Bruksanvisning - Varian Turbo-V 2000 HT Instruction Manual

ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är turbomolekylära pumpar
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan
användas för pumpning
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V2000HT -seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
! ! ! !
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
! ! ! !
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-
standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
•
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
•
Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
•
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
•
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
•
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
! ! ! !
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
! ! ! !
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
för yrkesmässig användning.
av alla typer av gas eller
i soporna. Materialet
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp
av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det
behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens
hölje.
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska
anslutas till systemet.
är
Kontrollera att
användningsområde. Pumpen är konstruerad för användning i
pumpsystem för PVD eller vanliga användningsområden som
kräver ett "rent"
Technologies eller din leverantör om pumpen ska användas för
andra ändamål.
15

BRUKSANVISNING

OBSERVERA
! ! ! !
VARNING!
! ! ! !
VIKTIGT !
pumpen är lämplig
vakuum. Kontakta Varian
87-900-969-01
för dess
Vacuum