 2. Entnehmen Sie den O-Ring der Bohrung im Spiralgehäuse. 3.

  • Page 52: Gasballastventil Austauschen

    Wartung 9.4 Gasballastventil austauschen Voraussetzungen ● Vakuumpumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ● Elektrische Versorgung unterbrochen ● Netzkabel entfernt ● Vakuumeinlass mit dem original Schutzdeckel verschlossen Benötigtes Werkzeug ● Schlitzschraubendreher ● Innensechskantschlüssel, SW 2,5 ● Innensechskant Drehmomentschlüssel, SW 2,5 9.4.1 Gasballastventil demontieren Benötigte Werkzeuge ●...

  • Page 53: Gasballastventil Montieren

    Wartung Abb. 22: Gasballastventil demontieren 1 Zylinderschraube, 3x Druckfeder 2 Gasballast-Griff O-Ring 3 Ventilteller Grundplatte 4 Gewicht Gasballastventil demontieren 1. Schrauben Sie die Zylinderschrauben aus dem Gasballast-Griff heraus. 2. Nehmen Sie den Gasballast-Griff von der Grundplatte ab. 3. Entfernen Sie die Druckfeder mit Ventilteller aus dem Gasballast-Griff. 4.

  • Page 54: Tip Seal Wechseln

    Wartung Abb. 24: Gasballastventil montieren 1 O-Ring, 3x Sinterfilter 2 Gasballastventil Kugel 3 Spezialschraube Spiralgehäuse 4 Deckel Gasballastventil montieren 1. Legen Sie die O-Ringe in die dafür vorgesehenen Nuten im Spiralgehäuse. 2. Setzen Sie das Gasballastventil auf das Spiralgehäuse und achten Sie gleichzeitig darauf das sich die Kugel in die Nut im Spiralgehäuse setzt.
  • Page 55 Wartung Abb. 25: Lüfterhaube der Scrollpumpe lösen 1 Gasballastventil Innensechskantschraube 2 Lüfterhaube Auspuffanschluss ohne Schutzdeckel 3 Unterlegscheibe Zubehöranschluss Lüfterhaube lösen 1. Entfernen Sie vorhandene Anschlussstecker an den Zubehöranschlüssen (z. B. Drucksensor). 2. Schrauben Sie die 2 Innensechskantschrauben mit Unterlegscheiben aus der Lüfterhaube he- raus.

  • Page 56: Tip Seal Austauschen

    Wartung Abb. 27: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen 1 Innensechskantschraube (5×) Pumpengehäuse 2 Unterlegscheibe (5×) Innensechskantschraube als Hilfsschraube 3 Spiralgehäuse Untere Hilfsbohrung 4 Obere Hilfsbohrung Spiralgehäuse abnehmen 1. Schrauben Sie alle 5 Innensechskantschrauben aus dem Spiralgehäuse heraus. – Achten Sie auf die Unterlegscheiben. 2.
  • Page 57 Wartung Abb. 28: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen 1 Tip Seal Tip Seal 2 Orbiter O-Ring 3 Pumpengehäuse Spiralgehäuse Tip Seal entnehmen 1. Stellen Sie das Pumpengehäuse aufrecht. 2. Verwenden Sie den O-Ring-Picker und entnehmen den O-Ring aus dem Spiralgehäuse. 3.

  • Page 58: Pumpengehäuse Zusammenbauen

    Wartung 3. Benetzen Sie die Nut des Spiralgehäuses mit wenig Isopropanol als Montagehilfe für den O-Ring. 4. Setzen Sie den O-Ring vorsichtig in das Spiralgehäuse ein. 9.5.3 Pumpengehäuse zusammenbauen Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 5 ● Kalibrierter Drehmomentschlüssel Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Laborhandschuhe ●...

  • Page 59: Abschlussprüfung

    Wartung 4. Schrauben Sie das Lüftergehäuse mit den beiden Innensechskantschrauben und Unterlegschei- ben fest. – Anziehdrehmoment: 3,5 Nm 5. Optional: Befestigen Sie einen vorhandenen Gegenstecker auf dem Anschluss "remote" der An- triebselektronik. – Anziehdrehmoment: 0,4 Nm 9.6 Abschlussprüfung Voraussetzung ● Wartungsarbeiten mit Öffnen des Gehäuses durchgeführt Abschlussprüfung durchführen ►...

  • Page 60: Außerbetriebnahme

    Vorgehensweise für die Wiederinbetriebnahme der Vakuumpumpe 1. Reinigen Sie die Vakuumpumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 2. Lassen Sie die Vakuumpumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 3. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Vakuumpumpe und nehmen Sie ggf. Serviceleistungen von Pfeiffer Vacuum in Anspruch.

  • Page 61: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Page 62: Störungen

    ● Betriebsspannung in- ● Legen Sie die korrekte Betriebsspannung an. ronik leuchtet korrekt ● Antriebselektronik de- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. fekt Vakuumpumpe erreicht ● Leckage an der Vaku- 1. Führen Sie eine Lecksuche durch. nicht die Nenndrehzahl in- umpumpe 2.

  • Page 63: Fehlercodes

    Warnungen (* Warning F––– *) erscheinen nur und führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Steuergeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.

  • Page 64: Warn- Und Fehlermeldungen Bei Betrieb Mit Steuergeräten

    Störungen Fehler- Problem mögliche Ursa- Behebung code chen Err094 Temperaturauswertung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Elektronik fehlerhaft Err098 Interner Kommunikati- – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service onsfehler Err114 Temperaturauswertung – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service...
  • Page 65 Druckmessgerät aus ● Tauschen Sie das Druckmessgerät kom- plett aus ** Er- Hardwarefehler ● externes RAM defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- ror E040 ** vice ** Er- Hardwarefehler ● EPROM Prüfsumme falsch ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser-...

  • Page 66: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Page 67 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Page 68: Ersatzteile

    ► Setzen Sie nur original Ersatzteile ein. Abb. 31: HiScroll Wartungssatz 1 1 Tip Seal O-Ring Ersatzteilpaket Bestell-Nr. HiScroll 6 HiScroll 12 | HiScroll 18 Wartungssatz 1 – Wartung Level 1 PD E10 000 -T PD E20 000 -T Tab. 23: Ersatzteilpaket...
  • Page 69 HiScroll Ventilsatz 1 Ventilteller, 2× O-Ring, 19 × 2,5 2 Druckfeder, 2× O-Ringe, 6 × 3 3 O-Ring, 16 × 1,5 Ersatzteilpaket Bestell-Nr. HiScroll 6 | HiScroll 12 | HiScroll 18 Ventilsatz PD E13 000 -T Tab. 24: Ersatzteilpaket 69/158...

  • Page 70: Zubehör

    Zubehör 15 Zubehör 15.1 Zubehörinformationen Anzeigegeräte Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. Kabel und Adapter Netzkabel, Schnittstellen-, Verbindungs- und Verlängerungskabel bieten einen sicheren und geigneten Anschluss. Unterschiedliche Längen auf Anfrage Integrierte Druckmessung Auswertung und Ansteuerung durch die integrierte Antriebselektronik unabhängig von einer zusätzli- chen Stromversorgung Kondensatabscheider Schützen die Vakuumpumpe vor Flüssigkeiten aus der Ansaugleitung und von Kondensatrückfluss aus...
  • Page 71 Zubehör Artikel Bestellnummer Schnittstellenkabel RJ 45 auf M12 für HiPace PM 051 726 -T USB RS-485 Konverter PM 061 207 -T Tab. 25: Zubehör für HiScroll 71/158...

  • Page 72: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 16 Technische Daten und Abmessungen 16.1 Allgemeines Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Spiralvakuumpumpen: ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● DIN ISO 21360-1 2016: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibung"...
  • Page 73 Pa m³/s 5 · 10 Pa m³/s Gewicht 19 kg 19 kg 19 kg Tab. 28: Technische Daten für HiScroll 6 Auswahlfeld HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- pumpe, mit Druck- pumpe, mit Druck- pumpe, mit Druck-...
  • Page 74 Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- pumpe, mit Druck- pumpe, mit Druck- pumpe, mit Druck- sensor sensor, ohne GB sensor und automa- tisiertem GB Motortyp – – – Nennstromaufnahme 100 V – 127 V: 8 A | 100 V –...

  • Page 75: Medienberührende Werkstoffe

    Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiScroll 18, Scroll- HiScroll 18, Scroll- HiScroll 18, Scroll- pumpe, mit Druck- pumpe, mit Druck- pumpe, mit Druck- sensor sensor, ohne GB sensor und automati- siertem GB Betriebshöhe, max. 2500 m 2500 m 2500 m Schutzart IP40, Type 1 IP40, Type 1...

  • Page 76: Abmessungen

    16.4 Abmessungen 2 0 .5 2 6 0 4× Gummifüße/ rubber feet 1 1 4 DN 25 ISO-KF 2 9 8 2 0 7 .5 2 0 0 3 8 0 220.5 Abb. 33: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor 76/158...
  • Page 77 Technische Daten und Abmessungen 30.5 (4x) Gummifüße rubber feet DN 25 ISO-KF Abb. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor Maße in mm 77/158...

  • Page 78: Eg Konformitätserklärung

    DIN EN 61000-3-2: 2019 Semi S8 0218 DIN EN 63000: 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Dr. Adri- an Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar Deutschland (Daniel Sälzer)

  • Page 79: Konformitätserklärung

    IEC 61000-3-2: 2018 Semi S8 0218 IEC 63000: 2016 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 80 80/158...
  • Page 81 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Drive 3.1.2 Cooling 3.1.3 Shaft bearing 3.1.4 Gas ballast 3.1.5 Pressure sensor...
  • Page 82 Reference value inputs Operation Putting the vacuum pump into operation Switch vacuum pump on Configuring the connections with the Pfeiffer Vacuum parameter set 8.3.1 Configuring the digital outputs 8.3.2 Configuring the digital input 8.3.3 Selecting the interfaces 8.3.4 Configuring accessories...
  • Page 83 Table of contents 12.3 Warning and malfunction messages when operating with control units Service solutions by Pfeiffer Vacuum Spare parts Accessories 15.1 Accessory information 15.2 Ordering accessories Technical data and dimensions 16.1 General 16.2 Technical data 16.3 Substances in contact with the media 16.4 Dimensions...
  • Page 84 Accessories for HiScroll Tbl. 26: Conversion table: Pressure units Tbl. 27: Conversion table: Units for gas throughput Tbl. 28: Technical data for HiScroll 6 Tbl. 29: Technical data for HiScroll 12 Tbl. 30: Technical data for HiScroll 18 Tbl. 31:...
  • Page 85 Tip seal nut in the spiral housing Fig. 30: Assembling the housing parts Fig. 31: HiScroll maintenance kit 1 Fig. 32: HiScroll valve set Fig. 33: HiScroll 6 | Version with pressure sensor Fig. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version with pressure sensor 85/158...

  • Page 86: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.

  • Page 87: Instructions In The Text

    The rating plate is located clearly visible on a longitudinal side of D-35614 Asslar Berliner Str. 43 the vacuum pump. Mod. HiScroll 6 P/N PD S10 010 S/N - - - - - - - - ) max. 6.1 m Mass 19 kg TÜV Rheinland...

  • Page 88: Fig. 1: Position Of The Stickers On The Product

    About this manual Rating plate The rating plate is located clearly visible on a longitudinal side of D-35614 Asslar Berliner Str. 43 the vacuum pump. Mod. HiScroll 18 P/N PD S30 010 S/N - - - - - - - - ) max.

  • Page 89: Abbreviations

    About this manual 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Explanation Atmospheric pressure Operating instructions Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) Fluorinated rubber Gas ballast High vacuum [P:xxx] Parameters are printed in bold as three-digit numbers in square brackets. Example: [P:xxx] Software version Personal computer PTFE...

  • Page 90: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Page 91 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Inadequate or incorrect grounding of the unit leads to contact-sensitive voltage on the housing. When making contact, increased leakage currents will cause a life-threatening electric shock. ► Before the installation, check that the connection leads are voltage-free. ►...
  • Page 92 Safety CAUTION Danger of injury from bursting as a result of high pressure in the exhaust line Faulty or inadequate exhaust pipes lead to dangerous situations, e.g., increased exhaust pressure. There is a danger of bursting. Injuries caused by flying fragments, the escaping of high pressure, and damage to the unit cannot be excluded.
  • Page 93 Safety CAUTION Danger of injury from bursting as a result of high pressure in the exhaust line Faulty or inadequate exhaust pipes lead to dangerous situations, e.g., increased exhaust pressure. There is a danger of bursting. Injuries caused by flying fragments, the escaping of high pressure, and damage to the unit cannot be excluded.

  • Page 94: Safety Precautions

    Safety Risks in the event of malfunctions WARNING Danger to life from electric shock in the event of a fault In the event of a fault, devices connected to the mains may be live. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.

  • Page 95: Proper Use

    The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.

  • Page 96: Ensuring Personnel Qualification

    ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.

  • Page 97: Product Description

    3 Product description 3.1 Function The Pfeiffer Vacuum scroll pump is a vacuum pump operating dry in a suction chamber for generating a coarse or medium vacuum according to the physical pumping principle of a spiral vacuum pump. The pump is equipped with an integrated drive and control unit. A three-stage gas ballast system supports the prevention of condensation accumulating in the vacuum pump.

  • Page 98: Drive

    Product description Fig. 3: HiScroll design, version with pressure sensor 1 Protective cover for DN 25 vacuum connection Accessory connection "C" 2 Eye bolt Accessory connection "D" 3 Dummy cover for version without GB "Remote" connecting socket 4 Fan cover Electronic drive unit 5 Vacuum connection Base with fixing hole...

  • Page 99: Connections

    Interfaces of the electronic drive unit 3.3 Identifying the product ► To ensure clear identification of the product when communicating with Pfeiffer Vacuum, always keep all of the information on the rating plate to hand. ► Learn about certifications through test seals on the product or at www.certipedia.com...

  • Page 100: Transportation And Storage

    Transportation and Storage 4 Transportation and Storage 4.1 Transporting vacuum pump WARNING Risk of serious injury from swinging, toppling or falling objects During transport, there is a risk of crushing and impact on swinging, toppling or falling objects. There is a risk of injuries to limbs, up to and including bone fractures and head injuries. ►...

  • Page 101: Storing The Vacuum Pump

    Transportation and Storage Transporting the vacuum pump without its packaging 1 eye bolt is included in the scope of delivery. It is securely bolted to the vacuum pump at the factory. 1. Attach suitable lifting tools to the eye bolt. 2.

  • Page 102: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Set up the vacuum pump WARNING Mortal danger from electric shock caused by water damage The device complies with protection degree IP40 according to DIN EN 60529: 2014 and is not pro- tected against water ingress. Vacuum pumps operated on the floor lead to leakage current in pene- trating and surrounding water.

  • Page 103: Connecting The Exhaust Side

    Installation Condensate separator Pfeiffer Vacuum recommends the installation of a condensate separator in case vapors are formed from moisture during evacuation. Fig. 6: Example of vacuum connection 1 Vacuum connection of the scroll pump Circlip 2 Protective cap Centering ring...

  • Page 104: Connecting Gas Ballast External Supply

    The gas ballast system of the scroll pump is suitable for being connected to a gas external supply. Cou- plings for the G 1/8" connection from the Pfeiffer Vacuum accessories range are available for this pur- pose.

  • Page 105: Connecting To Mains Power Supply

    Installation Fig. 8: Connecting gas ballast external supply 1 Sinter filter Gas ballast connection opening 2 Gas ballast valve External gas supply line 3 Example of connecting coupling External gas supply Connecting gas supply 1. Turn the gas ballast valve to position “0”. 2.

  • Page 106: Fig. 9: Connecting To Mains Power Supply

    The electronic drive unit starts when the mains supply is established. Establishing mains supply 1. Order a country-specific power cable from the Pfeiffer Vacuum accessories. 2. Always ensure a secure connection to the earthed conductor. 3. Plug the mains cable into the connecting plug of the electronic drive unit.

  • Page 107: Interfaces

    The 15-pin sub-D connection with the "remote" designation offers the possibility to operate the electron- ic drive unit via remote control. The following specifications are the factory settings for the electronic drive unit. They can be configured with the Pfeiffer Vacuum parameter set. ► Utilize the screened plug and cable.

  • Page 108: Inputs

    6.2.2 Outputs The digital outputs at the "remote" connection have a maximum load limit of 24 V/50 mA per output. You can configure all listed outputs with the Pfeiffer Vacuum parameter set via the RS-485 interface (description relates to factory settings).

  • Page 109: Rs-485

    DO2/Pin 9 Active high 6.2.3 RS-485 Connecting RS-485 via D-Sub ► Connect a Pfeiffer Vacuum control unit or an external PC via pin 13 and pin 14 at the D-Sub con- nection of the electronic drive unit. 6.3 Connecting control unit Fig. 12: Connecting a control unit via the "remote"...

  • Page 110: Pfeiffer Vacuum Protocol For Rs-485 Interface

    3. Connect all devices with RS-485 D+ and RS-485 D- to the bus. 6.5 Pfeiffer Vacuum protocol for RS-485 interface 6.5.1 Telegram frame The telegram frame of the Pfeiffer Vacuum protocol contains only ASCII code characters [32; 127], the exception being the end character of the telegram C . Basically, a host (e.g.

  • Page 111: Telegram Description

    Interfaces 6.5.2 Telegram description Data query --> Control command --> Data response / Control command understood --> Error message --> NO_DEF Parameter number n2–n0 no longer exists _RANGE Data dn–d0 outside the permissible range _LOGIC Logical access error 6.5.3 Telegram example 1 Data query Current rotation speed (parameter [P:309], device address: "123") -->...

  • Page 112: Data Types

    Interfaces 6.5.5 Data types Data type Description Length Example l1 – l0 boolean_old Logical value (false/true) 000000 is equivalent to false 111111 is equivalent to true u_integer Positive whole number 000000 to 999999 u_real Fixed point number (unsigned) 001571 corresponds with 15.71 string Any character string with 6 charac-...

  • Page 113: Parameter Set

    Each parameter has a three-digit number and a description. The parameter can be accessed via Pfeiffer Vacuum control units or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol. The vacuum pump starts in standard mode with factory default pre-set parameters.
  • Page 114 Parameter set Display Designations Functions Data Unit min. max. type cess fault type PressMode Pressure regu- 0 = off lation 1 = on Cfg DO1 Output DO1 0 = Switch-point reached configuration 1 = No error 2 = Error 5 = Set rotation speed reached 6 = Pump on 9 = Always "0"...

  • Page 115: Status Requests

    Parameter set 7.3 Status requests Display Designations Func- Data Access Unit min. max. tions type type fault RemotePrio Remote priority 0 = no 1 = yes Error code Error code OvTempElec Excess temperature drive 0 = no electronics 1 = yes OvTempPump Excess temperature pump 0 = no...
  • Page 116 Parameter set Display Designations Func- Data Access Unit min. max. tions type type fault PrsCorrPi 1 Correction factor 1 RS485Adr RS-485 Interface address Tbl. 10: Reference value inputs 116/158...

  • Page 117: Operation

    Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via Pfeiffer Vacuum displays and control units, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.

  • Page 118: Configuring The Digital Input

    Operation Option Description 9 = Always "0" GND for the control of an external device 10 = Always "1" +24 V DC for the control of an external device 11 = Remote priority active active, if the remote priority is active 21 = Gas ballast valve, delayed +24 V DC with a time delay after pumping station on, only in version with gas ballast valve...

  • Page 119: Selecting Operating Mode

    Operation Fig. 14: Accessory connector assignment 1 + 5 V (blue) + 24 V (depending on software configuration) 2 Sensor RxD / host TxD (white) GND (black) 3 Sensor TxD / host RxD (green) Configuring accessories ► Configure connected accessories with parameters [P:068] and [P:069], if necessary. –...

  • Page 120: Normal Operation

    3. Check the set rotation speed (parameter [P:308] or [P:397]). 8.5.2 Standby mode Pfeiffer Vacuum recommends standby mode for during process and production stops. When standby mode is active, the electronic drive unit reduces the rotation speed of the vacuum pump. The factory setting is 50 % of the nominal rotation speed.

  • Page 121: Auto Boost

    Operation Set the rotation speed setting mode 1. Set the parameter [P:707] to the required value in %. 2. Set the parameter [P:026] to "1". 3. Check the set rotation speed (parameter [P:308] or [P:397]). 8.5.4 Auto boost If a threshold value set at the factory is exceeded, the vacuum pump runs for max. 30 s with 120 % of the current selected set rotation speed and the green LED flickers.

  • Page 122: Pressure Regulation Operation

    Operation 8.6 Pressure regulation operation Pressure regulation operation is only possible with the pressure sensor connected. The pressure sensor measures the intake pressure. The electronic drive unit varies the rotation speed of the vacuum pump so that the target pressure is adjusted. If the target pressure cannot be reached under the specified conditions (e.g.

  • Page 123: Operation With Gas Ballast

    Operation p [hPa] Freon 12 –1 Water vapor –2 –3 –3 –2 –1 [hPa] Fig. 16: Displayed pressure Within the pressure range < 1 hPa, the display is linear. Set correction factor at electronic drive unit ► Use [P:742] to enter correction factor and correct displayed measured value. Alternatively: Calculating pressure for gases other than air 1.

  • Page 124: Controlling Gas Ballast Valve With A Pressure Sensor

    Operation NOTICE Risk of damage from condensation in vacuum pump Exceeding the saturation vapor pressure of process media during the compression phase leads to condensation in the suction chamber. This results in an increase of the achievable ultimate pressure and to a general deterioration of the performance data of the vacuum pump as a whole. Corrosion and contamination impair service life.

  • Page 125: Controlling Gas Ballast Valve Without A Pressure Sensor

    Operation RS-485 RS-485 RS-485 RS-485 valve control [P052] [P030] [P740] [P010] GB valve valve mode pressure value HiScroll on/off always [disabled] closed always open > 3 mbar closed < 3 mbar [valid] [enabled] [on] [auto] [P:721] always [closed] closed always open [open] Fig.

  • Page 126: Operating Mode Display Via Led

    8.9 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum display and control unit or a PC.

  • Page 127: Maintenance

    ► Disconnect the mains cable from the vacuum pump. NOTICE Danger of property damage from improper maintenance Unprofessional work on the vacuum pump will lead to damage for which Pfeiffer Vacuum accepts no liability. ► We recommend taking advantage of our service training offering.

  • Page 128: Replacing The Non-Return Valve On The Exhaust Side

    We recommend that Pfeiffer Vacuum Service (PV) carry out maintenance work at level 3. Pfeiffer Vacuum will be released from all warranty and liability claims if maintenance work is not carried out properly. This also applies wherever parts other than original spare parts are used.

  • Page 129: Removing The Non-Return Valve

    Maintenance 9.3.1 Removing the non-return valve Fig. 19: Removing valve 1 Spiral housing Compression spring 2 O-ring Valve guide 3 Valve plate Removing valve 1. Use the face spanner to unscrew the valve guide with compression spring and valve plate from the spiral housing.

  • Page 130: Replacing The Gas Ballast Valve

    Maintenance 9.4 Replacing the gas ballast valve Prerequisites ● Vacuum pump switched off ● Vacuum system vented to atmospheric pressure ● Electrical supply disconnected ● Mains cable disconnected ● Vacuum inlet sealed with the original protective cover Required tools ● Slot screwdriver ●...

  • Page 131: Installing Gas Ballast Valve

    Maintenance Fig. 22: Removing gas ballast valve 1 Cylinder screw, 3x Compression spring 2 Gas ballast handle O-ring 3 Valve plate Base plate 4 Weight Removing gas ballast valve 1. Unscrew the cylinder screws from the gas ballast handle. 2. Remove the gas ballast handle from the base plate. 3.

  • Page 132: Changing The Tip Seal

    Maintenance Fig. 24: Installing gas ballast valve 1 O-ring, 3x Sinter filter 2 Gas ballast valve Ball 3 Special screw Spiral housing 4 Cover Installing gas ballast valve 1. Insert the O-rings into the designated grooves in the spiral housing. 2.

  • Page 133: Fig. 25: Loosening The Fan Cover On The Scroll Pump

    Maintenance Fig. 25: Loosening the fan cover on the scroll pump 1 Gas ballast valve Hexagon socket screw 2 Fan cover Exhaust connection without protective cap 3 Washer Accessory connection Loosening the fan cover 1. Remove any power supply plugs from the accessory connections (e.g., pressure sensor). 2.

  • Page 134: Replacing The Tip Seal

    Maintenance Fig. 27: Removing the scroll pump spiral housing 1 Hexagon socket screw (5×) Pump housing 2 Washer (5×) Hexagon socket screw as an auxiliary hole 3 Spiral housing Bottom auxiliary hole 4 Top auxiliary hole Removing the spiral housing 1.

  • Page 135: Fig. 28: Replacing The Tip Seal On The Scroll Pump

    Maintenance Fig. 28: Replacing the tip seal on the scroll pump 1 Tip seal Tip seal 2 Orbiter O-ring 3 Pump housing Spiral housing Removing the tip seal 1. Place the pump housing in an upright position. 2. Use the o-ring picker and remove the o-ring from the spiral housing. 3.

  • Page 136: Assembling The Pump Housing

    Maintenance 3. Moisten the groove of the spiral housing with a little isopropanol as an assembly aid for the o-ring. 4. Carefully insert the o-ring into the spiral housing. 9.5.3 Assembling the pump housing Required tools ● Allen key, WAF 5 ●...

  • Page 137: Final Inspection

    Maintenance 4. Secure the fan housing with both hexagon socket screws and washers. – Tightening torque: 3.5 Nm 5. Optional: Fasten an existing mating plug on the “remote” connection of the electronic drive unit. – Tightening torque: 0.4 Nm 9.6 Final inspection Prerequisite ●...

  • Page 138: Decommissioning

    1. Clean the vacuum pump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 2. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the vacuum pump. 3. Observe the total running time of the vacuum pump and if necessary, use support services of Pfeiffer Vacuum.

  • Page 139: Recycling And Disposal

    – Fluoroelastomers (FKM) – Potentially contaminated components that come into contact with media 11.2 Disposing of the scroll pump Pfeiffer Vacuum scroll pumps contain materials which must be recycled. 1. Disconnect the electronic drive unit. 2. Dismantle the motor. 3. Decontaminate the components that come into contact with process gases.

  • Page 140: Malfunctions

    ● Incorrect operating volt- ● Supply the correct operating voltage. ● Electronic drive unit de- ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. fective The vacuum pump fails to reach ● Leakage on the vacuum 1. Carry out leak detection.

  • Page 141: Error Codes

    Warnings (* Warning F –––– *) are only displayed and do not cause components to be switched off. Handling malfunction messages 1. Read out error codes via Pfeiffer Vacuum control units or a PC. 2. Remove the cause of the malfunction.

  • Page 142: Warning And Malfunction Messages When Operating With Control Units

    Error Problem Possible causes Remedy code Err114 Final stage temperature – ● Contact Pfeiffer Vacuum Service evaluation faulty Err118 Excess temperature, final ● Insufficient ● Check to make sure the fan is working. stage cooling ● Check the fan connecting cable for a correct fit and damage.
  • Page 143 ● Replace the pressure gauge com- pletely ** Error E040 ** Hardware error ● external RAM faulty ● Contact Pfeiffer Vacuum Service ** Error E042 ** Hardware error ● EPROM checksum incorrect ● Contact Pfeiffer Vacuum Service ** Error E043 ** Hardware error ●...

  • Page 144: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Page 145 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Page 146: Spare Parts

    Fig. 31: HiScroll maintenance kit 1 1 Tip seal O-ring Spare part package Order number HiScroll 6 HiScroll 12 | HiScroll 18 Maintenance kit 1 – maintenance level 1 PD E10 000 -T PD E20 000 -T Tbl. 23: Spare part package...

  • Page 147: Tbl. 24: Spare Part Package

    O-ring, 19 × 2.5 2 Compression spring, 2× O-ring, 6 × 3 3 O-ring, 16 × 1.5 Spare part package Order number HiScroll 6 | HiScroll 12 | HiScroll 18 Valve set PD E13 000 -T Tbl. 24: Spare part package 147/158...

  • Page 148: Accessories

    Accessories 15 Accessories 15.1 Accessory information Display units Display and operating units are used to check and adjust operating parameters. Cable and adapter Mains, interface, connection, and extension cables provide a secure and suitable connection. Different lengths on request Integrated pressure measurement Evaluation and control by the integrated electronic drive unit, independently of an additional power sup- Condensate separator Protect the vacuum pump against fluids from the intake line and from the condensate return from the...

  • Page 149: Tbl. 25: Accessories For Hiscroll

    Accessories Article Order number RJ 45 interface cable on M12 for HiPace PM 051 726 -T USB RS-485 converter PM 061 207 -T Tbl. 25: Accessories for HiScroll 149/158...

  • Page 150: Technical Data And Dimensions

    Technical data and dimensions 16 Technical data and dimensions 16.1 General Basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum spiral vacuum pumps: ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ● ISO 21360-1 2016: “Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump per- formance - Part 1: General description”...
  • Page 151 Pa m³/s 5 · 10 Pa m³/s Weight 19 kg 19 kg 19 kg Tbl. 28: Technical data for HiScroll 6 Selection field HiScroll 12, scroll HiScroll 12, scroll HiScroll 12, scroll pump, incl. pres- pump, with pressure pump, with pressure...
  • Page 152 Technical data and dimensions Selection field HiScroll 12, scroll HiScroll 12, scroll HiScroll 12, scroll pump, incl. pres- pump, with pressure pump, with pressure sure sensor sensor, without GB sensor and automat- ed GB Motor protection Internal Internal Internal Mains cable included I/O interfaces RS-485 RS-485...

  • Page 153: Substances In Contact With The Media

    Technical data and dimensions Selection field HiScroll 18, scroll HiScroll 18, scroll HiScroll 18, scroll pump, incl. pressure pump, with pressure pump, with pressure sensor sensor, without GB sensor and automat- ed GB Temperature: Shipping -25 – 55 °C -25 – 55 °C -25 –...

  • Page 154: Dimensions

    2 0 .5 2 6 0 4× Gummifüße/ rubber feet 1 1 4 DN 25 ISO-KF 2 9 8 2 0 7 .5 2 0 0 3 8 0 220.5 Fig. 33: HiScroll 6 | Version with pressure sensor 154/158...
  • Page 155 Technical data and dimensions 30.5 (4x) Gummifüße rubber feet DN 25 ISO-KF Fig. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version with pressure sensor Dimensions in mm 155/158...

  • Page 156: Ec Declaration Of Conformity

    DIN EN 61000-3-2: 2019 Semi S8 0218 DIN EN 63000: 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Dr. Adrian Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

  • Page 157: Declaration Of Conformity

    Semi S8 0218 IEC 63000: 2016 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 158 Notizen / Notes:...

This manual is also suitable for:

Hiscroll 12Hiscroll 18

Table of Contents