Varian Turbo-V 2000 HT Instruction Manual page 19

Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen
er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian
Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal
benyttes til andre former for brug.
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
NEJ!
! ! ! !
ADVARSEL!
For at undgå personskader må fingre eller andre
genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen.
Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional).
Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af
metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til
basen.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
"Technical Information" for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000HT serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primær pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.
! ! ! !
ADVARSEL!
Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede
gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for
styreenheden) er det muligt at vælge LUFT eller ARGON
(standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis
pumpen skal benyttes til andre gastyper.
Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange
fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 30000 Nm omkring aksen.
Turbopumpen med ISOF indgangsflange skal monteres på va-
kuumkammeret ved hjælp af 12 M10 stålskruer (min. styrkek-
2
lasse 8,8 (σ = 800 N/mm )). Anbefalet tilspændingsmoment:
r
22 Nm.
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til "Technical Information".
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. I forbindelse
vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under
opvarmningen.
! ! ! !
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet
med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget
"Technical Information").
! ! ! !
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af Turbo-V2000HT typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
! ! ! !
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
14
BRUGSANVISNING
med eventuel opvarmning
ADVARSEL!
! ! ! !
VIGTIGT!
! ! ! !
VIGTIGT!
! ! ! !
VIGTIGT!
ADVARSEL!
ADVARSEL!
BEMÆRK
skrottes, skal dette
87-900-969-01
af
foregå i