Varian Turbo-V 2000 HT Instruction Manual page 25

Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön.
Pumppu on suunniteltu
pumppausjärjestelmissä tai
vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota yhteys Varian Vacuum
Technologies -yritykseen tai jälleenmyyjään, jos pumppua
halutaan käyttää muihin tarkoituksiin.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
EI!
! ! ! !
VAARA!
Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun
syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti.
Suosittelemme pikkuisen
(valinnainen), mikäli
tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä
turbopumppu aina jalustaan kiinni.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
- maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine
- lämpötila: + 5°C - +35°C
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy "Technical
Information"-liitteestä.
Sarjan V2000HT turbomolekyylipumppuja
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-
9462, 969-9562) ja niiden
pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
! ! ! !
Pumpun antama tehotaso
kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan käsikirja) avulla
ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat käyttää
pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen tarkoitukseen
kiinnittämiseen.
ISOF-imulaipalla varustettu
tyhjökammioon 12 teräsruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle
8.8 ( = 800 N/mm
s
r
kiristysmomenttia.
Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla
tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy "Technical Information". – liittestä.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.
käytettäväksi PVD-
yleensä tarkoituksiin, joissa
suojaverkon käyttöä
syöttöaukossa käytetään
tulee käyttää
täytyy olla yhdistettyinä
VAARA!
tulee sovittaa pumpattuun
sopivia lisävarusteita
turbopumppu tulee kiinnittää
2
). Suosittelemme 22
tulee kiinnittää
KÄYTTÖ
Turbopumpun
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo
voidaan kuumentaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana
sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.
Älkää koskeko
kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan
henkilöiden loukkaantumisia.
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite "Technical information").
Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää
tarkoitettu venttiili
pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50°.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
sen
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle
advanced exchange
täytettävä ja
Nm
"Turvallisuus ja
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu
lainsäädännön määräämällä tavalla.
20
KÄYTTÖOHJEET
oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat
käyttämällä lisätilauksesta
! ! ! !
VAARA!
turbopumppuun tai
! ! ! !
HUOMIO!
! ! ! !
HUOMIO!
! ! ! !
HUOMIO!
! ! ! !
VAARA!
! ! ! !
VAARA!
pumppuun ilmaa
ja odottakaa roottorin
HUOMAUTUS
serviceä varten, on
toimitettava paikalliseen
Terveys"-kaavake, joka
täytyy romuttaa, toimikaa
87-900-969-01
ohjeet
saatavaa
sen lisäosiin
avaten siihen
täydellistä
korjausta tai
ehdottomasti
myyntitoimistoon
löytyy liitteenä
kansallisen