Varian Turbo-V 2000 HT Instruction Manual page 9

Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei de-
nen ein "sauberes" Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für an-
derweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies
oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-
geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-
gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
NEIN
!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei
Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines fle-
xiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbo-
pumpe immer am Unterteil fest installiert.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT dürfen nur
mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-
9562) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe ange-
schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die
Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
!
GEFAHR!
Die von der Pumpe gelieferte Leistungsstärke ist an den zu
pumpenden Gastyp anzupassen. Über den Controller (siehe
Betriebsanleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON
(Default: ARGON) ausgewählt werden. Für die Verwendung der
Pumpe mit anderweitigen Gasen ist mit Varian Rücksprache zu
halten.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 30000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Die Turbopumpe mit ISOF Eintrittsflansch ist an der Vakuum-
kammer mit 12 Schrauben M10 aus Stahl mind. Klasse 8.8
2
( = 800 N/mm ) zu befestigen. Es wird ein Schließmoment
s
r
von 22 Nm empfohlen.
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang
"Technical Information".
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-
serkühlung arbeiten.
!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-
schen Druck sein.
!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit ei-
ner Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der La-
ger ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad-
vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
GEFAHR!
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-969-01