Pfeiffer Vacuum TCP 350 PN Operating Instructions Manual
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Pfeiffer Vacuum TCP 350 PN Operating Instructions Manual

Electronic drive unit
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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
TCP 350 PN
Antriebselektronik
Electronic drive unit
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Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum TCP 350 PN

  • Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original TCP 350 PN Antriebselektronik Electronic drive unit...

  • Page 2: Telegramm Beispiel

    Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Page 3: Table Of Contents

    Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Varianten Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text 1.3.2 Piktogramme 1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 1.3.4 Abkürzungen Markennachweis Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation Produktbeschreibung Produkt identifizieren Produktmerkmale...
  • Page 4 Statusabfragen Sollwertvorgaben Betrieb Gerät einschalten LC-Anzeige Statussymbole Tastenfunktionen Parameter anzeigen und konfigurieren Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 7.6.1 Allgemeines 7.6.2 Digitalausgang und Relais konfigurieren 7.6.3 Analogausgang konfigurieren 7.6.4 Zubehöranschluss konfigurieren Betriebsarten 7.7.1 Fernbedienung 7.7.2 Gasartabhängiger Betrieb 7.7.3 Hochlaufzeit 7.7.4 Drehzahlschaltpunkt einstellen...
  • Page 5 Inhaltsverzeichnis Technische Daten und Abmessungen 13.1 Technische Daten 13.2 Maßbilder EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 5/126...
  • Page 6 Tab. 45: Verhalten und Bedeutung der LED Anzeige Tab. 46: Verhalten und Bedeutung der Profinet LED Tab. 47: Fehlermeldungen der Antriebselektronik Tab. 48: Warnmeldungen der Antriebselektronik Tab. 49: Fehlermeldungen der Antriebselektronik Tab. 50: Warnmeldungen der Antriebselektronik Tab. 51: Zubehör Tab. 52: TCP 350 PN 6/126...
  • Page 7 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt Abb. 2: TCP 350 PN Anschlüsse und Bedienelemente Abb. 3: Turbopumpe an der Antriebselektronik anschließen Abb. 4: Anschlussplan TCP350 mit Zubehöranschluss M12 Abb. 5: Anschlussplan TCP350 mit Zubehöranschluss M8 Abb. 6: Anschlussplan TCP350 mit Zubehöranschluss RJ45...

  • Page 8: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.

  • Page 9: Aufkleber Auf Dem Produkt

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Typenschilder der Geräte befinden sich gut sichtbar auf dem Ge- Ser. Nr.: Mod.: TCP 350 PN häuse PM C01 744 Mod--Nr.: Input: 115/230 V -20/+15% 50/60 Hz Output: 0 -72 V / 6.5 A 420 VA...

  • Page 10: Markennachweis

    Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Pirani Transmitter Profinet (Process Field Network) [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion Piezo/Pirani Transmitter RS-485 Standard für eine physische Schnittstelle für die asynchrone serielle Datenübertragung (Recommended Standard) Profinet Status LED Systemfehler (system fault) Schalter am Netzteil...

  • Page 11: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...

  • Page 12: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung.

  • Page 13: Einsatzgrenzen Des Produkts

    ● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. 13/126...
  • Page 14 Sicherheit Personen schulen 1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt. 2. Lassen Sie zu schulendes Personal nur unter Aufsicht durch geschultes Personal mit und an dem Produkt arbeiten. 3. Lassen Sie nur geschultes technisches Personal mit dem Produkt arbeiten. 4. Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Betriebsanleitung und alle mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat, insbesondere Sicherheits-, Wartungs- und Instandsetzungsinformationen.

  • Page 15: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.

  • Page 16: Anschlüsse

    REMOTE High Density D-Sub-Buchse mit 26 Polen für den Anschluss und die Konfiguration einer Fernbedienung. RS485 RJ45 Steckkontakt, 8-polig für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Bediengeräten ↑ (z. B. HPU oder eines PCs) mit RS485/RS232- oder RS485/USB-Adapter. SERVICE RJ45 Steckkontakt, 8-polig für Servicezwecke.

  • Page 17: Installation

    ► Ziehen Sie den Netzstecker vom Gerät ab. ► Sichern Sie das Gerät gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschalten. Der externe Anschluss einer Pfeiffer Vacuum Turbopumpe an die Antriebselektronik TCP 350 ist mit ge- schirmten Verbindungskabeln in verschiedenen Längen aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm möglich.

  • Page 18: Anschlussdiagramm

    Installation Abb. 3: Turbopumpe an der Antriebselektronik anschließen 1 Antriebselektronik TCP 350 Befestigungsmaterial 2 Turbopumpe Erdungskabel PE 3 Anschluss "Vakuumpumpe" Pumpenanschlusskabel 4 Zubehöranschlüsse Anschluss "PUMP" am TCP Vorgehen 1. Verwenden Sie das entsprechende Verbindungskabel aus dem Lieferumfang der Antriebselektro- nik oder aus dem Zubehörprogramm. 2.

  • Page 19: Abb. 4: Anschlussplan Tcp350 Mit Zubehöranschluss M12

    Installation potentialfree contacts Abb. 4: Anschlussplan TCP350 mit Zubehöranschluss M12 19/126...

  • Page 20: Abb. 5: Anschlussplan Tcp350 Mit Zubehöranschluss M8

    Installation Potential-free contacts Abb. 5: Anschlussplan TCP350 mit Zubehöranschluss M8 20/126...

  • Page 21: Abb. 6: Anschlussplan Tcp350 Mit Zubehöranschluss Rj45

    Installation potential-free contacts Abb. 6: Anschlussplan TCP350 mit Zubehöranschluss RJ45 21/126...

  • Page 22: Anschluss "Profinet

    Der 26-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "REMOTE" bietet die Möglichkeit der Fernbedie- nung der Antriebselektronik. Die bedienbaren Einzelfunktionen sind durch "SPS-Pegel" dargestellt. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. Benötigte Werkzeuge ● kalibrierter Drehmomentschlüssel ●...
  • Page 23 Installation Eingangssignale Ausgangssignale ● High-Pegel: +13 bis +33 VDC ● High-Pegel: +20 bis +28 VDC ● Low-Pegel: -33 bis +7 VDC ● Low-Pegel: 0 bis +3 VDC Tab. 9: Logikpegel der digitalen Ein- und Ausgänge Fernbedienung an "REMOTE" anschließen ► Entfernen Sie den Remotestecker von der Antriebselektronik und schließen Sie eine Fernbedie- nung an.

  • Page 24: Spannungsversorgung

    Die digitalen Eingänge am Anschluss "REMOTE" dienen der Schaltung verschiedener Funktionen der Antriebselektronik. Die Eingänge DI1 bis DI2 sind ab Werk mit Funktionen belegt. Diese können Sie über die Schnittstelle RS-485 und den Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren. DI1 (Freigabe Fluten)/Pin 2...

  • Page 25: Ausgänge

    4.7.3 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "REMOTE" haben eine Belastungsgrenze von maximal 24 V/ 50 mA pro Ausgang. Sie können alle unten aufgeführten Ausgänge mit dem Pfeiffer Vacuum Parame- tersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurieren (Beschreibung bezogen auf die Werkseinstellun- gen).

  • Page 26: Transmitter Anschließen

    ● Die Verwendung von weiterem Zubehör für Turbopumpen ist nach Konfiguration der Antriebselektronik möglich. ● Konfiguration des gewünschten Zubehörausgangs über Bedientasten auf der Frontsei- te, RS-485-Schnittstelle, mittels Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC. Verbindungskabel Zubehör- Zube- Strombelas- hör...

  • Page 27: Elektrische Versorgung Anschließen

    Installation Vorgehen 1. Schließen Sie bei Bedarf einen Transmitter am Anschluss "GAUGE" an. 2. Entsprechende Verbindungskabel erhalten Sie im Pfeiffer Vacuum Zubehör. 3. Ändern Sie ggf. den Anzeigenamen des Transmitters über die Einstellung des Parameters [P:738]. 4.10 Elektrische Versorgung anschließen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen...

  • Page 28: 2Netzanschluss Herstellen

    Installation 4.10.2 Netzanschluss herstellen Netzversorgung herstellen 1. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter "POWER" des Netzteils vor dem Anschluss ausge- schaltet ist. 2. Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE), Schutzklasse I. 3. Stecken Sie das Netzanschlusskabel (nicht im Lieferumfang) in den Anschlussstecker "AC in" auf der Geräterückseite.

  • Page 29: Schnittstellen

    Schnittstellen 5 Schnittstellen 5.1 Schnittstelle Profinet 5.1.1 Anschlüsse verbinden Über die Anschlüsse mit der Bezeichnung „PN1“ und „PN2“ an der Antriebselektronik ist die Einbindung der Turbopumpe in ein Profinet Bussystem möglich. Die Schnittstelle ist galvanisch sicher von der maxi- mal auftretenden Versorgungsspannung der Antriebselektronik getrennt. 5.1.2 Geräteidentifikation festlegen Gerätenamen und IP-Adresse vergeben ►...
  • Page 30 Schnittstellen Byte Name Speed TMP Simple TMP Generic TMP vent valve purge valve 2–3 speed_setpoint Solldrehzahl im Drehzahlstellbe- trieb (Hz, Unsigned16) Tab. 14: Speed controlled TMP assembly module: Output Data (SPS an TCP) Byte Name Speed TMP Simple TMP Generic TMP at standby speed at rated speed at target speed...
  • Page 31 Schnittstellen Byte Name Bedeutung 0–3 value Messwert (Float32) status Status des Messwertes (Unsigned8) 11h: ok, 21h: unsicher, 31h: schlecht Tab. 18: DrivePower: Input Data (TCP an SPS) Byte Name Bedeutung 0–1 value 0: kein Fehler 1-999: Fehler 1-999 1001-1999: Warnung 1-999 Tab.

  • Page 32: Parametrierung

    Tab. 24: Dienst „write record“ Parameter azyklisch lesen ► Verwenden Sie den Dienst „read record“, um einzelne Pfeiffer Vacuum-Parameter azyklisch zu le- sen. – Der Index ist dabei die Pfeiffer Vacuum-Parameternummer. – Das Gerät liefert die Werte gleichzeitig im Format „Unsigned32“ und „Float32“ zurück.

  • Page 33: Datentypen

    Schnittstellen Byte Bedeutung 0–3 (Unsigned32) Wert 4–7 (Float32) Wert Tab. 25: Dienst „read record“ 5.1.7 Datentypen Datentyp Format Float32 Fließkommazahl IEEE754, low byte/word first Unsigned8 Vorzeichenlose 8-Bit-Zahl Unsigned16 Vorzeichenlose 16-Bit-Zahl, low byte first Unsigned32 Vorzeichenlose 32-Bit-Zahl, low byte/word first ...h hexadezimale Zahl Tab.

  • Page 34: Vernetzung Über Den Anschluss

    3. Achten Sie darauf, dass alle am Bus angeschlossenen Geräte unterschiedliche RS-485 Geräte- adressen haben [P:797]. 5.3 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 5.3.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein host (z. B. ein PC) ein Telegramm, welches ein device (z.

  • Page 35: Telegrammbeschreibung

    Schnittstellen dn – d0 Daten im jeweiligen Datentyp (siehe Kapitel “Datentypen”, Seite 36). c2 – c0 Prüfsumme (Summe der ASCII-Werte der Zellen a2 bis d0) modulo 256 carriage return (ASCII 13) 5.3.2 Telegrammbeschreibung Datenabfrage --> Stellbefehl --> Datenantwort / Stellbefehl verstanden -->...

  • Page 36: Datentypen

    Schnittstellen 5.3.5 Datentypen Datentyp Beschreibung Länge Beispiel l1 – l0 boolean_old Logischer Wert (falsch / wahr) 000000 entspricht falsch 111111 entspricht wahr u_integer Positive ganze Zahl 000000 bis 999999 u_real Positive Festkommazahl 001571 entspricht 15,71 string Beliebige Zeichenkette mit 6 Zeichen. AS- TC_110, TM_700 CII-Codes zwischen 32 und 127 boolean_new...

  • Page 37: Parametersatz

    Anzeige der Parameterbeschreibung im Display Beschreibung Kurzbeschreibung des Parameters Funktionen Funktionsbeschreibung des Parameters Datentyp Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Protokoll Zugriffsart R (read): Lesezugriff ; W (write): Schreibzugriff Einheit Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße min.

  • Page 38: Statusabfragen

    Parametersatz Anzeige Beschreibung Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault Conf. Out2 Konfiguration Aus- 0 = Netz "AUS" oder gang DO2 Fehler 1 = Netz "AUS" oder Fehler oder Warnung 2 = Netz "AUS" oder Fehler oder Antrieb Turbopumpe "AUS" Motor TMP Motor Vakuum- 0 = aus...
  • Page 39 Parametersatz Anzeige Beschreibung Funktionen Ein- min. max. ten- griffsart heit fault Übertemperatur An- 0 = nein triebselektronik 1 = ja Übertemperatur Vaku- 0 = nein umpumpe 1 = ja Solldrehzahl erreicht 0 = nein 1 = ja Vakuumpumpe be- 0 = nein schleunigt 1 = ja Set rotspd...

  • Page 40: Sollwertvorgaben

    Parametersatz Anzeige Beschreibung Funktionen Ein- min. max. ten- griffsart heit fault ErrHist7 Fehlercode Historie, Pos. 7 ErrHist8 Fehlercode Historie, Pos. 8 ErrHist9 Fehlercode Historie, Pos. 9 ErrHist10 Fehlercode Historie, Pos. 10 Tab. 31: Statusabfragen 6.4 Sollwertvorgaben Anzeige Beschreibung Funktionen Ein- min. max.

  • Page 41: Betrieb

    Betrieb 7 Betrieb 7.1 Gerät einschalten WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.

  • Page 42: Statussymbole

    Betrieb Zeilen- Funktion nummer Zeile 3 hat 2 Funktionen: ● Funktion 1: Es erscheinen aktuelle, den Betrieb und die Bedienung betreffende Meldungen. ● Funktion 2: Darstellung eines gewünschten zweiten Parameters in der Form [Para- meternummer: Wert]. Die Funktion dieser Zeile läßt sich über Parameter [P:795] Servicelin in Zeile 1 einstellen.

  • Page 43: Parameter Anzeigen Und Konfigurieren

    ● Drücken der Taste "EIN/AUS" ● Wenn Zeile 3 = leer, erscheint "data not changed". 7.6 Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren Die Antriebselektronik ist mit den Basisfunktionen werkseitig vorkonfiguriert und betriebsbereit. Für indi- viduelle Anforderungen können Sie die meisten Anschlüsse der Antriebselektronik mit dem Parameter- satz konfigurieren.

  • Page 44: Allgemeines

    Betrieb 7.6.1 Allgemeines Werkseinstellungen wiederherstellen Für den Betrieb der Turbopumpe ohne zusätzliche Konfiguration ist die Antriebselektronik werkseitig vorprogrammiert. ► Stellen Sie bei Bedarf die Werkseinstellungen über Parameter [P:095] her. Einstellungen überprüfen 1. Überprüfen Sie vor dem Betrieb mit Parametern die Sollwertvorgaben und Stellbefehle auf ihre Eignung für den Prozess.

  • Page 45: Betriebsarten

    Das Fördern von Gasen mit unzulässig hohen Molekülmassen führt zur Zerstörung der Turbopumpe. ► Achten Sie auf den korrekt eingestellten Gasmodus [P:027] in der Antriebselektronik. ► Halten Sie Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum, bevor Sie Gase mit größeren Molekülmassen (> 80) einsetzen.

  • Page 46: Hochlaufzeit

    Betrieb P max [P:708] C-D = Gas mode "0" A-B = Gas mode "1" Abb. 11: Schema der Leistungskennlinien, Beispiel schwere Gase [P:027] = 0 Leistungsaufnahme Nenndrehzahl Drehzahl Leistungskennlinie im Gasmodus "0" (Gase mit der Molekül- masse > 39, z. B. Argon) Maximale Leistungsauf- Leistungskennlinie im Gasmodus "1"...

  • Page 47: Drehzahlstellbetrieb

    Betrieb [P:017] = 0 f (%) [P:701] [P:010] [P:302] Process Abb. 12: Drehzahlschaltpunkt aktiv Drehzahlschaltpunkt einstellen Signalausgabe und Statusparameter orientieren sich am eingestellten Wert für den Drehzahlschalt- punkt [P:701]. ► Stellen Sie den Parameter [P:701] auf den gewünschten Wert in % ein. 7.7.5 Drehzahlstellbetrieb Der Drehzahlstellbetrieb dient der Reduzierung der Drehzahl und somit der Saugleistung der Turbo- pumpe.

  • Page 48: Standby

    Leerlauf und unterschiedliche Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erfordern ein individuelles Ein- stellen des Intervallbetriebes. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schalt- schwellen benötigen Sie eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil. 1. Stellen Sie den Parameter [P:025] auf "1".

  • Page 49: Betrieb Mit Zubehör

    Betrieb 7.7.9 Betrieb mit Zubehör Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehör finden Sie online. ● Das im Folgenden beschriebene Zubehör ist nicht im Lieferumfang enthalten.

  • Page 50: 11Transmitter Betreiben

    Betrieb 7.7.11 Transmitter betreiben Druckmessung Die Antriebselektronik bietet eine annähernde Messgenauigkeit. Für die exakte Druckmes- sung, besonders bei linearen Transmittern im unteren Druckbereich, eignen sich Pfeif- fer Vacuum Mesgeräte. Aktiven Transmitter anzeigen Das Gerät erkennt Transmitter der gleichen Kennwiderstandsgruppe. 1. Stellen Sie den Parameter [P:794] auf "1" (Anzeige erweiterter Parametersatz). 2.

  • Page 51: 2Betriebsanzeige Der Profinet Led

    Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min-1 Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min-1 kein Fehler, keine Warnung Ein, blitzend Warnung Ein, konstant...

  • Page 52: Wartung

    Wartung 8 Wartung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Vakkumpumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ► Schalten Sie vor allen Arbeiten den Hauptschalter aus. ►...

  • Page 53: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Page 54: Störungen

    Warnungen (* Warning F––– *) führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Steuergeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.

  • Page 55: Fehlercodes

    Warnungen (* Warning F––– *) führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Steuergeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.
  • Page 56 ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 fehlerhaft Err010 Interner Gerätefehler ● Gerät defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 Err021 Antriebselektronik er- ● ungeeignete Softwarever- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service...
  • Page 57 Problem mögliche Ursachen Behebung code Err111 Kommunikationsfehler ● externe Störungen ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Betriebsmittelpumpe ● Gerät defekt ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 Err112 Sammelfehler Betriebs- ● externe Störungen ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service mittelpumpe ●...
  • Page 58 ● unzureichende Kühlung ● Verbessern Sie die Kühlung Elektronik ● Überprüfen Sie die Einsatzbedingungen Wrn089 Unwucht hoch ● Rotorunwucht ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Ungültige Pumpenin- ● Interner Kommunikationsfehler 1. Schalten Sie den Pumpstand aus formationen 2. Warten Sie auf Stillstand der Turbopumpe 3.

  • Page 59: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Page 60 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Page 61: Zubehör

    Zubehör 12 Zubehör Beachten Sie bitte die Zubehörlisten der Einzelkomponenten in deren Betriebsanleitung oder online unter pfeiffer-vacuum.de. 12.1 Zubehör bestellen Benennung Bestellnummer Netzkabel 230 V AC, CEE 7/7 auf C13, 3 m P 4564 309 ZA Netzkabel 115 V AC, NEMA 5-15 auf C13 P 4564 309 ZE Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf C13, 3 m P 4564 309 ZF...

  • Page 62: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 13 Technische Daten und Abmessungen 13.1 Technische Daten Auswahlfeld TCP 350 PN, Antriebselektronik, Profinet Bestellnummer PM C01 744 Eingangsspannung(en) 115 / 230 V AC (-20/+15 %), 50/60 Hz Eingangsspannung 50 Hz 115 / 230 V Eingangsspannung 60 Hz...

  • Page 63: Eg Konformitätserklärung

    Diese Konformitätserklärung wurde unter der alleinigen Verantwortung des Herstellers aus- gestellt. Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Antriebselektronik TCP 350 PN Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Niederspannung 2014/35/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU...

  • Page 64: Konformitätserklärung

    Semi F47-0200 EN IEC 61326-1:2021 Semi S2-0706 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Page 65 Table of contents Table of contents About this manual Validity 1.1.1 Applicable documents 1.1.2 Variants Target group Conventions 1.3.1 Instructions in the text 1.3.2 Pictographs 1.3.3 Stickers on the product 1.3.4 Abbreviations Trademark proof Safety General safety information Safety instructions Safety precautions Limits of use of the product Proper use...
  • Page 66 Operation Switching on unit LC-display Status symbols Key functions Displaying and configuring parameters Configuring the connections with the Pfeiffer Vacuum parameter set 7.6.1 General 7.6.2 Configuring digital output and relay 7.6.3 Configuring analog output 7.6.4 Configuring accessory connection Operating modes 7.7.1 Remote control...
  • Page 67 Table of contents Technical data and dimensions 13.1 Technical data 13.2 Dimension drawings EC Declaration of Conformity UK Declaration of Conformity 67/126...
  • Page 68 Error messages of the electronic drive unit Tbl. 48: Warning messages of the electronic drive unit Tbl. 49: Error messages of the electronic drive unit Tbl. 50: Warning messages of the electronic drive unit Tbl. 51: Accessories Tbl. 52: TCP 350 PN 68/126...
  • Page 69 List of figures Fig. 1: Position of the stickers on the product Fig. 2: TCP 350 PN connections and manual control elements Fig. 3: Connecting turbopump to electronic drive unit Fig. 4: Connection diagram for TCP350 with M12 accessory connection Fig.

  • Page 70: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity This operating instructions is a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions de- scribe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in this op- erating instructions refers to the product's current development status.

  • Page 71: Stickers On The Product

    This section describes all the stickers on the product along with their meanings. Rating plate (example) Rating plates of the devices are affixed to the housing where they Ser. Nr.: Mod.: TCP 350 PN can be clearly seen PM C01 744 Mod--Nr.: Input:...

  • Page 72: Trademark Proof

    About this manual Abbreviation Meaning in this document Pirani transmitter Profinet (Process Field Network) [P:xxx] Electronic drive unit control parameters. Printed in bold as a three-digit number in square brackets. Frequently displayed in conjunction with a short description. Example: [P:312] software version Piezo/Pirani transmitter RP RS-485 Standard for a physical interface for asynchronous serial data transmission (Recom-...

  • Page 73: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...

  • Page 74: Safety Precautions

    Safety WARNING Risk of fatal injury due to electric shock on account of incorrect installation The device's power supply uses life-threatening voltages. Unsafe or improper installation can lead to life-threatening situations from electric shocks obtained from working with or on the unit. ►...

  • Page 75: Limits Of Use Of The Product

    Tbl. 3: Permissible ambient conditions 2.5 Proper use ● The electronic drive unit is used exclusively for the operation of Pfeiffer Vacuum turbopumps and their accessories in a Process Field Network (Profinet). 2.6 Foreseeable improper use Improper use of the product invalidates all warranty and liability claims. Any use that is counter to the purpose of the product, whether intentional or unintentional, is regarded as misuse, in particular: ●...

  • Page 76: Product Description

    Tbl. 4: Product features 3.3 Function The electronic drive unit TCP 350 PN is used for external voltage supply, control and monitoring of tur- bopumps and connected peripheral devices. It is also possible to connect a pressure gauge. TCP 350 Ser. Nr.:78514xxx...

  • Page 77: Connections

    REMOTE High-density D-sub socket with 26 pins for connection and configuration of a re- mote control. RS485 RJ45 plug contact, 8-pin for connecting Pfeiffer Vacuum control units (e.g. HPU or ↑ a PC) with RS485/RS232 or RS485/USB adapter. SERVICE RJ45 plug contact, 8-pin for service purposes.

  • Page 78: Installation

    ► Remove the mains plug from the device. ► Secure the device against unintentional restarting. The external connection of a Pfeiffer Vacuum turbopump to the electronic drive unit TCP 350 is possible with screened connection cables in different lengths from the Pfeiffer Vacuum accessories range.

  • Page 79: Connection Diagram

    Installation Fig. 3: Connecting turbopump to electronic drive unit 1 Electronic drive unit TCP 350 Fixing materials 2 Turbopump PE grounding cable 3 Connection "vacuum pump" Pump connection cable 4 Accessory connections Connection "PUMP" to TCP Procedure 1. Use the respective connection cable from the electronic drive unit scope of delivery or from the accessories range.

  • Page 80: Fig. 4: Connection Diagram For Tcp350 With M12 Accessory Connection

    Installation potentialfree contacts Fig. 4: Connection diagram for TCP350 with M12 accessory connection 80/126...

  • Page 81: Fig. 5: Connection Diagram For Tcp350 With M8 Accessory Connection

    Installation Potential-free contacts Fig. 5: Connection diagram for TCP350 with M8 accessory connection 81/126...

  • Page 82: Fig. 6: Connection Diagram For Tcp350 With Rj45 Accessory Connection

    Installation potential-free contacts Fig. 6: Connection diagram for TCP350 with RJ45 accessory connection 82/126...

  • Page 83: Profinet" Connection

    The accessible individual functions are mapped to "PLC levels". The following specifications are the factory settings for the electronic drive unit. They can be configured with the Pfeiffer Vacuum parameter set. Required tools ● Calibrated torque wrench ●...

  • Page 84: Tbl. 9: Logic Levels Of Digital Inputs And Outputs

    Installation Input signals Output signals ● High level: +13 to +33 VDC ● High level: +20 to +28 VDC ● PLC Low level: -33 to +7 VDC ● PLC Low level: 0 to +3 VDC Tbl. 9: Logic levels of digital inputs and outputs Connecting remote control to "REMOTE"...

  • Page 85: Voltage Supply

    The digital inputs at the "REMOTE" connection are used to switch various electronic drive unit func- tions. Inputs DI1 to DI2 are assigned functions in the factory. You can configure them via the RS-485 interface and the Pfeiffer Vacuum parameter set. DI1 (release venting)/pin 2...

  • Page 86: Outputs

    The digital outputs at the "REMOTE" connection have a maximum load limit of 24 V/50 mA per output. All outputs listed below are configurable with the Pfeiffer Vacuum parameter set via the RS-485 inter- face (description relates to factory settings).

  • Page 87: Connecting Gauges

    Installation Electronic drive unit TCP 350 accessory connection The electronic drive unit of the turbopump offers space for the connection of maximum 2 accessory devices. M8, M12 or RJ45 connector sockets with the corresponding designation are available for this purpose. ●...

  • Page 88: Connecting The Electrical Supply

    Installation Procedure 1. As required, connect a gauge to the "GAUGE" connection. 2. The corresponding connection cable is available as a Pfeiffer Vacuum accessory. 3. If needed, set parameter [P:738] to change display name of gauge. 4.10 Connecting the electrical supply...

  • Page 89: 2Connecting To Mains Power Supply

    Installation 4.10.2 Connecting to mains power supply Establishing mains supply 1. Make sure that the "POWER" main switch of the power supply pack is switched off prior to con- nection. 2. Always ensure a secure connection to the earthed conductor (PE), protection class I. 3.

  • Page 90: Interfaces

    Interfaces 5 Interfaces 5.1 Profinet interface 5.1.1 Making connections The turbopump can be integrated in a Profinet bus system using the connections designated "PN1" and "PN2" on the electronic drive unit. The interface is galvanically safe and is isolated from the maximum supply voltage for the electronic drive unit. 5.1.2 Defining device ID Assign device name and IP address ►...

  • Page 91: Tbl. 14: Speed Controlled Tmp Assembly Module: Output Data (Plc To Tcp)

    Interfaces Byte Name Speed TMP Simple TMP Generic TMP vent valve purge valve 2–3 speed_setpoint Set rotation speed in rotation speed setting mode (Hz, Unsigned16) Tbl. 14: Speed controlled TMP assembly module: Output data (PLC to TCP) Byte Name Speed TMP Simple TMP Generic TMP at stand-by speed...
  • Page 92 Interfaces Byte Name Meaning 0–3 value Measured value (Float32) status Status of measured value (Unsigned8) 11h: ok, 21h: uncertain, 31h: poor Tbl. 18: DrivePower: Input data (TCP to PLC) Byte Name Meaning 0–1 value 0: no error 1-999: Error 1-999 1001-1999: Warning 1-999 Tbl.

  • Page 93: Parameterization

    5.1.6 Acyclic data Writing parameters acyclically ► Use the “write record” service to write individual Pfeiffer Vacuum parameters acyclically. – The index in this regard is the Pfeiffer Vacuum parameter number. ► Enter a value in the "Unsigned32" or "Float32" format in the corresponding field.

  • Page 94: Data Types

    Interfaces Byte Meaning 0–3 (Unsigned32) value 4–7 (Float32) value Tbl. 25: “Read record” service 5.1.7 Data types Data type Format Float32 Floating point number IEEE754, low byte/word first Unsigned8 Unsigned 8-bit number Unsigned16 Unsigned 16-bit number, low byte first Unsigned32 Unsigned 32-bit number, low byte/word first ...h Hexadecimal number Tbl.

  • Page 95: Cross-Linked Via The Rs-485 Connection

    3. Make sure that all devices connected to the bus have different RS-485 device addresses [P:797]. 5.3 Pfeiffer Vacuum protocol for RS-485 interface 5.3.1 Telegram frame The telegram frame of the Pfeiffer Vacuum protocol contains only ASCII code characters [32; 127], the exception being the end character of the telegram C . Basically, a host (e.g.

  • Page 96: Telegram Description

    Interfaces c2 – c0 Checksum (sum of ASCII values of cells a2 to d0) modulo 256 carriage return (ASCII 13) 5.3.2 Telegram description Data query --> Control command --> Data response / Control command understood --> Error message --> NO_DEF Parameter number n2–n0 no longer exists _RANGE Data dn–d0 outside the permissible range _LOGIC...

  • Page 97: Data Types

    Interfaces 5.3.5 Data types Data type Description Length Example l1 – l0 boolean_old Logical value (false/true) 000000 is equivalent to false 111111 is equivalent to true u_integer Positive whole number 000000 to 999999 u_real Positive fixed point number 001571 corresponds with 15.71 string Any character string with 6 charac-...

  • Page 98: Parameter Set

    Brief description of the parameters Functions Function description of the parameters Data type Type of formatting of the parameter for the use with the Pfeiffer Vacuum protocol Access type R (read): Read access; W (write): Write access Unit Physical unit of the described variable min.

  • Page 99: Status Requests

    Parameter set Display Description Functions Data Unit min. max. type cess fault type Motor TMP Motor vacuum 0 = off pump 1 = on OpMode BKP Backing pump 0 = continuous opera- operating mode tion 1 = intermittent opera- tion OPMode TMP Rotation speed 0 = off, final speed op-...

  • Page 100: Tbl. 31: Status Requests

    Parameter set Display Description Func- Data Unit min. max. tions type cess fault type Vacuum pump excess 0 = no temperature 1 = yes Set rotation speed 0 = no reached 1 = yes Vacuum pump acceler- 0 = no ates 1 = yes Set rotspd...

  • Page 101: Reference Value Inputs

    Parameter set 6.4 Reference value inputs Display Description Functions Data Unit min. max. default type cess type RUTimeSVal Set value run-up time SpdSwPt1 Rotation speed switch point 1 SpdSVal Set value in rotation speed setting mode Swoff BKP Backup pump switch-off 1000 threshold for intermittent operation...

  • Page 102: Operation

    Operation 7 Operation 7.1 Switching on unit WARNING Danger to life from electric shock in the event of a fault In the event of a fault, devices connected to the mains may be live. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components. ►...

  • Page 103: Status Symbols

    Operation Line Function number Line 3 has 2 functions: ● Function 1: displays current messages, as well as messages pertaining to operation and control. ● Function 2: presentation of a required second parameter in the format [Parameter number: value]. The function for this line can be set via parameter [P:795] Service- lin in Line 1.

  • Page 104: Displaying And Configuring Parameters

    ● Press the "ON/OFF" key ● If Line 3 = empty , "data not changed" will be displayed. 7.6 Configuring the connections with the Pfeiffer Vacuum parameter set The electronic drive unit is pre-configured with the factory default basic functions and is ready for opera- tion.

  • Page 105: Configuring Digital Output And Relay

    Operation Checking settings 1. Before operating with parameters, check the set value settings and control commands for their suitability for the process. 2. Remove the remote plug from the electronic drive unit. Locking and unlocking keyboard 1. Lock the keyboard via parameter [P:008] to prevent unwanted operation. –...

  • Page 106: Operating Modes

    ► Make sure that the gas mode is set correctly by [P:027] in the electronic drive unit. ► Consult Pfeiffer Vacuum before you use gases with higher molecular masses (> 80). High gas throughput and high rotation speed lead to strong friction heating of the rotor. To avoid over- heating, power-rotation speed-characteristics are implemented in the electronic drive unit.

  • Page 107: Run-Up Time

    Operation P max [P:708] C-D = Gas mode "0" A-B = Gas mode "1" Fig. 11: Schematic diagram of power characteristics, example of heavy gases [P:027] = 0 Power consumption Nominal rotation speed Rotation speed Power characteristic in gas mode "0" (gases with molecular mass >...

  • Page 108: Rotation Speed Setting Mode

    Operation [P:017] = 0 f (%) [P:701] [P:010] [P:302] Process Fig. 12: Rotation speed switch point active Setting rotation speed switchpoint Signal output and status parameters are based on the set value for rotation speed switchpoint [P:701]. ► Set the parameter [P:701] to the required value as %. 7.7.5 Rotation speed setting mode Rotation speed setting mode reduces the speed and hence the throughput of the turbopump.

  • Page 109: Stand-By

    Fluctuations in the power consumption of idling turbopumps and varying fore-vac- uum pressures of the backing pumps require individual settings of the interval operation. Pfeiffer Vacuum recommends interval operation between 5 and 10 hPa. A pressure gauge and a dosing valve are required to set the switching thresholds.

  • Page 110: Operation With Accessories

    Operation 7.7.9 Operation with accessories Installation and operation of accessories Pfeiffer Vacuum offers a series of special, compatible accessories for its products. ● Information and ordering options for approved accessories you can find online. ● The following accessories are not included in the scope of delivery.

  • Page 111: 11Transmitter Operation

    Pressure measurement The electronic drive unit offers an approximate accuracy of measurement. For the precise pressure measurement, and in particular for linear transmitters in the lower pressure range, Pfeiffer Vacuum measuring instruments are ideal. Displaying active transmitters The unit detects gauge from the same image impedance group.

  • Page 112: 2Operating Mode Display For Profinet Led

    Operation Symbol LED status Display Meaning without current On, flashing "Pumping station OFF", rotation speed ≤ 60 Green On, inverse flashing "Pumping station ON", set rotation speed not reached On, constant "Pumping station ON", set rotation speed reached On, flashing "Pumping station OFF", rotation speed >...

  • Page 113: Maintenance

    Maintenance 8 Maintenance WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the vacuum pump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.

  • Page 114: Recycling And Disposal

    ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...

  • Page 115: Malfunctions

    Warnings (* Warning F –––– *) do not cause components to be switched off. Handling malfunction messages 1. Read out error codes via Pfeiffer Vacuum control units or a PC. 2. Remove the cause of the malfunction. 3. Reset the malfunction message with parameter [P:009].

  • Page 116: Error Codes

    Warnings (* Warning F –––– *) do not cause components to be switched off. Handling malfunction messages 1. Read out error codes via Pfeiffer Vacuum control units or a PC. 2. Remove the cause of the malfunction. 3. Reset the malfunction message with parameter [P:009].
  • Page 117 ● Only acknowledge for rotational speed f = 0 faulty Err010 Internal device error ● Device defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service ● Only acknowledge for rotational speed f = 0 Err021 Electronic drive unit ● Incompatible software ver- ● Contact Pfeiffer Vacuum Service...
  • Page 118 Malfunctions Error Problem Possible causes Remedy code Err113 Rotor temperature eval- ● Device defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service uation faulty Err114 Final stage temperature ● Device defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service evaluation faulty Err117 Excess temperature, ● Insufficient cooling ●...
  • Page 119 ● Improve the cooling perature ● Check the operating conditions Wrn089 Imbalance high ● Rotor imbalance ● Contact Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Invalid pump informa- ● Internal communication error 1. Shut down pumping station tion 2. Wait until the turbopump comes to a standstill 3.

  • Page 120: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Page 121 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Page 122: Accessories

    Accessories 12 Accessories Please refer to the accessories list for the individual components in their respective operat- ing manual or online at pfeiffer-vacuum.de. 12.1 Ordering accessories Description Order number Mains cable 230 V AC, CEE 7/7 to C13, 3 m P 4564 309 ZA Mains cable, 115 V AC, NEMA 5-15 to C13 P 4564 309 ZE Mains cable 208 V AC, NEMA 6-15 to C13, 3 m...

  • Page 123: Technical Data And Dimensions

    RS-485, Profinet Cable length Turbo-TCP max. 120 m Protection degree IP20 Ambient temperature 5 – 40 °C Weight 2.8 kg Tbl. 52: TCP 350 PN 13.2 Dimension drawings All dimensions in mm 142 (28TE) 232.4 242.4 Fig. 13: Dimensions TCP 350 123/126...

  • Page 124: Ec Declaration Of Conformity

    This declaration of conformity has been issued under the sole responsibility of the manufac- turer. Declaration for product(s) of the type: Electronic drive unit TCP 350 PN We hereby declare that the listed product satisfies all relevant provisions of the following European Directives. Electromagnetic compatibility 2014/30/EU...

  • Page 125: Declaration Of Conformity

    Semi F47-0200 EN IEC 61326-1:2021 Semi S2-0706 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

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